237. Jlоброхоroв Т.А., Неймарк К-Н.//Изв. АН СССР. Неорrаннческие материалы. 1980.
Т. 16. N" 11. С. 1893
1895.
238. Ziegler G.//Z. Naturforschung. 1961. Bd 16а. N" 2. 8. 219
225.
239. Кравцов А.А., Осовский М.И., Фалькевuч З.С., Червоный И.Ф.//Тезисы докпадов
VП конференции по процессаы роста и синтеза полупроводниковых кристаппов и
пленок, 9
13 июия 1986 r.
 Новосибирск: fидРОцвerыer, 1986. Т. 2. С. 83
84.
240. Ратиков Jl.Т.//Проыышпенное применение токов высокой частоты: Сб. науч. тр.
ВНИИТВЧ.
 Л.: Машиностроение, 1974. Выл. 14. С. 74---77.
241. Кулешuн А.М., Осовский М.И., Фалькевuч З.С., Червоный И.Ф.//Иэв. АН СССР.
Неорrанические материалы. 1980. Т. 16. N" 11. С. 2047
2048.
242. Ваraнабэ Масехuбэ//Ibнси fидзюцу. 1987. Т. 29. N" 11. С. 22
26.
243. Балыченко А.А., Толовuн А.Д, Иманов Р.М. и др.//Высокочиcrые вещества. 1987.
N" 5. С. 21
217.
244. Неймарк К.Н., Шейхer З.Т., Лuтвuнова И.Ю., Фалькевuч З.С.//Изв. АН СССР. Heopra-
нические материалы. 1979. Т. 15. N" 2. С. 184
187.
245. Зониая ппавка: Сб. перевоДНblХ статей/Под ред. В.Н. Вuzдоровuча.
 М.: Метапnyрrия,
1966. С. 55
63; 64
70.
246. Неймарк К.Н., Осовский М.И., Червоный И.Ф.//Цветные мerаплы. 1978. N" 4. С. 50
52.
247. Осовский М.И., Неймарк К.Н., Фалькевuч З.С. и др.//Процессы роста и синтеза полу-
проводниковых кристаллов и ппенок.
 В 2-х ч. Ч.2./Под ред. Ф.А. Кузнецова,
ДН. Александрова.
 Новосибирск: Наука, 1975. С. 208---211.
248. Кравцов А.А., Червоный И.Ф.//JJ.ветная мerапnyрrия. 1986. N" 4. С. 28
30.
249. Неймарк К.Н.//Кремний и rерм&ний: Науч. тр. fиредыerа/Под ред. З.С. Фалькевuча,
ди. ЛевUН30на.
 М.: Метапnyрrия, 1974. Вып. 3. С. 4Н7.
250. Бевэ В.Е., Осовский М.И., Сreрлuков Ю.и.//JJ.вerные металлы. 1977. N" 6. С. 46---47.
251. Кравцов А.А., Червоный И.Ф., Шкляр Б.Л.//JJ.вerные метаппы. 1987. N" 7. С. 76---77.
252. Веселкова А.А., Осовский М.И., Фалькевuч З.С. и др.//Кремний и repм&ннй.
 М.:
Метaпnyрrия, 1969. Выл. 1. С. 29---31.
253. Кремний и rерма8ИЙ.
 М.: Метапnyрrия, 1969. Выл. 1. С. 18-24; 1970. Вып. 2. С. 27
32.
254. Буzай О.А., Фалькевuч Е.С., Прiй В.А., ШаховцовВ.Т.//Вiсник АН УРСР. 1983. N" 9.
С. 5
11.
255. Lark
Horowitz K//Proc. Conf. Univ. Reading. London
Butterworths. 1951. Р. 47
50.
256. ТапепЬаит М., Mills A.D./I1. ЕlеспосЬет. Soc. 1961. V. 108. Р. 171
176.
257. Бевэ В.Е., Ташенко С.И., Осовский М.И.//JJ.вerные метаппы. 1979. N" 11. С. 77
79.
258. 1апш Н.М., Malmros O'//IEEE Trans. Electron Deтices. 1976. ED-23. N" 8. Р. 797
802.
259. Grafl К., Pieper H.//Phys. 8tat. 801.1928. V. А49. N" 1. P.137
144.
260. Саидов М.С., Султанов Н.И., Ахмеджанов М.Р.//Изв. АН УэССР: Физико-маreматичес-
кие науки. 1965. N" 2. С. 72
74.
261. Абдулаев Т.Б., Чеконов В.Е., Искандер-заде З.А., JIжафарова З.С.//Радиотехника и
эпекrpoника.1966. 11. N" 6. C.1IS1
1154.
262. Тлuнчук К.д, Лuтовченко Н.М./lYкр. физ. журнал. 1965. N" 10. С. 172
177.
263. Tomek K.//Czechosl.1. Phus. 1970. В. 20. N" 2. 8. 222
225.
264. Тлuнчук к-д, Лuroвченко Н.М., Сальнuков З.А., D<рыль С.И.//Оnrоэпекrpoника и
полупроводниковая техника. 1984. N" 6. С. 24---29.
265. Уап, К.Н., Kapperst H.F., Schwutke G.H.//Phys. 8tat. 80lidi. 1978. V. А80. N" 1. Р. 221
235.
266. Неймарк К-Н., Трубuцын Ю.В., Червоный И.Ф.//JJ.вerныемerаппы. 1990. N" 10.
267. Ашtiп P.R. Design and operation of сlеan rooms.
 Detroit
 Michigan: Business News
Publiching Сотрапу. 1970.
 198 с.
268. Куприянов И.П. Технопоrический микроклимат.
 М.: Советское радио, 1976.
 176 с.
269. Jlевятых Т.Т., Чурбанов М.Ф.//Журнап Всесоюзноrо химическorо общества. 1984.
N" 6. С. 6---14.
270. Рожков И.В., Алмазов О.А., Ильuнскuй А.А. Получение жидкоrо водорода.
 М.:
Химия, 1968.
 198 с.


271. Архоров А.М., Беляков В.П., Мuкулuн Е.И. Криоrенные системы.
 М.: Машнио-
строение,1987.
 536 с.
272. Соколов Б.К- fазы особой чистоты.
 М.: Знание, 1981.
 62 с.
273. Тлuзманенко ДД Получение кислорода.
 п.: Химия, 1965.
 752 с.
274. Толото И.Jl., Jlокучаев Б.П., Колмоzоров Т.Л. Чистота в производстве полупроводни

ковых npиборов и инrerрапьных схем.
 М.: Энерrия, 1975.
 209 с.
275. Толовко Т.А. Криоrенное проиэводство инертных rазов.
 п.: Машиностроение,
1983.
 416 с.
276. ЯКWdенко ДМ. Получение водорода, кислорода, хлора и щелочей.
 М.: Химия,
1981.
 280 с. .
277. rрачев А.Б., Калuнан Н.В. Получение и испопьэование низких температур..
 М.:
Энерrоиэдат, 1981.
 128 с.
278. Телеснuн Р.В. Мопекулярная фиэика.
 М.: Высшая шкопа, 1973.
 360 с.
279. KazaHep М.Т. Тепловая изоляция в технике низких температур.
 М.: Машинострое-
ние, 1966.
 423 с.
280. Соколов Я.Е., Бродянскuй В.М. Энерrerические основы трансформации теппа и про-
цессов охпаждения.
 М.: Энерrия, 1968.
 335 с.
281. Комарсв Н.С. Хопод.
 М.: fизпernищenром,1953.
 702 с.
282. Зzuбах Т.Л. Практические сведения по вакуумной технике.
 M.
п.: Энерrия, 1966.

296с.
283. Mui 1. V.Р.//Сопоsiоп.1985. V. 41. N" 2. Р. 634i9.
284. Трошковскuй Я. Техника высокоrо вакуума.
 М.: Мир, 1975.
 622 с.
285. Основы вакуумной техники/Пuпко А.И., Плuсковскuй В.Я., Королев Б.И., Кузне-
цов В.И.
 М.: Энерrоиэдат, 1981.
 430 с.
286. Рожков И.В., Алмазов О.А., Ильuнскuй А.А. Получение жидкorо водорода.
 М.:
Химия, 1967.
 199 с.
287. ЯКWdенко ДМ., Модылевская И.д, Ткачек З.А. Эпектропиз воды.
 М.: Химия,
1970.
 264 с.
288. Вредные вещества в проыышпенноcrи/Под ред. Н.В. Лазарева, З.Н. Левuной.
 п.:
Химия, 1976.
 624 с.
289. [ОСТ 12.1. 007
76. Вредные вещества. Кпассификация и общие требования безопас-
ности.
 М.: Иэд-во стандартов, 1984.
 6 с.
290. [ОСТ 12.1.041
83. Пожаровзрывобезопвсность rорючих nыпей. Общие требования.

М.: Иэд-во стандартов, 1986.
 15 с.
291. roCT 12.1. 005
76. Воэдух рабочей ЗОНЫ. Общие санитарно-rиrиенические требова-
ния.
 М.: Иэд-во стандарroв, 1977.
 32 с.
292. Пожарная опасность веществ и материалов, применяемых в химической промышпен-
насти. Под ред. И.В. Рябова.
 М.: Химия, 1979.
 336 с.
293. Воронков М.то, Зелна Т.И., Лукевuц З.Я. Кремний и жизнь.
 Риrа: Зинaнrе
 1978.

587с.
294. [ОСТ 12.1.011
78 СТСЭВ 2775
8O. Смеси взрывоопасные. КпаССИфиКация и методы
испытаний.
 М.: Иэд-во стандартов, 1983.
 18 с.
295. Якuменко ДМ., Пасманuк М.И. Справочник по производству хпора, каустической
соды и основных xnорпродуктов.
 2-е изд., перераб. и доп.
 М.: Химия, 1976.

440 с.
296. Сйбарко Р.В., Селедцов В.Ф. Эпектробезопасность на производстве.
 2-е изд., перераб.
и доп.
 Киев: Вища шкопа, 1983.
 56 с.
297. [ОСТ 12.1.006---84. Эпекrpoмarнитные поля радиочастот. Допустимые уровни на рабо-
чих местах и требования к npoведeнИIO контроля.
 М.: Изд-ва стандартов, 1985.
 6 с.
298. Правипа технической эксплуатации эпектроустановок поrpeбиrепей и правила техники
безопасности при эксплуатации эпекrpoустановок пorpебиrепейffпавное ynравпение
rосударственнorо энерrerическоrо надзора . Минэнерrо СССР.
 4'е иэд., перераб. и
доп.
 М.: Энерrоатомиэдат, 1988.
 427 с.


436




Производствениое издание


ФАЛЪКЕВИЧ Эдуард CeweвОВИII
ПУЛЬНЕР Эpyвcr Oc:1tapoВИII
чЕрвоный иваи Федорович
IIIВАРПМАН Леовид яховпевнч
ЯРКИН БПIДIDOIP Никon8eввч
СA1UIИ ипья Бacиnьeвич


ТЕХНолоrия ПОЛYIlPOВОJUlИКовоrо КPБМнIIЯ


Редактор издательства в.н. ИруJlЬВlll(
Художественный редактор А.А. я1субевко
Технический редактор n'C. rJJIДICoвa
Корректоры n'bl. Зиичemto. n.в. нвхоп8ева
Переплет художника Б.Б. rордова


Подписано в печать 29.01.92
Бумarа офсетная N" 2
Усл.кр.-orr.24,99
Заказ N!! 214 Иэд. N" 1879


Печать офсетная
Уч.-изд.п. 27,19


ИБ N" 3581
Формат буыarи 60х881/16
Усл.neч.п. 24,99
Тираж 1170 экэ.


Набрано в издательстве "Мeranлурrия"
на НПТ оператором о.м. Лебедевой


Ордена Трудовоrо KpВCHoro Знамени издательство "Мeranпyprия"
119857, rсп, Москва, r-34, 2-й Обыденский пер., д. 14


Московская тиnоrрафия N" 8
при Министерстве массовой ниформации и печати РСФСР
101998, МосКва. Центр. Хоxnовский пер., д. 7