Текст
                    Д.В. ИГУМНОВ, И.Ф.НИКОЛАЕВСКИЙ
ТРАНЗИСТОРЫ
В МИКРОРЕЖИМЕ

Д. В. ИГУМНОВ, И. Ф. НИКОЛАЕВСКИЙ ТРАНЗИСТОРЫ В МИКРОРЕЖИМЕ МОСКВА «СОВЕТСКОЕ РАДИО» 1978 Scan AAW
6Ф0.3 Й 28 УДК 621.382.333 Игумнов Д. В. и Николаевский И. Ф. И28 Транзисторы в микрорежиме. М.., «Сов. радио», 1978. 136 с. с ил. Книга содержит сведения о физических процессах в транзисторах и особенностях их использования в микрорежимах в различных устрой- ствах радиоэлектронной аппаратуры. Рассматриваются вольт-амперные характеристики и основные параметры биполярных и полевых транзи- сторов в микрорежиме. Показаны возможности и методы построения микромощных устройств непрерывного и импульсного действия на тран- зисторах, а также устройств с использованием оптронов и пьезоэлек- трических трансформаторов. Книга предназначена для инженеров — разработчиков аппаратуры на полупроводниковых приборах и интегральных схемах и может быть рекомендована в качестве учебного пособия для студентов соответст- вующих факультетов вузов. и 30407-008 046(01 )-78 50-78 6Ф0.3 Редакция литературы по электронной технике ИБ № 154 Дмитрий Васильевич Игумнов Иосиф Федорович Николаевский ТРАНЗИСТОРЫ В МИКРОРЕЖИМЕ Редактор И. М. Волкова Художественный редактор А. Н. Алтунин Обложка художника Б. К, Шаповалова Технические редакторы 3. Н. Ратникова, И. В. Орлова Корректор Л. А. Максимова Сдано в набор 15.06.77 Подписано в печать 13.09.77 Т-12985 Формат 84ХЮ8*/зз Бумага типографская № 2 Литерат. гарн., высокая печать Объем 7,14 усл. печ. л., 7,12 уч.-изд. л. Тираж 33 000 экз. Зак. 232 Цена 35 коп. Издательство «Советское радио, Москва, Главпочтамт, а/я 693 Московская типография № 10 «Союзполиграфпрома> при Государственном Комитете Совета Министров СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли. Москва, М-114, Шлюзовая наб., 10. © Издательство «Советское радио», 1978 г.
Предисловие В настоящее время вопрос о снижении мощностей, потребляемых и рассеиваемых радиоэлектронными устройствами, становится все более актуальным. Низкий уровень потребляемой мощности позволяет свести к ми- нимуму рассеивание тепла в схемах и, следовательно, обеспечить большую плотность размещения элементов. Снижение мощностей, потребляемых радиоэлектрон- ными схемами, может решить проблему их микромини- атюризации. Так, снижение мощности до нескольких микроватт позволяет довести плотность монтажа до 105 элементов на 1 см3. При снижении ее до уровня нановатт, как показывает расчет, можно достичь плот- ности монтажа, близкой к плотности упаковки элементов в биологических схемах (например, мозг человека), т. е. до 107 элементов на 1 см3. При сохранении размеров схемы снижение потреб- ляемой мощности позволяет облегчить тепловой режим ее элементов, а использование полупроводниковых при- боров в облегченных тепловых и электрических режи- мах, как известно, позволяет увеличить надежность ра- диоэлектронных устройств. Работа радиоэлектронной аппаратуры в микрорежи- ме позволяет уменьшить энергию, потребляемую от источников питания, т. е. использовать микромощные источники. Уменьшение мощности источника питания, в свою очередь, значительно снижает габариты и массу источников питания и преобразователей, что упрощает систему в целом. Это наиболее важно при разработке автономных радиоэлектронных систем (особенно для ле- тательных аппаратов). Стоимость таких систем ока- жется ниже стоимости более мощных аналогов. Таким образом, снижение потребляемой и рассеивае- мой мощности в радиоэлектронных схемах позволяет по- высить надежность, уменьшить габариты и массу схем и источников питания, снизить стоимость. Кроме того, устройства с малой потребляемой мощностью отличают- ся повышенной безопасностью при их эксплуатации. Как известно, снизить потребляемую мощность мож- но, уменьшая напряжение питания и рабочие токи. 3
Снижение питающих напряжений позволяет уменьшить потребляемую мощность обычно не более чем на поря- док, а уменьшение рабочих токов дает возможность уменьшить мощность на несколько порядков (снижение токов от миллиампер до микроампер позволяет умень- шить мощность на три порядка, а до наноампер — на шесть порядков). Поэтому часто понятие «микрорежим» отождествляют с работой приборов в микро- и нано- амперном диапазонах токов. Когда в биполярном тран- зисторе ток коллектора /к^ЮОО мкА, то считают, что он работает в микрорежиме. Здесь в основе его работы лежат иные явления, и он будет описываться иными характеристиками, чем при работе в обычных, номи- нальных режимах. По аналогии с биполярным транзи- стором допускают, что в полевых транзисторах микро- режим наступает при токах стока /с^100 мкА. Однако в полевых транзисторах с р—л-переходом специфиче- ские явления и свойства микрорежима проявляются при /с<50 мкА (в МОП-транзисторах— при /с<5 мкА), а при /с=5О...1ОО мкА (в МОП-транзисторах при /с=5...100 мкА) их вольт-амперные характеристики описываются соотношениями, известными из техники но- минальных токов. Использование транзисторов в микрорежиме вызы- вает трудности (помимо конструктивных и технологиче- ских), связанные прежде всего с ухудшением ряда экс- плуатационных параметров приборов при переходе из номинального режима работы в микрорежим. Так, при снижении рабочих токов резко уменьшается коэффи- циент передачи тока в биполярных транзисторах и кру- тизна в полевых, возрастает влияние обратных токов переходов, снижается быстродействие и т. д. Однако некоторые параметры транзисторов при переходе в мик- рорежим несколько улучшаются: снижается коэффи- циент шума в биполярных транзисторах, уменьшается температурная и временная нестабильность в МОП-тран- зисторах, вырождаются зависимости некоторых парамет- ров от питающих напряжений и т. д. Поскольку основными элементами радиоэлектронных схем являются биполярные и полевые транзисторы, то интерес представляет исследование в микрорежиме их свойств и параметров, тем более, что их особенностями во многом будет определяться специфика построения микромощных схем. Поэтому первые две главы книги по- 4
священы биполярным и полевым транзисторам. Послед- няя глава — особенностям применения транзисторов в микромощных устройствах импульсного и непрерыв- ного действия. В конце этой главы рассматриваются некоторые возможности использования оптронов и пьезо- электрических трансформаторов в транзисторных устрой- ствах с пониженной потребляемой мощностью. Авторы считают своим приятным долгом выразить глубокую признательность Е. И. Гальперину и С. П. Мик- лашевскому за рецензирование и сделанные ими крити- ческие замечания, а также искреннюю благодарность И. С. Громову и В. Н. Фролову за полезные советы. Главы i и 3 написаны совместно Д. В. Игумновым и И. Ф. Николаевским, глава 2 — Д. В. Игумновым.
Глава 1 БИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ Наиболее распространенными активными элемента- ми радиоэлектронных схем в настоящее время являются биполярные транзисторы. Специфика их работы ® мик- рорежиме во многом определяется особенностями рабо- ты эмиттерного перехода при малых положительных смещениях, которые влияют на большинство эксплуата- ционных параметров транзистора. В связи с этим есте- ственно проанализировать процессы в р—/г-переходе, что позволит описать вольт-амперные характеристики тран- зистора в микрорежиме. 1.1. Вольт-амперные характеристики Одной из основных причин отличия реальной вольт-амперной характеристики р—«-перехода от идеальной при малых положи- тельных смещениях является возрастающая роль тока рекомбина- ции в объеме р—«-перехода. При малых положительных смещениях р—«^переход еще достаточно широк, а плотность тока мала. В свя- зи с этим появляются благоприятные условия для рекомбинации носителей заряда в слое пространственного заряда. Таким образом, при расчете прямого тока, протекающего через р—«-переход, на ко- торый подано малое положительное смещение, нельзя ограничиться Рис. 1.1. Зонная структура р—i—«-перехода в состоянии равновесия. 6
рассмотрением лишь сквозного тока /Скв, а необходимо также учи- тывать ток рекомбинации /рек. Общий ток, протекающий через р—можно представить как /=/скв-|-/рек. (1-1) Начнем исследование общего тока перехода с рекомбинацион- ной составляющей. Рассмотрим зонную структуру р—i—п-,перехода в состоянии равновесия (рис. 1.1). Область i является областью с собственной проводимостью. Данную зонную картину можно впол- не применить к широкому р—п-переходу. Высоту барьера между п- и /-областями фп, а также между р- и /-областями фР можно определить как Рр Пп . “ пп+рр пп + рр ( • где фо — контактная разность потенциалов (высота потенциального барьера); пп, рр — концентрация основных носителей в п- и р-об- ласти соответственно. При подаче положительного напряжения на р—n-переход кон- центрацию дырок и электронов на границах /-области можно пред- ставить как <7(-?р + *Л) + Р = Рр ехр-----; п = пп ехр-------------’ (1.3) где q — заряд электрона; k — постоянная Больцмана; Т — темпера- тура, К; U\ и U2 — напряжение на переходе /—р и /—п соответ- ственно. Выражения (1.3) легко преобразуются к виду = <Рр + <Ртln (Р/Рр)> = ?« + <?r to (я/я„), (1.4) где qT=kT/q — температурный потенциал. Из (1.4) следует, что для симметричного р—n-перехода (рР= =пп) U\— U2, но так как Ui-]-U2—U (U — напряжение, приложен- ное ко всему р—п-переходу), можно записать р=п=ппехр [(—фо+^)/2фт], (1.5) или, выражая п через равновесную концентрацию на границе /- и n-областей п0, получим п=п0 ехр (///2фт). (1.6) На основании (1.6) для Ап=п—п0 запишем Ап=п0 { [ехр (/7/2ф т) ]—1}. (1.7) Если ограничиться рассмотрением случая, когда ширина /-области I много меньше диффузионной длины L, то концентрация избыточ- ных носителей Ап сохранится в /-области (условие 1<^L справедливо для большинства практических случаев). Следовательно, ток ре- комбинации в переходе будет равен r рДп . qnQ Г / // \ 1 /PeK='VZ = ~Z [(ехР2^ ) —1|- (!-8) Из выражения (1 8) следует, что при увеличении U ток ре- комбинации возрастает по экспоненциальному закону, причем в по- 7
казателе степени экспоненты стоит ’/г- Для более общего случая вместо следует использовать поскольку, как будет пока- зано ниже, коэффициент Шб далеко не всегда равен 2. Для несимметричного перехода (nn=f=Pp) при выполнении усло- вия п>п0 и п»ро напряжение делится между барьерами также примерно пополам (/Пб^2). Это следует из условий нейтральности п—р=пй—р0, откуда для рассматриваемого нами случая п^р. По- следнее равенство позволяет и в данном случае воспользоваться выражением (1.6), поскольку пр=п20ехр(£//2(рг). При An<n0 иногда можно получить тб—И (для <pp^><pn). Поскольку режим, при котором АЖпо не представляет практиче- ского интереса, рассмотрим более подробно лишь случай п^>р0- При более строгом рассмотрении процессов рекомбинации в р—п-переходе [4] необходимо указать, что зависимость =f(U) связана с характером рекомбинации, а именно с рекомби- нацией через примесные центры. В этом случае скорость рекомби- нации можно представить как [5] sP«= (n +«1)v + (p + />1) Л 0-9) где Тро, Тпо — времена жизни электронно-дырочных пар в полупро- воднике резко выраженного р- и и-типа соответственно. Общий ток рекомбинации в переходе можно найти, проинте- грировав выражение для скорости рекомбинации по всему объему пространственного заряда: рек == Я ^s^xdydz. (1.10) U Поскольку определить функциональную зависимость величин, входящих в формулу (1.9), очень трудно, обычно ограничиваются решением задачи для одномерной модели р—n-перехода. Анализ выражения скорости рекомбинации электронно-дырочных пар [4] показывает, что, если избыточная концентрация носителей много больше равновесной, величина коэффициента /Пб не может быть меньше 2, причем /Иб=2 лишь при Ап=Ар. Для этого случая время жизни электронно-дырочных пар по теории Шокли — Рида [5] равно Л + п, + Ап А» + А + Ап р°Ло + а + А«+- '“ п. + а + Дп • ( ' При положительном напряжении на переходе более 0,3 В (для транзистора КТ312В этому напряжению соответствует ток эмиттера порядка десятков наноампер) избыточная концентрация внутри пе- рехода более чем на три порядка превышает значения р0, л0, Pi, Ль В связи с этим можно считать, что в р—л-переходе выполняется условие т=тРО-|-Тпо. Поскольку, по определению, $рек=Ал/т, то для рассматривае- мого нами случая скорость рекомбинации электронно-дырочных пар можно представить как $рек=Ал/(тро-рГпО). Но поскольку л=Ал-|- -J-Ло, а Ал^>л0, то Ал^л, откуда получаем 5рек=Л/(TpQ-|-Tno) . (1.12) 8
Нетрудно показать, что При п^р n=niexp(U/(2(рт). Подставляя это равенство в (1.12), получаем «рек = + ’л»)] ехР (WSTr). (М3) Из (1.13) следует, что ток рекомбинации пропорционален ехр(£//2фт), т. е. /Иб=2. Однако, как показывает практика, в ре- альных р—п-п&ръхъжх для режимов микротоков обычно /Пб<2. Вольт-амперную характеристику р—«-перехода при малых по- ложительных смещениях удобно исследовать, используя транзистор- ную структуру. В этом случае мы исследуем эмиттерный переход, а коллекторный переход, являющийся экстрагирующим для неоснов- ных носителей, разделяет сквозную и рекомбинационную составляю- щие тока эмиттера. Для микрорежима рекомбинацией носителей в базе для диффузионных транзисторов в первом приближении мож- но пренебречь. Германиевые транзисторы нельзя использовать для работы в ми- крорежиме из-за больших значений обратных токов переходов тран- зистора. Из кремниевых транзисторов лучшими параметрами и ха- рактеристиками для работы в микроамперном диапазоне токов об- ладают приборы, изготовленные по планарной технологии методом двойной диффузии. Такие транзисторы имеют малые обратные токи (единицы и десятые доли наноампера) и тонкую базу (1...2 мкм). При хорошей герметизации приборов защитная пленка SiOg позво- ляет получить от маломощных планарных структур обратные токи переходов менее 1 нА. Рассмотрим зависимости токов /к и /Б от С/Бэ для кремниевого планарного транзистора типа КТ312 (рис. 1.2,а). В исследуемом об- разце токи переходов при обратном напряжении 1 В имели значения менее 1 нА. Ход зависимостей на этом рисунке свидетельствует о ма- лых величинах токов утечки. Это следует, во-первых, из линейной зависимости /к (масштаб зависимостей по оси ординат — логариф- мический) и, во-вторых, из того, что величина, обратная наклону зависимости /к, равна <рт [6]. Линейный характер зависимости /к = / (£/БЭ) дает возможность заключить, что в микрорежиме коэффициент передачи транзистора практически не зависит от величины коэффициента переноса не- основных носителей через базу. Поскольку зависимость /Б = =/(^вэ) на Рис- также линейна и величина, обратная нак- лону зависимости, больше <рг, можно сделать вывод, что в данном случае ток базы есть не что иное, как рекомбинационная состав- ляющая эмиттерного тока. Наклон зависимости /Б в приведенных на рис. 1.2,а масштабах определяется коэффициентом та, который в рассматриваемом диапазоне токов практически постоянен для каждого конкретного образца. На рис. 1.2,б для сравнения приведены зависимости /к и /Б от иБЭ для германиевого транзистора типа ГТ 109. Обе зависимости имеют близкий по величине наклон, равный Это подтверждает преобладающую роль сквозной составляющей для германиевых р—«-переходов. Сопоставление величин рекомбинационной и сквоз- ной составляющих в германиевых и кремниевых р—«-переходах 9
показывает, что при малых положительных смещениях рекомбина- ционный ток для р—«-перехода из германия значительно меньше (не менее чем на три порядка), чем сквозной, а для переходов из кремния рекомбинационный ток при тех же условиях имеет один и тот же порядок, что и сквозной ток, и даже может стать основ- ным. Таким образом, для реальных р—«-переходов коэффициент то, как правило, оказывается меньше 2. Так, для транзистора типа КТ312 типовая величина коэффициента «1б^1,4, для транзистора КТ315 Шб^1,7, а для транзистора КТ342 тб^1,2. Одной из причин отличия расчетного и экспериментального зна- чений коэффициента /Иб могут явиться токи поверхностных каналов, пересекающих р—«-переход. Однако эти токи могут лишь увели- чить значение коэффициента те, но никак не уменьшить его [7, 8]. Для получения возможности хотя бы ориентировочно определить причины возникновения «1б<?2, следует рассмотреть реальную структуру планарного р—«-перехода. Плотность тока рекомбинации в основном зависит от времени жизни электронно-дырочных пар и от ширины запирающего слоя: qnd Г ( U \ 1 <L14) где Лэ—площадь эмиттера. Однако плотность тока рекомбинации в общем случае неоди- накова в разных точках перехода, поскольку на практике толщина запирающего слоя и распределение концентрации ловушек в кри- сталле бывают неравномерны. Так, на поверхности кристалла из-за несовершенства кристаллической структуры, большого количества дефектов и атомов загрязняющей примеси время жизни оказывает- ся значительно меньше, чем в объеме кристалла. В реальном планарном р—n-переходе из-за положительного за- ряда в двуокиси кремния, создаваемого вакансиями ионов кисло- рода, может происходить обеднение базовой поверхности, примыкаю- щей к р—«-переходу, и даже инвертирование проводимости (рис. 1.3). Обеднение поверхности базы не изменяет инжекцию носителей в базовую область и поэтому не будет существенно влиять на ве- личину /скв, но создает благоприятные условия для рекомбинации носителей как на поверхности (благодаря поверхностным центрам генерации-рекомбинации), так и в объеме (благодаря объемным ловушкам). Схематическое изображение рекомбинации также пока- зано на рис. 1.3. Приведенная выше теория позволяет определить ток объемной рекомбинации при изменении (7^, но ток поверхностной реком- бинации может дать один или несколько пиков своей величины, по- скольку действительная природа его изменения будет также за- висеть от распределения плотности поверхностных ловушек в за- прещенной зоне и будет связана с сечениями захвата носителей. Поверхностная рекомбинация достигает максимума, когда плотно- сти электронов и дырок на поверхности равны (это соответствует условию почти собственной проводимости на поверхности), если сечения захвата поверхностных ловушек электронов и дырок не сильно различаются. 10
Таким образом, с учетом вышеизложенного можно заключить, что в планарных кремниевых р—n-переходах ток поверхностной ре- комбинации значительно больше тока объемной рекомбинации. При обеднении приэмиттерной поверхности базы в транзисторах степень увеличения тока базы определяется поверхностной рекомбинацией. Ток рекомбинации при анализе характеристик р—п-перехода принято разделять на две составляющие. Поскольку поверхностная составляющая тока рекомбинации является основной, различие экспериментальных характеристик от расчетных по изложенным ра- нее представлениям следует искать в допущениях, которые не могут уже иметь места при анализе тока поверхностной рекомбинации. Экспериментальные зависимости /к, /Б=/1’((/БЭ) для транзисторов КТ312 (а) и ГТ109 (й). Одной из вероятных причин отличия значения коэффициента /Пб от 2 могут явиться допущения, сделанные при выводе формул для определения скорости рекомбинации [5]. При анализе скорости рекомбинации не учитывалось время «закрепления» электрона в ло- вушке после его захвата. При переходе электрона из зоны прово- димости на свободную ловушку проходит некоторое время, прежде чем он «опустится» в основное состояние. При условии, что электрон находится в возбужденном состоянии, способность ловушек отда- вать электрон или захватывать дырку отличается от условий, при- нятых в рассмотренной теории. Если допустить, что по мере отклонения системы от состояния термодинамического равновесия вследствие возрастания термодина- мического давления неравновесных носителей время «закрепления» электронов уменьшается, то время жизни носителей также должно уменьшиться. Полагая, что уменьшение времени жизни в переходе пропорционально (Д/г/п<)~ь, для времени жизни при положитель- ном смещении на планарном кремниевом переходе более 0,3 В мож- но записать т«(тр<г4-т»о) (Дл/л<)”ь. (1.15) 11
Поскольку время релаксации электронно-дырочных пар мало, то величина b также мала, но больше нуля. С учетом (1.7) и приве- денных выше допущении формула (1.15) может быть представлена в виде +Л») exp (- w//2?r), (1.16) откуда скорость рекомбинации электронно-дырочных пар в р—п-пе- реходе равна ni (У 1 + 6\ .. ... SpeK“ tpo + ^o 2 )' ( ’ 7) Пусть в первом приближении d=const в любой точке области про- странственного заряда, тогда, подставив (1.17) в (1.10), для плот- ности тока рекомбинации получим выражение /(/ 1 + Ц /рек — /реж о ехР 2 у’ U‘18) где 2/(1-|-6)=/Пб^2, поскольку Следует также отметить, что, поскольку степень обеднения не- которым образом зависит от £/БЭ, а плотность ловушек на поверх- ности в общем случае неравномерна, появляется дополнительная возможность для изменения реальных значений коэффициента /Пб относительно расчетных. Так как на основании (1.1) ток эмиттера является суммой двух составляющих, /рек и /скв, 81 для нахождения /э следует также опре- делить /скз. При малых положительных смещениях, как было пока зано выше, напряжение иБЭ делится между барьерами р—i—/г-пе рехода приблизительно пополам. Однако сквозной ток при этом не зависит от соотношения и (/2. На самом деле, если бы число электронов в /-области сохраня- лось равновесным, то за счет инжекции из /-области число электро- нов на границе p-области возросло бы до величины П2= =Пр ехр([/г/фт). Однако число электронов в /-области также воз- растает благодаря инжекции из n-области: И1-2==л< ехр(СЛ/фт). Следовательно, соответственно должно возрасти число электронов, инжектируемых в р-область: п2=пр ехр((//фт). (Ы9) Таким образом, количество электронов, инжектируемых в р-область, пропорционально ехр(С//фт), откуда можно записать выражение для сквозного тока через р—п-переход: ^СКВ -- ,4DpPn\[( и\ *•—JLvxp^)“ J’ (1.20) где Dn, DP — коэффициенты диффузии электронов и дырок соот- ветственно; Ln, Lp -—диффузионная длина электронов и дырок со- ответственно. 12
Таким образом, полный ток через р—n-переход будет К у \ л / и \ ехР m^TJ + ^скво 9* Изложенное выше позволяет заключить, что вольт-амперную характеристику эмиттерного р—n-перехода в транзисторе можно выразить через рекомбинационный ток либо через полный ток эмит- тера. В первом случае вольт-амперная характеристика эмиттерного перехода может быть представлена в виде = ЛэО еХР (^БЭ/ тб?т) ‘ 0 • 22) Формула (1.22), строго говоря, справедлива, если база тонка и рекомбинацией носителей в ее объеме и на поверхности можно пренебречь. Если же рекомбинация носителей в базовой области соизмерима с рекомбинационной составляющей тока эмиттера, (1.22) можно использовать с соответствующей поправкой к коэффициенту Рис. 1.3. Разрез планарного р—п-перехода. те. Для практического большинства маломощных планарных крем- ниевых транзисторов рекомбинация носителей в базе приводит к’ уменьшению коэффициента тб не более чем на 10%. Зависимость тока эмиттера от U^q можно определить из (1.21) Однако для практических расчетов эта формула неудобна. Поэтому представим выражение для тока эмиттера как [10] = ^эо ехР (^бэ/тэ?г) • (1*23) В этой формуле /до и появляются ’функциями нескольких пере- менных. Однако, как показывает практика, величину /эо для каж- дого транзистора в микрорежиме можно считать постоянной (при постоянной температуре). Что же касается коэффициента /пэ, то при использовании формулы (1.23) следует учитывать зависимость его величины от рабочего тока. Значения коэффициента т9 для большинства маломощных планарных транзисторов лежат в пре- 13
делах от 1 до 1,5. Этот коэффициент изменяет свое значение в ра- бочем диапазоне токов несколько больше, чем коэффициент т6. При работе транзистора в микрорежиме существенную роль могут играть токи утечки. При расчете вольт-амперных характери- стик эмиттерного перехода для таких транзисторов следует вводить дополнительную поправку к величинам /эд, /эо, тб и zna. Разу- меется, это справедливо только при работе транзисторов в микро- режиме. При практическом использовании формула (1.22) удобна для анализа параметров транзистора, включенного по схеме ОЭ, а формула i(1.23) —по схеме ОБ. Наличие нескольких ’ взаимозависящих составляющих токов базы и эмиттера обусловливает значительный разброс параметров р— п- перехода в микрорежиме, и с изменением составляющих токов /Б и /э в значительной степени будут меняться и величины /Б0, /э0 , тб и т3. На рис. 1.4 приведены усредненные зависимости параметров, входящих в формулы (1.22) и (1.23), для 150 образцов транзистора КТ312, а на рис. 1.5 зависимости дисперсии тех же параметров от тока эмиттера. Из оис. 1.5 следует, что дисперсия 1g/Эо остается практически Постоянной в диапазоне токов 10... 100 мкА, дисперсия значений 1g /Б0 и коэффициент имеют минимальное значение при токах 1... 10 мкА, дисперсия коэффициента zna резко уменьшается с воз- растанием тока и при /э > 1 мкА имеет весьма малые значения. Коэффициент /иб до токов порядка 10 мкА характерен меньшим разбросом своих величин, а с превышением тока 10 мкА — большим разбросом, чем коэффициент zna- Если ток базы рассматривать как рекомбинационный, то ток коллектора будет представлять сквозной ток эмиттерного перехода. На основании (1.20) ток коллектора можно выразить в виде /К = ;К0 ехРКУБэ/"гк'?т). (1 •24) Усредненные зависимости параметров эмиттерного перехода для транзисторов КТ312 от тока эмиттера. 14
где mK=l ... 1,3 — поправочный коэффициент, учитывающий реком- бинацию носителей в области базы и утечки переходов. При токах /к<1 мкА можно считать тк=1. Таким образом, формулы (1.22) ... (1.24) описывают вольт-амперные характеристики бипо- лярного транзистора в микрорежиме. Для оценки влияния температуры окружающей среды на вольт- амперные характеристики биполярного транзистора в микрорежиме следует определить зависимости сквозного и рекомбинационного токов от температуры. Зависимость сквозного тока р—n-перехода от температуры мож- но представить в виде [11] ) ехр —. (1.25) где У — постоянная, не зависящая от температуры; —ширина запрещенной зоны. Температурную зависимость тока рекомбинации можно опреде- лить, подставив (1.17) в (1.10); тогда с учетом температурной за- висимости tii [12] имеем 2Яэд/э ^бэ / %MnYkT \3/2 / Д& \ /рек== ъ. + v. ехр«б¥т V А1'2 ) ехр\ 2АГ / (1-26) где /пг — эффективная масса электрона: h — постоянная Планка; /э — ширина эмиттерного перехода. Полагая тпо и тР0 малочувствительными к температурным из- менениям, (1.26) можно переписать как Грек^Г 7 XII/2 £/бэ Лехр^-^г-J] ехр — (1-27) где Г — постоянная, не зависящая от температуры. При использовании формулы (1.27) для практических расчетов зависимостью члена Т3 можно пренебречь, поскольку его влияние на величину /рвк значительно слабее влияния экспоненты [13]. Зависимости дисперсии параметров эмиттерного перехода для тран зисторов КТ312 от тока эмиттера. 15
Зависимости /реко и /скво (рис. 1.6,а) носят почти экспоненци- альный характер (линейность характеристик), причем наклон зави- симости /реко почти в два раза меньше, чем наклон /скво. Это сви- детельствует о том, что с уменьшением температуры сквозной ток уменьшается быстрее, чем рекомбинационный. Экспериментальные зависимости /реко и /Скво=Г(О—а и /Пб=/(/)—б. Приведенная на рис. 1.6,6 экспериментальная зависимость /Иб= =f(t) для кремниевого планарного транзистора КТ312 свидетель- ствует об уменьшении величины коэффициента с ростом темпе- ратуры. 1.2. Коэффициент передачи тока При работе биполярного транзистора в широком диа- пазоне токов коэффициент передачи тока можно пред- ставить как произведение трех величин: коэффициента инжекции у, коэффициента переноса неосновных носи- телей через базу р* и коэффициента лавинного размно- жения в коллекторном переходе. Коэффициент инжекции (эффективность эмиттера) характеризуется способностью эмиттера инжектировать в область базы неосновные носители. Для транзистора п—р—n-типа этот коэффициент определяется отноше- нием электронной составляющей к полному току эмит- тера. Коэффициент переноса р* характеризует потери не- основных носителей в базе при их движении от эмитте- ра к коллектору. С уменьшением плотности тока в без- дрейфовых транзисторах и в дрейфовых транзисторах, включенных инверсно, коэффициент переноса может 16
значительно уменьшиться из-за возрастающей роли ре* комбинации неосновных носителей заряда на поверх- ности базы. Для большинства маломощных планарных транзи- сторов, выполненных методом двойной диффузии, вслед- ствие неравномерного распределения примеси в базе возникает электрическое поле, которое значительно ослабляет влияние поверхности на коэффициент р*. В номинальных режимах работы транзистора коэффи- циент передачи в основном определяется величиной р*, т. е. коэффициент передачи определяется рекомбинацией носителей в базе, что ставит его величину в обратную зависимость от ширины базы W. Поскольку в микрорежиме вклад тока объемной ре- комбинации в общий ток базы незначителен, ширина базы с уменьшением рабочего тока оказывает меньшее влияние на величину коэффициента передачи, чем в но- минальных режимах работы 'биполярного транзистора. Для оценки влияния ширины базы на величину коэф- фициента передачи в микрорежиме удобно проанализиро- вать зависимость Л21Э = /0П> гДе Л21Э— статический ко- эффициент передачи биполярного транзистора для схемы ОЭ. Поскольку при уменьшении тока коллектора до еди- ниц микроампер й21Э уменьшается весьма значительно, причем это уменьшение определяется возрастающей ро- лью тока рекомбинации вне объема базы, то, сравнивая величины коэффициентов й21Эн (в номинальном режиме) и Л21Э (в микрорежиме), можно определить зависимость ко- эффициента передачи в микроамперном диапазоне токов от напряжения (7КБ. Для этого удобно воспользоваться следующей эмпирической формулой: А21Э /гг ч АВ1Энпих~~А21Эпих . ^21Этах й21Эн ,tj ч Л?1Этах КБ^ Л21Энтах ^21Энтах ^21Энтах К (1.28) где А21Энтах> А21Этах — коэффициенты передачи при опреде- ленном максимальном напряжении, относительно кото- рого определяется их изменение. 2—232 17
Рис. 1.7. Зависимости Й21э/Л21Этах X X (^кб) : экспериментальная при /э == 10 мА (-------), рассчитанная по формуле (1.28) (-------) и резуль- таты экспериментальной про- верки при /э = 10 мкА для транзистора КТ312. На рис. 1.7 приведены за- висимости коэффициента пе- редачи биполярного транзи- стора от напряжения 47КБ для номинального и микрорежима. Отсюда следует, что с умень- шением тока зависимость ко- эффициента передачи от на- пряжения на коллекторном переходе вырождается. Слабая зависимость Л21Э = = /(^кб) позволяет предполо- жить, что ширина базы при работе транзистора в микро- амперном диапазоне токов почти не оказывает влияния на его усилительные свойства. Для проверки этого поло- жения необходимо определить изменение ширины базы в зависимости от (/КБ. Для этого можно воспользоваться зависимостью барьерной ем- кости коллекторного перехода Ск от Зная Ск = = /(^кб)- нетрудно определить зависимость ширины коллекторного перехода /к от UKb как /к—^4к8об/Ск, (1-29) где А„ — площадь коллектора; ео — диэлектрическая проницаемость вакуума; е — относительная диэлектриче- ская проницаемость кремния. В реальных транзисторах большая часть коллектор- ного перехода располагается в базе (более высокоомном слое). Поэтому, если положить, что при увеличении 6/КБ коллекторный переход расширяется в сторону базы и в сторону коллектора одинаково, можно определить ми- нимально возможное изменение ширины базы: ДЦ7=(/К—/к0) /2, (1.30) где /ко — ширина запирающего слоя коллекторного пе- рехода при £/кб = 0. 18
Подставляя (1.29) в (1.30), записываем AH7=f(t/KB) как -^кеое [Ско — Ск (1^кб)] 2СК (1/rb) Ско (1.31) где Ск„ — емкость коллекторного перехода при t/KB= 0. Однако нас интересует не столько величина AIF, сколько ее относительное изменение в зависимости от 6/КБ. Для этого необходимо определить истинную ширину базы транзистора при £/КБ = 0. При определении W удоб- но использовать метод «косого шлифа» [4]. Этим мето- дом определялась глубина залегания эмиттерного и кол- лекторного переходов, а затем W. В табл. 1.1 приведены значения абсолютного A IF и относительного A W/ W изменения ширины базы для различных С/КБ относительно £/кв=0. Таким образом, можно заключить, что изменение ширины базы на 10... 15% не вызывает сколько-нибудь заметных изменений величины Л21Э при работе планар- аблица 1. УКБ-В AIF, мкм Д№/№100% 1 0,11 6 2 0,17 9,5 3 0,21 11,8 5 0,27 15,2 ных транзисторов в микро- амперном диапазоне токов. Следствием этого является, во-первых, независимость усилительных свойств бипо- лярных транзисторов в мик- роамперном диапазоне то- ков от напряжения на кол- лекторном переходе, что облегчает расчет и конст- руирование микромощных транзисторных схем, и, во-вторых, слабое влияние тех- нологического разброса величин ширины базы на уси- лительные параметры биполярных транзисторов в ми- крорежиме, что позволяет увеличить процент выхода годных транзисторов в процессе их производства, если они предназначены для использования в микрорежиме. При использовании транзисторов, как правило, на- пряжение на коллекторном переходе меньше величины пробивного напряжения, т. е. лавинное размножение но- сителей в коллекторе отсутствует. Изложенное позволяет сделать вывод, что коэффи- циент передачи биполярного транзистора в микрорежи- 2* 19
ме определяется лишь коэффициентом инжекции. Ста- тический коэффициент передачи тока можно предста- вить как ^21Э = (ZK ~ ^КБо)/(^Б 4“ ZKDo)‘ (1 -32) Поскольку для планарных транзисторов обычно выполня- ется /к^и /б>7кбо’ то в Ф°РмУле (1-32) можно пренеб- речь величиной ZKB0. Тогда, раскрыв значения /к и /Б из (1.24) и (1.22), получим ^21Э __Jko zbo ехр m6 — тк /Иб^к Если при токе коллектора /К1 коэффициент передачи ра- вен h2X3v то ^21Э ^21Э1 еХР ^БЭ — ^БЭ1 тбтк и — ехр ^БЭ *“ ^БЭ1 ZK1 Рис. 1.8. Расчетная зависимость = = /(/^) и результаты экспери- мента. Отсюда нетрудно записать тб~чпк (1.33) Притк=1 формула (1.33) запишется как «б-i ^21Э ~ ^2131 6 (1.34) Формулы (1.33) и (1.34) позволяют определить коэффи- циент передачи биполярного транзистора в микрорежиме, если известен Л2|Э1 при токе /К) ^обычно 1 мкА). На 20
рис. 1.8 приведены зависимость Л21Э = /(/к) в микроре- жиме и результаты эксперимента для маломощного пла- нарного транзистора. Для практических расчетов формулу (1.34) удобно представить в виде О-35) где /„ - в мкА; х = [мкА]-’; т’=1- 1/тб. Путем двух измерений й2|Э при фиксированных токах нетрудно определить коэффициенты хит. Эти коэффи- циенты численно равны Х = ^2191 [мкА]-"*; /n = lg(ftSI910/ft2I9I)l где Л2)Э1, Л21Э10 — коэффициенты передачи транзистора, из- меренные при токах коллектора 1 и 10 мкА соответст- венно. Аналогично изложенному выше, нетрудно определить зависимости Л21Э в микрорежиме от тока эмиттера и ба- зы соответственно: тз (тб~тк> ^219= ^2191 (^э/(э1) б/”К » тб~тк ^219 ^2191 (^в/^Б1) К ’ где Л2|Э1—коэффициент передачи биполярного транзистора в схеме с общим эмиттером при /Э=7Э1 и zb = ^bi соот" ветственно. Статический коэффициент передачи биполярного транзистора в микрорежиме в схеме с общей базой Л2(Б можно представить как ^21Б ~ ^2161 (^к/Ао^ Э • ^21Б)= ^21Б1 (^эДэ1) * ’ <тб7тэ-тк; ^2IBj=^?|Bl (^б/^Б1) ’ где Л21Ь1 — коэффициент передачи тока при fK=/K1, и /Б = /Б1 соответственно. 21
Нетрудно также записать выражение и для 1 — Л21Б: тб~та ^21Б=.(1 ^2161) ('э1/4) 6 ’ (1.36) Приведенные выше соотношения с достаточной для инженерных расчетов точностью можно использовать при определении коэффициентов передачи тока биполяр- ного транзистора в микрорежиме. В табл 1.2 приведены типовые значения коэффициен- тов передачи Л21Э в микрорежиме для некоторых типов маломощных кремниевых планарных транзисторов. Таблица 1.2 Тип транзистора КТ306 КТ312 КТ315 КТ342 /к = 1 мкА 8 12 5 21 ^21Э /к == ЮмкА 20 25 12 95 Коэффициент передачи биполярного транзистора для схемы с общим эмиттером по переменному току Л2]э не- трудно найти, зная статический коэффициент й21Э. По- скольку д!к д!к fl«>=^=du^-diT’ его величину можно определить, раскрыв значения /к и /Б. После преобразований получим (^б/^к) ^21Э (1-37) Таким образом, простое соотношение (1.37) позволяет опре делить й21э через й21Э. [При этом следует отметить, что в микрорежиме коэффициент передачи по переменному току всегда оказывается ббльшим, чем статический. Ана- логично (1.37) получим связь между статическим Л21Б и дифференциальным Лг1б коэффициентом передачи тока би- полярного транзистора для схемы с общей базой в мик* рорежиме; ^116 — ^21Б ' (1.38) 22
Зависимость коэффициента передачи биполярного транзистора от температуры для микрорежима можно получить, используя выражения (1.25) и (1.27) для тем- пературных зависимостей сквозной и рекомбинационной составляющих тока эмиттера. После преобразований формулу для температурной зависимости коэффициента передачи Л21Э при mK=d можно представить в виде J_ 2~^б ™б-1 /, __ 6 Гтзрхп ( —^1 2Г7?б I тб (1 391 п21э р * ехР ( • (ЬоУ; Из (1.39) следует, что при тб = 2 коэффициент передачи не зависит от температуры: — Однако это условие в большинстве случа- ев вряд ли выполнимо, поскольку на практике коэффициент т$ не только не равен 2, но и изменяет- ся в диапазоне температур. Для большинства образцов маломощ- ных планарных кремниевых тран- зисторов коэффициент передачи в микрорежиме увеличивается при повышении температуры (рис. 1.9). Однако для некоторых исследованных образцов эта за- Рис. 1.9. Экспериментальные зави- симости Л21Э = /(0 для планарного транзистора. висимость вырождалась при уменьшении тока коллектора, а для некоторых (^2%) даже из- меняла свой знак (с увеличением температуры коэффициент пере- дачи уменьшается). Это явление, на наш. взгляд, прежде всего связано с возрастанием коэффициента тъ при увеличении температуры и уменьшении тока. G уменьшением рабочего тока коэффициента передачи транзистора резко падает, и это оказывается решающим для изменения абсолютной дисперсии коэффициента /г21Э от тока. Так, например, дисперсия для транзисторов КТ312 резко уменьшается начиная С /э= 10 мкА. Отно- сительная же дисперсия коэффициента усиления Л21Э с уменьшением тока возрастает, однако, при токах /э< < 10 мкА изменяется незначительно. 23
Интересной особенностью Микрорежима является то, что в режиме насыщения биполярный транзистор, рабо- тающий в микроамперном диапазоне токов коллектора, будет обладать определенными усилительными свойст- вами [16]. Если транзистор работает при номинальных токах, принято считать, что режим насыщения характеризует- ся постоянством тока коллектора при изменении тока базы. Оба перехода транзистора в режиме насыщения смещены в прямом направлении, в базе имеется избы- точный заряд неосновных носителей, так что процесс изменения тока коллектора и напряжения коллектор — эмиттер может иметь место лишь после окончания про- цесса рассасывания избыточного заряда, которое осуще- ствляется в течение определенного времени (время рас- сасывания). В микроамперном диапазоне рабочих токов в режи- ме насыщения оба перехода транзистора также смещены Рис. 1.10. Начальные участки выходных характеристик маломощного планарного транзистора в ре- жиме насыщения (--------) и в активном режиме (------------). в прямом направлении, од- нако степень этого смещения невелика (10 ... 20<рг). При этом рабочие точки могут находиться на участках ха- рактеристик р—«-переходов со значительной кривизной. Поэтому при изменении то- ка базы в определенной сте- пени будет изменяться ток коллектора. Нестабильная работа транзистора в режи- ме насыщения обусловлива- ет исследование области на- сыщения в микроамперном диапазоне токов. Если на вольт-амперных характеристиках для мало- мощного планарного транзи- стора (рис. 1.10) провести линию нагрузки, то можно заметить, что в области насыщения транзистор обладает определенными усилительными свойствами. Каждую ветвь выходной вольтамперной характеристики транзи- стора в режиме насыщения можно характеризовать дву- мя параметрами: 1) остаточным напряжением t/°Oci 24
при /к=0, соответствующим точке пересечения характе- ристики с осью абсцисс; 2) динамическим сопротив- лением [17], отражающим наклон характеристики к оси абсцисс. Остаточное напряжение t7°0CT в широком диапазоне рабочих токов базы можно представить в виде [15] г гл 4 ^ЭБО । ост — ?rln -уэ~ + +V.. о-40) где Л21Б/— коэффициент пере- дачи транзистора в инверс- ном включении для схемы с ОБ; /ЭБО— обратный ток Рис. 1.11. Типовая зависимость {/°ост = = f (1^) для маломощного пла- нарного транзистора. эмиттерного перехода; г'а—объемное сопротивление эмит- тера. Для работы транзистора в микроамперном диапазоне то- ков особый интерес представляет участок CD зависимости и"жт = f (/g) для маломощного планарного транзистора (рис. 1.11). Для этого рабочего участка формулу (1.40) можно упростить, поскольку /Б > /ЭБО и член /Бг'э для реальных значений г’а много меньше первого члена в пра- вой части (1.40); тогда ^ = ?г1п(1/Л21Б/). (1.41) Более строго формулу (1.41) можно представить в виде ^’Ост=«г#?г1п(1/Л21Б/)> О-42) где /и0 = 1 ... 2. Для определения коэффициента передачи транзистора в режиме насыщения Л21Энас воспользуемся формулами Эберса — Молла: / иБЭ ^гшл/'эво ( ехР 1 Г/ t/KR\ 1 1'кбо у ехР “^7 у 1 ’ (1-43) 25
IБ 0 ^21БЛг) ^ЭБО ^еХР <fT 1^4" 4~(1 — А21Б/) 7'КБО ^ехр — 1у> где ^ЭБСГ^^ЭБсД! ^21БЛГ^21Б/)’ ^'кБО^ ^КБО А ^21BW^21B/)’ l/ga, (7КБ— напряжение на эмиттерном и коллекторном переходах. В микроамперном диапазоне токов, с одной стороны, следует учитывать поправку на различие идеального и реального переходов в виде коэффициента /Пб, но с дру- гой— можно пренебречь единицей в сравнении с экспо- нентой в формулах (1.43). Коэффициент Л21Энас 0ПРеДелим как отношение Л21Энас== Тогда ^21Э вас = , , / иБЭ \ , ( УКБ \ А21Вл/эбо ^ехР Отб1?г )— 7кбоехР тб2<?г } (к— й21БЛг) 7ЭБО (^ехР rn61<frJ + (1—Й21Б/) ;КБО (^ехР ) (1-44) Полагая Л21БЛ, = 1 и Л21Б/ < 1, получаем . _ ^эво [ехР (^вэ/^б.Уг)! — 7кбо [ехР (^кб/от62?г)1 21Энас 7КБОехР (^КБ^бгУг) (1.45) Поскольку при малых токах коллектора ^Ост—^бэ~ ^кб> то, используя (1.42), можно записать —^БЭ Hle<f>r 1П (1/ftj1B/). (1-46) 26
Подставляя (1.46) в (1.45) и полагая после проведенных преобразований получаем и 1ЭЪО~^12\Ъ11КЪО «21Энас^ Sb;/kbo Формулой (1.47) можно пользоваться для определения ^21Энас‘ Для оценки величины Л21Энас можно пользоваться бо- лее простой формулой, полученной из (1.45) при допуще- нии, что /КБО^/ЭБО: ^Эиас^ V^2i3/> (1*48) где Л21Э/ — коэффициент передачи транзистора в инверс- ном включении для схемы с общим эмиттером. Если при выводе формулы (1.47) учесть также, что при работе планарных транзисторов в микрорежиме Л2(Б; < 1. то можно записать ^2|Э нас 11^2\ЪГ ( Формулы (1.48) и (1.49) равнозначны, поскольку в микроамперном диапазоне токов в планарных транзи- сторах Л21Э/ = Л21Б/. Из формул (1.47) ... (1.49) следует, что большим коэффициентом передачи в режиме насыщения обладают транзисторы с малым инверсным коэффициентом, т. е. транзисторы с сильным полем в базе (дрейфовые тран- зисторы). Таким образом, для использования усилительных свойств транзистора в режиме насыщения для микро- амперного диапазона токов следует выбирать дрейфо- вые транзисторы. Если же значительные величины Л21энас приводят к вредным эффектам, затрудняют ста- билизацию рабочей точки в режиме насыщения, следует •выбирать бездрейфовые транзисторы. Для этих целей могут -быть использованы некоторые типы эпитаксиаль- ных транзисторов. Режим насыщения в микроамперном диапазоне то- ков может быть использован для построения усилителей с небольшими коэффициентами усиления. Так, на рис. 1.12 приведены экспериментальные зависимости 27
коэффициентов усиления по току Ki и по напряжению К.и для реостатного импульсного усилителя, собранного на маломощном планарном транзисторе, работающем в режиме насыщения, от тока коллектора (ток смещения I =20 нА, /?н=1,1 мОм, Ек=0,8 В). Таким образом, изложенное выше позволяет сделать вывод, что область насыщения транзистора, работаю- Рис. 1.12. Экспериментальные зависимо- сти Кт, Ки=*}(1к) для усили- теля на биполярном транзисто- ре, работающем в режиме на- сыщения. щего в микрорежиме, харак- терна определенными усили- тельными свойствами. С тех- нической точки зрения это явление имеет двоякий смысл: во-первых, появляет- ся возможность построения усилителей, работающих в режиме насыщения без вы- хода в активную область, и, во-вторых, становятся необ- ходимыми особые меры для стабилизации рабочей точки транзисторного ключа в на- сыщенном состоянии. В пер- вом случае следует приме- нять дрейфовые транзисторы. Описанная особенность режима насыщения для маломощных кремниевых пла- нарных транзисторов проявляется при токах коллектора меньше 0,5... 1 мкА. Рассматривая область насыщения для микрорежима в транзисторе, нетрудно заметить, что если величину на- пряжения питания £к выбрать равной остаточному на- пряжению t/ост для минимального рабочего тока базы, то транзистор, работающий в таком режиме, будет пред- ставлять собой идеальный ключ для запертого состояния (рис. 1.10, линия нагрузки АВ). Хотя в запертом состоянии транзистора и можно по- лучить идеальные ключевые свойства, однако реализо- вать их технически весьма затруднительно, поскольку точка А (рис. 1.10) нестабильна во времени и темпера- туре. Заканчивая рассмотрение коэффициента передачи би- полярного транзистора в микрорежиме, оценим влияние радиации на его величину. При работе в космическом пространстве основное влияние на работоспособность радиоэлектронной аппаратуры оказывают потоки прото- 28
нов космических лучей, радиационных поясов Земли и, что особенно опасно, солнечных вспышек. При воздей- ствии протонного излучения одним из существенных по- казателей действия радиации в биполярных транзисто- рах является значительное увеличение базового тока и уменьшение коэффициента передачи тока, которые обус- ловлены возникновением дополнительных центров ре- комбинации в транзисторе. Наиболее существенную Ьтом/Ьиз роль играет рекомбинация в областях пространственного заряда эмиттера, поэтому эти области являются опре- деляющими в биполярном транзисторе при радиацион- ном воздействии. Поскольку при падении рабочего тока в микрорежиме увеличивает- ся ширина запирающего слоя эмиттерного перехода, то следует ожидать увели- чения роли радиационного излучения на параметры би- полярного транзистора. Так как время жизни неоснов- ных носителей уменьшается под действием корпуску- лярного излучения в значи- тельно меньшей степени в кремнии p-типа, чем в крем- нии п-типа [18], то радиа- Рис. 1.13. Экспериментальные зависимости Л21Эобл /Л21ЭГ°Т дозы облучения протонами с энергией 660 МэВ для кремниевых транзисторов КТ342 (п—р—п) и КТ202 (р—/г—р) при /к = 1 и 100 мкА ционная стойкость п—р—n-транзисторов оказывается выше стойкости р—п—р-транзисторов (рис. 1.13). 1.3. Малосигнальные параметры Для малых сигналов биполярный транзистор можно представить -в виде активного линейного четырехполюс- ника. Рассмотрим некоторые малосигнальные парамет- ры биполярного транзистора в микрорежиме. Характерной особенностью микрорежима является резкое возрастание входного сопротивления биполярно- го транзистора при уменьшении рабочего тока (рис. 1.14). При этом в выражениях для ’входного сопротивления 29
можно пренебречь влиянием сопротивления базы. Для схемы с общей базой на основании (1.23) можно за- писать (1.50) а для схемы с общим эмиттером на основании (1.22) — Ацэ = /Иб<р7’//Б. (1.51) ме значительно возрастает Рис. 1.14. Расчетная зависимость Либ = /(/Э) и результаты эксперимента. Таким образом, формулами (1.50) и (1.51) можно пользоваться для определения входного сопротивления биполярного транзистора в микрорежиме. Поскольку выше уже рассматривался малосигналь- ный коэффициент передачи биполярного транзистора по току, здесь остановимся на другом усилительном пара- метре— крутизне S=dI^!dUb3. Так как в микрорежи- входное сопротивление би- полярного транзистора, то часто удобно его усили- тельные свойства выра- жать через крутизну. Кру- тизну удобно представить на основании (1.24) как 5=/к/^кфт, (1.52) откуда следует, что в ми- крорежиме при уменьше- нии тока коллектора кру- тизна уменьшается по ли- нейному закону. Заметим, что параметром S можно пользоваться при анализе работы биполярного тран- зистора как для схемы с общим эмиттером, так и для схемы с общей базой. При работе транзисто- ра в номинальных режи- мах величина выходной проводимости обусловли- вается эффектом модуляции ширины базы. Однако, как было показано выше, в микрорежиме изменение ширины базы под действием напряжения на коллекторном пере- ходе практически не влияет на величину тока коллектора. 30
Таким образом, можно заключить, что эффект модуля- ции ширины базы не оказывает практического воздейст- вия на величину выходной проводимости транзистора, работающего в микрорежиме, и поэтому величина вы- ходной проводимости должна быть весьма небольшой. В данном случае выходная проводимость определяется лишь напряжением на коллекторном переходе и вели- чиной обратного тока /КБО. Сопротивление коллекторного перехода гк, величина которого обратно пропорциональна выходной проводи- мости биполярного транзистора, в микрорежиме можно определить для практических случаев из следующей формулы: (1.53) где Гк1 — сопротивление коллекторного перехода при /к=^кь При определении коэффициента обратной связи по напряжению биполярного транзистора, работающего в микрорежиме, можно воспользоваться методом, изло- женным в работе [19]. Поскольку избыточная концен- трация неосновных носителей в базе определяется сквозной составляющей тока эмиттера, величина которой пропорциональна ехР(^Бэ/М’ нетрудно показать, что в микрорежиме коэффициент обратной связи по напря- жению сохранит порядок своих величин, характерных для номинальных режимов работы транзистора. Для определения величин коэффициента обратной связи по напряжению биполярного транзистора в микрорежиме могут быть использованы известные соотношения, спра- ведливые для режимов номинальных токов. Изложенное выше позволяет сделать вывод, что при переходе от номинального режима работы биполярного транзистора к микрорежиму коэффициент передачи тока и крутизна резко уменьшаются, входное сопротивление возрастает, выходная проводимость падает, а коэффи- циент обратной связи по напряжению сохраняет порядок своих величин. 1.4. Статическое входное сопротивление При конструировании микромощных схем необходимо знать не только малосигнальные, но и статические па- раметры транзисторов в режиме микротоков. Одним из 31
таких параметров является статическое входное сопро- тивление. Статическое входное сопротивление А11Э для схемы ОЭ определим на основании выражения (1.51) как /Б • I Лнэ = ,пб?т J ~ / (^Б ^КБо)» ;КБО / откуда для планарного транзистора в микроамперном диапазоне токов можно записать ^пэ In (/Б//КБО). (1.54) Поскольку в микрорежиме при расчете входного со- противления вполне допустимо пренебрежение величиной сопротивления базы, можно полагать, что эффект моду- ляции ширины базы не оказывает существенного влия- ния на величину входного сопротивления. Таким обра- Рис. 1.15. Входные характеристики эпипланарного транзистора при разных ^Кэ(«) и t(6). 32
зом, можно заключить, что для микрорежима должна быть характерна слабая зависимость Л11Э = /(С/кэ). Из входных характеристик для эпипланарного транзи- стора (рис. 1.15) видно, что увеличение напряжения UK3, начиная с 0,5В, практически не влияет на ход входной характеристики (на величину входного сопротивления). При икэ— 0 входная характеристика значительно смеща- ется влево (Л11Э уменьшается). Это объясняется тем, что при икэ=^0 оба перехода смещены в прямом направлении, т. е. входное сопротив- ление представляет собой параллельно включенные вход- ные сопоставления в прямом й11ЭЛГ и инверсном Л11Э/ включении транзистора (при (/кэ > 0 йпэ = й11ЭЛ,). По- скольку (20] . . A21BN<' ~’Л21БЛг) сеч Л11Э/-АпэЛг Л21Б/(1 — Л21Б/) ’ <L55> можно определить Л11Э как ftnstv || Лпэ/. Тогда Л ____ni ____________^216 У 0 ~й21Бм)________. ИЭ 113W Й21БЛГ(1 — Л21В;у) + ft21B/(1—Л21Б/) Использование формулы (1 56) для практического рас- чета затруднительно в связи с тем, что величины коэф- фициентов Л21БЛ, и Л21Б/ для нужного режима довольно трудно определить. Однако на основании (1.56) можно заметить, что при переходе к режиму £/кэ = 0 входное сопротивление уменьшается в большей степени у транзи- стора с большими Л21БЛ, и Л21Б/ (для реальных значений этих величин в микрорежиме). Входное сопротивление в микрорежиме, как и мно- гие другие параметры транзистора, может значительно менять свою величину под влиянием температуры. Ана- лизируя (1.54), можно предположить, что из парамет- ров, входящих в (1.54), наиболее сильно зависят от температуры обратный ток и температурный потенциал. Проведенные расчеты и результаты экспериментов под- тверждают это положение. Из экспериментальных входных характеристик эпи- планарного маломощного транзистора в микрорежиме при температурах —60, +20, +60°С (рис. 1.15,6) видно, 3—232 33
что с увеличением температуры характеристика сдви- гается влево, а Апэ уменьшается. Характерной осо- бенностью этих зависимостей является то, что с измене- нием температуры входное сопротивление меняется по закону, близкому к линейному Экспериментальные зависимости Лпэ = /(0 маломощ- ных планарных транзисторов (рис. 1.16) практически можно считать линейными, и это может облегчить рас- чет радиоэлектронных схем для микроамперного диапа- зона токов. Рис. 1.17. Зависимости D ~f (/51 Дв)» Рас" считанные по формуле (1.58) (-----), по формуле (1.59) (-------) и экспериментальные (о о о). Рис. 1.16. Экспериментальные зависимости Л11Э—f (0 Для планарных транзи- сторов. Для расчета и конструи- рования схем без предвари- тельной отбраковки транзи- сторов необходимо знать разброс их параметров. В связи с этим могут представлять интерес статисти- ческие данные относительно величин Л11Э. Входное сопро- тивление Л11Э при произвольном токе базы /Б можно най- ти, если известно Л11Э1 при фиксированном токе базы по формуле, которая получена на основании (1.54): h ____h zbi । т&т 1 7б "пэ —"ПЭ1 / “Г I ш/ • £> Ь Ы (1.57) 34
Используя (1.57), можно определить дисперсию Л11Э для тока базы 1Б, зная D,— дисперсию Л|1Э1 для /Б1: (1-58) если тб — достоверное событие; т^У+^Аг1п^У’ (L59) \ 'Б / 0 у 'Б 'Б1 / если mg — вероятностная величина. Рассмотрим зависимость дисперсии величин входного сопротивления от тока базы* *). Из рис. 1.17 видно, что при уменьшении рабочих токов статическое входное со- противление транзистора увеличивает не только абсо- лютный, но и относительный разброс своих величин. Это предъявляет особые требования к схемам, рассчи- танным без отбраковки транзисторов, при их работе в микрорежиме. Таким образом, можно сделать следующие выводы: 1) входное сопротивление при микротоках с уменьше- нием рабочего тока резко возрастает; 2) напряжение на коллекторном переходе планарного транзистора, на- чиная с {/кэ==0,5 В, практически не влияет на величи- ну входного сопротивления; 3) изменение входного со- противления под влиянием температуры в микрорежиме имеет характер, близкий к линейному; 4) с уменьше- нием рабочего тока разброс величин статического вход- ного сопротивления возрастает. 1.5. Емкость эмиттерного перехода Емкость р—n-перехода принято разделять на две составляющие: барьерную и диффузионную. Емкость коллекторного перехода имеет в основном барьерный характер и может быть определена по формулам, при- нятым для режима номинальных токов. Барьерная ем- кость эмиттерного перехода СЭбар в микрорежиме имеет определенную специфику. Она отражает перераспреде- ление зарядов в переходе и при небольших положитель- ных смещениях выражается формулой Шоттки — Мотта: - (/БЭ), (1.60) *) Дисперсия вычислялась при пересчете на шаг гистограммы, построенной для Di при /Б = 10 мкА. 3* 35
где /„ — ширина запирающего слоя эмиттерного перехода при ивэпо- следует заметить, что при определенных условиях формула (1.60) может давать большую погрешность, поскольку в ней не учитывается заряд подвижных носи- телей в переходе. Необходимым условием справедливо- сти формулы (1.60) для эмиттерного перехода п—р—л-транзистора является [21] ^БЭ=^‘Бэ = ?г1п0.1 (ЛГв/Л/)-. (1.61) В дрейфовых транзисторах степень легирования ба- зовой области значительно выше, чем в бездрейфовых, что является благоприятным фактором для применения формулы Шоттки — Мотта. Для маломощных планар- ных кремниевых транзисторов при Л/а=(2.. .3) 1018см-3 имеем t/*Rq == 0,86 В. be# ’ При анализе барьерной емкости эмиттерного пере- хода в микрорежиме формулу (1.60) удобно предста- вить в несколько ином виде, поскольку (1.60) не выра- жает в явной форме зависимости Сэбар от тока эмитте- ра. Нетрудно получить ► ___р в / _________________Уо____________ » бар — 41/ f# _ ШэТг in (}9,Jst} ’ (1-62) где С„— емкость эмиттерного перехода пути [/БЭ = 0. Диффузионная емкость отражает перераспределение зарядов в базе при изменении напряжения смещения эмиттерного перехода и определяется как СЭДИф= =dQ6jdU,3^ , где Qe — избыточный заряд неосновных носителей в базе. Для п—р—л-транзистора с однородным распределе- нием примесей в базе заряд Qe может быть определен из формулы О — дД С Ди stl *)//•] Jr 4ДП sh(r/£) ах. После интегрирования получаем Q6 = qA9Lhn th(I7/Z.) (1 — sch -yj. (1.63) 36
Поскольку для транзистора всегда выполняется условие то выражение (1.63) нетрудно представить в виде Q6^qA^nW/2. (1.64) Можно показать, что в микрорежиме Дп определяется как . д<=яд(/э//эо)’”’-1]. Подставив (1.65) в (1.64), будем иметь о [7'э У"9 . \ СДу / J Поскольку можно записать _дОь_ д1э ь,ДВф — д1э диБэ’ (1.65) (1.66) (1.67) то после дифференцирования (1.66) по 1Э и подстановки (1.50) в (1.67) в результате несложных преобразований получим выражение для диффузионной емкости эмит- терного перехода в транзистор с однородной базой для микрорежима: с диф __qA3n*W ( Y*9 2?т \^эо/ (1.68) Аналогичное выражение для диффузионной емкости эмиттерного перехода в транзисторе, полученном мето- дом двойной диффузии, для микрорежима может быть представлено в виде = ~exp(l -2Ч) + ехр(-2< ______________________ (1-69) где Ti = lny/'Na(t)/Na(W); NM, Na (B?)— концентрация при- месей в базе у эмиттера и коллектора соответственно. Изложенное позволяет сделать вывод, что с умень- шением тока эмиттера в микрорежиме величина диффу- зионной емкости падает значительно быстрее, чем ве- личина барьерной емкости. Следовательно, начиная с некоторого тока эмиттера /Эгр, можно пренебречь 37
влиянием диффузионной емкости на суммарную емкость перехода. Для определения /Эгр положим, что должно выполнять- ся следующее соотношение: С» бар/Сэ диф=10. (1.70) Раскрыв значения Сабар и СЭДИф из формул (1.62), (1.66) или (1.69), можно получить развернутое выражение, решив которое относительно /э, получим формулу для оп- ределения 1Э . Однако практически применить такую фор- мулу будет нельзя ввиду ее громоздкости и необходи- мости знать большое количество внутренних парамет- ров транзистора. Обычно на практике для кремниевых транзисторов в микрорежиме выполняется условие Сабар^МС... (1.71) Для диффузионной емкости эмиттерного перехода в микрорежиме можно записать лиф ^эепр/^»?г> U-72) где xnp = W*/2D. Подставляя (1.71) и (1.72) в (1.70), после проведе- ния преобразований будем иметь /9rp = 0,14mi?rCM/'tnp. (1.73) Зависимость Сэбар/Сэдиф=Д/э) для маломощного планарного кремниевого транзистора с параметрами Тпр=0,1ЫО_2 с, Сэо=5,5 пФ показана на рис. 1.18. Таким образом, приведенные упрощения позволяют сравнительно легко определить отношение емкостей пе- рехода и величину /Эгр с достаточной для инженерных расчетов точностью. В табл. 1.3 приведены типовые значения величин /Эг> для некоторых маломощных планарных транзисторов. Таблица 1.3 Тип транзистора КТ312 КТ315 ! j КТ324 КТ342 /Эгр, мкА 37 35 18 20 38
Поскольку биполярные транзисторы различных ти- пов имеют различные площади эмиттерного перехода *>, то для общей наглядности имеет смысл определить гра- ничную плотность тока эмиттера /ЭГр, при которой, а также при меньших плотностях тока можно прене- бречь влиянием диффузионной составляющей емкости эмиттера. тэты эксперимента. Типовая зависимость С* бар/Сэ дифв/(/э) для пла- нарных транзисторов. Величину /ЭГр можно определить по формуле, кото- рую нетрудно получить из (1.73): /»гр = 0.14т,?гвв«//м<епр. (1.74) Из ТИПОВОЙ зависимости Сэбар/Сэ диф=/ (/э) для ма- ломощных планарных кремниевых транзисторов (рис. 1.19) следует, что /9Гр примерно равнг, 0,3 А/см2. На основании вышеизложенного можно сделать вы- вод, что, во-первых, при работе маломощных планар- ных кремниевых транзисторов в микрорежиме барьер- *> Для маломощных планарных кремниевых транзисторов обыч- но 4э=(Ю.. .100) -10-в см2. 39
ная емкость эмиттерного перехода практически не зависит от тока эмиттера и, во-вторых, влиянием диф- фузионной емкости на суммарную емкость эмиттера можно пренебречь при токах эмиттера, меньших 15... 40 мкА. Емкость эмиттера можно значительно уменьшить, используя эмиттер с широкой запрещенной зоной (тран- зистор с гетеропереходом) [22]. Однако работа такого транзистора в микрорежиме вряд ли возможна из-за большого количества рекомбинационных ловушек на границе раздела гетероперехода. 1.6. Граничная частота усиления Характерной особенностью микрорежима является ухудшение частотных свойств транзистора при умень- шении рабочего тока. При работе транзистора в широком диапазоне токов его частотные свойства зависят от следующих факто- ров: 1) постоянной времени входной цепи, определяемой емкостью и сопротивлением эмиттерного перехода, а также сопротивлением генератора; 2) постоянной вре- мени пролета носителей через базу от эмиттера к кол- лектору и 3) постоянной времени выходной цепи, опре- деляемой в основном емкостью коллекторного перехода и сопротивлением в цепи коллектора Як- Время пролета носителей через базу практически не оказывает влияния на граничную частоту усиления транзистора в микрорежиме. Так, изменение ширины базы на 15% для транзисторов типа КТ312 в микроам- перном диапазоне токов коллектора приводило лишь к изменению граничной частоты на десятые доли процента. Влияние выходной цепи на граничную частоту уси- ления транзистора в микрорежиме проявляется лишь при больших сопротивлениях в цепи коллектора. Одна- ко для большинства усилительных схем выполняется условие Як^гэСэ/10Ск, которое является достаточным для практического отсутствия влияния выходной цепи на частотные параметвы транзистора в микрорежиме. Таким образом, в определении частотных свойств тран- зистора в микрорежиме времена пролета носителей через базу и перезаряда емкости коллекторного перехо- да практически не учитываются. 40
Следует отметить, что поскольку с изменением на- пряжения на коллекторном переходе изменяются лишь постоянная времени пролета носителей через базу (за счет изменения ширины базы) и постоянная времени вы- ходной цепи (за счет изменения емкости коллектора), а постоянная времени входной цепи не претерпевает значительных изменений, на основании вышеизложен- ного можно заключить, что граничная частота усиления транзистора в микрорежиме практически не зависит от величины напряжения питания. Это обстоятельство под- тверждается экспериментохм. Граничная частота усиления транзистора в микро- режиме определяется постоянной времени входной цепи. Граничную частоту усиления транзистора в микрорежи- ме для схемы с общей базой можно определить как fftsi6 = (^ + G)/2^AC„ (1.75) где 7?г — сопротивление генератора. При /?г>гэ формулу (1.75) можно переписать в виде l/2itrsCs. (1-76) Поскольку, как было показано выше, в микрорежи- ме емкость эмиттерного перехода практически не зави- сит от тока эмиттера, зависимость fhn6— ^(/g) опре- деляется в основном изменением величины входного сопротивления. Найдя значение г9, получим /лв1б=/Э/2«п>фгС>. (1.77) Отсюда следует, что с уменьшением рабочего тока граничная частота /Л11б должна уменьшаться по линейно- му закону. Для практических расчетов удобно использо- вать формулу f *116^ W'a/'ai). (1 • 78) где граничная частота 'усиления транзистора для схемы с общей базой при /Э = 7Э1. Для определения влияния температуры окружающей среды на в микрорежиме воспользуемся формулой (1.77). Поскольку значения т, и С„ слабо зависят от тем- пературы, а <рг линейно возрастает с увеличением темпе- 41
ратуры, можно заключить, что в микрорежиме убывает с увеличением температуры (/*,1б 1/О« Зная величину [Нг1б, нетрудно определить и другие граничные частоты транзистора в микрорежиме: гранич- ную частоту усиления для схемы с общим эмиттером и граничную частоту frp, при которой коэффициент пере- дачи по току для схемы ОЭ по модулю равен единице: ~ ^21Бо)’ f гр ““ 21Б0 1 ’ где Л21Б0 — коэффициент передачи транзистора для схемы ОБ на низкой частоте. Если известна frpi при токе /Э1, то граничную часто- ту frp ПРИ произвольном токе эмиттера в микрорежиме можно определить по формуле / ^21Б1аэДэ1) т* 2^21Б1 —1 (1.79) Следует заметить, что в приведенных выше форму- лах не^учтено влияние инерционности рекомбинацион- ных процессов в эмиттерном переходе биполярного тран- зистора, что, однако, вполне допустимо при определе- нии граничных частот с точностью, достаточной для инженерной практики. Ухудшение частотных свойств транзистора с паде- нием рабочего тока является серьезным препятствием для эффективного использования транзисторных струк- тур в микромощных схемах. Для улучшения частотных свойств, как это следует из формулы (1.77), необходимо уменьшать емкость эмиттерного перехода, которая, как было показано выше, в микрорежиме носит барьерный характер. Для ее уменьшения могут быть предложены два способа: 1) уменьшение площади эмиттера и 2) уве- личение ширины запирающего слоя за счет уменьшения количества примесей в области базы, прилегающей к эмиттерному переходу. Возможности уменьшить площадь эмиттера будут рассмотрены ниже. Здесь же следует отметить, что емкость эмиттера в значительной степени зависит от 42
глубины залегания эмиттерного перехода. Простой рас- чет показывает, что емкость пассивных областей эмит- тера (емкость «боковой поверхности»), которые не уча- ствуют в образовании тока коллектора, составляет 20... 80% общей емкости эмиттера (в зависимости от площади и глубины залегания эмиттерного перехода). Таким образом, уменьшая глубину залегания перехода (при заданной площади), можно снизить величину эмит- терной емкости. Однако при этом возрастает влияние поверхностных состояний базы, что может привести к резкому падению коэффициента усиления. Поэтому для уменьшения эмиттерной емкости глубину залегания перехода можно менять лишь в довольно узких пре- делах. Если уменьшать концентрацию примесей в области базы, прилегающей к эмиттеру, сохраняя при этом по- стоянными ширину базы и общее количество примесей в ней, в конечном счете получим в области базы тормо- зящее поле для носителей, инжектированных эмиттером. Однако, если это поле сделать не слишком большим, коэффициент усиления такого транзистора в микрорежи- ме практически не изменится, а емкость эмиттерного перехода может значительно уменьшиться. В этом слу- чае граничная частота возрастает. Зависимость гранич- ной частоты /Л>1б от распределения примесей в базе можно представить следующей формулой, полученной исходя из результатов работы [23]: f W 0,22/э//т.М8^1п(/*//э), (1.80) /W pdx (/^ — концентрация дырок в о базе у эмиттера). Отсюда можно сделать вывод, что транзисторы с тормозящим полем при использовании их в микро- режиме могут иметь большую граничную частоту уси- ления, чем их аналоги с ускоряющим полем. Однако при изготовлении структур с тормозящим полем задан- ной конфигурации могут встретиться значительные труд- ности. Поэтому в качестве компромиссного решения можно рекомендовать транзисторные структуры с одно- родным распределением примесей в базе, которые имеют также и другие преимущества перед транзисторными 43
структурами как с тормозящим, так и с ускоряющим полем в базе (при одинаковых режимах они потребляют меньшую мощность в открытом состоянии, имеют более стабильные остаточные параметры и т. д.). Из приведенных на рис. 1.20 зависимостей от плотности тока эмиттера видно, что при плотностях тока эмиттера, меньших /э=0,1 А/см2, граничная часто- та транзистора с однородной базой больше, чем у тран- зистора с ускоряющим полем. Рис. 1.20. Зависимости fh2^—P (/9) для биполярного транзистора с ускоряющим полехМ (/) и однородной базой (2); ^2 мкм. Рис. 1.21. Зависимость дисперсии вели- чин граничной частоты от тока эмиттера для 100 образцов ма- ломощных планарных кремние- вых транзисторов КТ312. Таким образом, для работы в микро- и наноампер- ном диапазонах тока эмиттера транзистор с однородной базой обладает лучшими частотными свойствами, чем обычные транзисторы с ускоряющим полем в базе. Для определения разброса значений величин fh ма- ломощных планарных кремниевых транзисторов в зависи- мости от тока эмиттера воспользуемся формулой (1.78). Тогда D = Dj (/Э/7Э1)’, где D, — дисперсии распределе- ния величин при токах /э и /Э1 соответственно. 44
Характерной особенностью зависимости величин гра- ничной частоты от тока эмиттера (рис. 1.21) является то, что не только абсолютный, но и относительный раз- брос величин падает с уменьшением тока. 1.7. Коэффициент шума В широкохм диапазоне рабочих частот собственные шумы биполярного транзистора обусловливаются дро- бовым эффектом и тепловыми флуктуациями в сопро- тивлениях слоев (высокочастотные шумы) и поверх- ностными состояниями вблизи областей переходов (низ- кочастотные шумы). Уровень шумов принято оценивать коэффициентом шума, т. е. отношением полной мощности шумов в на- грузке к той части полной мощности, которая обуслов- лена шумами источника сигнала. Для анализа коэффи- циента шума Fm можно воспользоваться эквивалентной схемой биполярного транзистора с генераторами шумов [24], откуда, используя методику, описанную в [19], можно получить /Э [<*, + (1 - /»21б)(^г + Гб)*] + /КБ0 + 'б + '»)* । W + М1 "Ь*Гк(₽г «Л* (181) где Гэ, Гк — коэффициенты, учитывающие шумовые свойства эмиттерного и коллекторного перехода [19] соответственно. Формула (1.81) является общей форму- лой для расчета величин Fm как для микрорежима, так и для режима номинальных токов. Поскольку для микрорежима, как было показано выше, граничная частота усиления с уменьшением ра- бочих токов резко падает, основной практический инте- рес представляет исследование шумов транзистора в килогерцевом диапазоне частот. Из формулы (1.81) следует, что с уменьшением рабочей частоты f величи- на коэффициента шума возрастает (рис. 1.22). Из рис. 1.22 видно, что интенсивное возрастание Fm начинается с f=l кГц. Если обозначить (Rr+r6)/ra=W, (1.82) 45
то формулу (1.81) можно представить в виде , /^‘,[1 + Ф’(1 - Й21Б)] + /КБОг%(Ф + 1)» ( + 2<fTRr • гМГ^ + ГНФ 4-1)4 Т" 4ОТГ/ (1.83) Из формул (1.79), (1.81) нетрудно увидеть, что Fm при определенном сопротивлении источника сигнала имеет минимальную величину, которую принято назы- вать оптимальным сопротивлением генератора 7?ropt, которое, имея малую величину при номинальных токах, OF 1 1,5 ЪкГц Рис. 1.22. Зависимость Гш от f для мало- шумящего планарного кремние- вого транзистора при /э = = 100 мкА. Рис. 1.23. Типовая зависимость = / (/э) тРанзистора значительно возрастает в микрорежиме. Если заменить в (1.82) и (1.83) /?г на 7?Горь то, зная зависимость 4r0pt=f(l3), можно определить коэффициент шума (рис. 1.23). Из рис. 1.23 видно, что при /э< 100 мкА, величина Yopt практически постоянна. Если пренебречь Гб ввиду ее малости в сравнении с 7?ropt, тогда Rr opt^F opt/ э« (1 84) 46
Подставляя (1.50) в (1.84), можно записать ^ropt (1.85) Отсюда нетрудно записать инженерную формулу для расчета оптимального сопротивления генератора при /э<100 мкА, которая для транзистора КТ312 имеет вид (1-86) Более строго величину /?ropt можно определить исхо- дя из зависимости (1.81), которую, учитывая, что для микрорежима гэ>Гб, нетрудно привести к виду е , /sHs + flMl-Wl+WKr + rs)* , 1"*" 2?ГЯГ -Г । Гэ/?*г 4- Гк(7?г 4~ г5) ,. л-. Подставив (1.50) в (1.87), возьмем первую произ- водную по Rr, после чего, приравняв полученное выра- жение нулю, решим его относительно Rr- Полагая R2r£>r2a, после преобразований будем иметь п __________________'' 9Г'___________ /j ддч Г0И //’э( 1 - Л21В> - VkbO + I^/^ЯГ ’ где Г = Г,4-ГК. При f>l кГц с учетом (1.36) выражение (1.88) при- мет вид -7==^^=- (1-89) Т 7’эО ~А21Б1)^Э1'^э) ~ f3fKEO Из формул (1.88), (1.89) следует, что величина 7?ropt возрастает с увеличением тока эмиттера и что транзи- сторы с малыми имеют относительно небольшие величины RT opt. Из формул (1.81), (1.83) и (1.87) следует, что вели- чина коэффициента шума в значительной степени зави- сит от тока эмиттера. Уменьшение Г1Ц с падением тока является основным фактором, определяющим зависимость Гш = f(/3) в мил* лизмпериом диапазоне токов. Однако при уменьшении /э 47
в микрорежиме вначительно возрастают г, и 1 — Л21Б, что приводит к уве личению Fm. Изложенное позволяет сде- лать вывод, что коэффициент шума имеет минимальную величину при определенном токе /3opt (рис. 1.24). На рис. 1.24 явно обозначен ток /ч„ .. a opt Для определения /3ept расчетным путем можно вос- пользоваться выражением (1.87), предварительно раскрыв значение rt. Взяв первую производную по /3, приравняв полученное выражение нулю и решив его относительна /3, после преобразований получим: при Rr > г, == И-й21б; (1 -90а) при RT < г. ^3e₽t 2/кео. (1.906) В формуле (1.90а) не учтена зависимость (1 — Л21Б) = = f (/_). Для учета этой зависимости подставим (1.36) в (1.87) и проведем аналогичные математические действия. Тогда (1-91) _ (1 —6 Формулы (1.88)... (1.91) позволяют расчетным путем определить оптимальный режим работы биполярного тран- вистора, если известно Rr либо /э, что часто имеет место при практическом расчете схем. Однако в бипо- лярном транзисторе существует такой режим, при кото- ром коэффициент шума имеет самую минимальную вели- чину из всевозможных сочетаний Rr и Сопротивление генератора и ток эмиттера, при которых имеет место наименьший коэффициент шума, обозначим как' и 7эоРг Для определения R^ и /®₽ppt для диапазона час- тот, где можно пренебречь влиянием поверхностных шу- мов, воспользуемся выражением (1.81), опустив послед- нее слагаемое в правой части. Взяв первую производную по R.,, приравняв полученное выражение нулю, положив 48
I3 = I3ovt и решив его, получим (с учетом реальных зна- чений параметров маломощных планарных кремниевых транзисторов в микрорежиме) opt р (1-92) Подставив (1.92) в (1.90а) и (1.91), получим ^3opt ГП»у/Г^Т^КБо/^Гб(^ ^21 в) и ropt 1 э opt ^з^КБО _ 2Гб(1 ^21Б1)^Э1 6 Эти формулы позволяют определить оптимальную схему и режим работы транзистора с точки зрения по- лучения минимального коэффициента шума. Для прак- Зависимость Fm = /(/3) для ма“ Зависимость дисперсии вели- ломощного планарного крем- чин коэффициента шума от ниевого тразистора при ₽г= т<>ка эмиттера для партии ма- =^ront f=l кГц лошумящих планарных крем- ’ ниевых транзисторов. тического большинства маломощных планарных крем- ниевых транзисторов имеют место /ЭвИ=15... 150 мкА, Rr opt=l... 30 кОм. Коэффициент шума, как и многие другие параметры транзисторов, характеризуется разбросом своих величин внутри типа и даже партии транзисторов. Величина это- 4—232 49
го разброса зависит не только от технологических осо- бенностей изготовления, но и от режима работы тран- зисторов. Дисперсия коэффициента шума уменьшается с паде- нием тока (рис. 1.25). Однако следует отметить, что при токах порядка 20...30 мкА и меньше дисперсия резко увеличивается с падением тока (точных значений D при /э <50 мкА получить не удалось в связи со зна- чительными нестабильностями). Минимальная величина дисперсии коэффициента шума имеет место при токах, близких к /3opt. Таким образом, режим работы, при котором имеет место минимальный коэффициент шума, характеризует- ся также и минимальным разбросом его величин, т. е. такой режим является оптимальным для работы мало- шумящих транзисторных усилителей. 1.8. Особенности микромощных транзисторов В маломощных кремниевых планарных транзисто- рах главной причиной уменьшения коэффициента усиле- ния при малых плотностях тока является рекомбина- ционный ток эмиттерного перехода. Увеличения отно- шения сквозной и рекомбинационной составляющих эмиттерного перехода можно достичь увеличением плот- ности тока эмиттера. Чтобы ток эмиттера был мал (транзистор работает в микрорежиме), а плотность тока велика, необходимо уменьшать площадь эмиттера. Это приводит не только к повышению коэффициента пере- дачи, но и к увеличению граничных частот (из-за умень- шения Сэ) транзистора для микрорежима. Таким обра- зом, при создании микромощных транзисторов необхо- димо изготовлять эмиттер минимально возможной пло- щади. Одной из основных технологических операций, при- меняемых при изготовлении полупроводниковых прибо- ров, является фотолитография. В настоящее время для экспозиции используют источники видимого света или ультрафиолетового диапазона, которые принципиально позволяют получить рисунки с минимальными размера- ми примерно 1 мкм. Дифракция света ограничивает по- лучение четких изображений меньше 1 мкм. Поэтому для уменьшения размеров рисунков целесообразно ис- 50
пользовать источники с более короткой длиной волны. Одним из таких источников является пучок электро- нов, длина волны которого % определяется по формуле \=hlmTv, где v — скорость электрона. Экспонирование фоторезистов электронными пучками возможно двумя различными методами: 1) использова- нием остросфокусированного электронного зонда малых размеров, сканирующего по заданной программе, и 2) одновременным проецированием уменьшенного изо- бражения шаблона на поверхность образца путем облу- чения широким пучком электронов. При экспонировании электронным зондом малого диаметра можно добиться получения ширины линии вплоть до 0,25 мкм при не- точности края менее 0,1 мкм [25]. Существенным недостатком метода сканирования является падение плотности тока в луче при малых диаметрах электронного зонда, что приводит к значи- тельному времени экспозиции. Из-за большого времени экспозиции структуры ее приходится обходить лучом не- сколько раз, что снижает точность нужной конфигура- ции и уменьшает резкость края. Применение теневого метода позволяет изготовить одновременно несколько рисунков. При этом удается получить линии шириной примерно 0,2 мкм. Обеспечение минимальных размеров структуры во многом определяется процессом травления после фото- литографии. При этом для устойчивого серийного вы- хода транзисторов обычно приходится несколько увели- чивать размеры переходов по сравнению с принципиаль- но возможными. Для получения переходов малых размеров с приме- нением электронной фотолитографии вместо процессов диффузии может быть использовано ионное легирование. С помощью элионной технологии можно обеспечить весьма малые размеры переходов (разрешение при- мерно 0,01 мкм) [26]; при этом может быть достиг- нута плотность упаковки компонентов на пластине 109 комп./см3. Уменьшение площади эмиттера является лишь одним из путей улучшения свойств микромощных транзисто- ров. Поскольку в рекомбинационном токе эмиттерного перехода поверхностная составляющая является основ- 4* 51
ной, то при создании микромощных транзисторов мож- но использовать методы, направленные на ее умень- шение. Одним из таких методов может явиться отжиг кри- сталлов в различных газовых средах. Отжигом можно изменять поверхностное состояние кристалла, которое •оказывает непосредственное влияние на величину тока рекомбинации. При отжиге приборов в атмосфере водо- рода наблюдается уменьшение, а в атмосфере кисло- рода— увеличение рекомбинационного тока. Изменением поверхностных состояний кремниевых планарных транзи- сторов удалось получить транзисторы, имеющие доста- точно большой коэффициент передачи при токе коллек- тора порядка 10 мкА [6]. Другим путем уменьшения поверхностной составляю- щей рекомбинационного тока эмиттера является суже- ние р—n-перехода на его границе с поверхностью. Это- го можно достичь дополнительным легированием по- верхности базы непосредственно около эмиттерного пе- рехода. Сравнение транзисторов с разной степенью легиро- вания поверхности базы показало, что рекомбинацион- ный ток транзисторов с более высоколегированной по- верхностью базы значительно меньше, чем для транзи- сторов с менее легированной поверхностью. Кроме того, дополнительное легирование поверхности базы несколь- ко уменьшает разброс электрических параметров тран- зистора, связанных с состоянием поверхности базы, и улучшает шумовые свойства. Это свидетельствует о пер- спективности использования данного метода для улуч- шения эксплуатационных параметров микромощных транзисторов. К недостаткам метода следует отнести существенное усложнение технологии производства транзисторов из-за необходимости особо точного соблю- дения режимов диффузии и введения дополнительных операций, связанных с подлегированием базы. Пассивация транзисторов фосфорносиликатным стек- лом приводит к уменьшению рекомбинационной и ка- нальной составляющих. Еще большее снижение этих компонентов достигается при пассивации фосфорносили- катным стеклом с последующим отжигом во влажном кислороде [8]. В этом случае устойчивое значение &21Э= 800 ... 1200 при 1Э = 10 мкА. 52
Для ослабления вредного влияния поверхности на параметры микромощных транзисторов можно также использовать метод неравномерного электрического сме- щения эмиттерного р—л-перехода [27]. Этого можно достичь, если использовать такую конфигурацию эмит- тера, при которой ток, растекаясь по радиусу внутри эмиттера от центра, создаст электрический потенциал, в результате которого периферийные области (края) эмиттерного перехода окажутся под меньшим напряже- . нием, чем центральная часть. Такой эффект может быть получен в тонких эмиттерах (0,1...0,5 мкм), площадь которых во много раз (^100) превосходит площадь омического контакта эмиттерного вывода. Получение таких эмиттеров легко осуществляется методами элион- ной технологии, однако получение омических контактов малой площади в настоящее время является технически трудно осуществимой задачей. Если эмиттер микромощного транзистора сформиро- вать путем глубокой диффузии в базовую область, то транзистор будет иметь чрезвычайно высокий коэффици- ент передачи тока (А21Э 5000), даже если токи коллек- тора не превышают 1 мкА [28]. Это усиление на не- сколько порядков превышает усиление обычных тран- зисторов в микрорежиме. Такие транзисторы работают вблизи от режима прокола базы. В связи с этим на микротоках они имеют очень малый спад коэффициента передачи тока. Вероятно, это происходит потому, что имеется большая разница между отпирающим напряже- нием по переходу эмиттер — база в центре (вблизи от перехода коллектор — база) и возле поверхности. Боль- шое различие этих напряжений приводит к уменьшению рабочего тока, при котором происходит спад коэффи- циента передачи. В заключение заметим, что повышения коэффициен- та передачи тока и улучшения частотных свойств микро- мощного биполярного транзистора можно достичь ис- пользуя режим лавинного умножения носителей в кол- лекторном переходе [29]. Помимо биполярных транзисторов, широкое приме- нение в микромощных устройствах находят полевые транзисторы. 53
Глава 2 ПОЛЕВЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ Полевыми (униполярными) транзисторами назын ся полупроводниковые приборы, управляемые не т< как обычные (биполярные) транзисторы, а напр нием. Наиболее характерной чертой полевых транз ров является высокое входное сопротивление. В ос своей работы полевые транзисторы используют под ные носители зарядов лишь одного знака (либо то электроны, либо только дырки) в отличие от бипс ных транзисторов, работа которых осуществляете счет обоих типов подвижных носителей заряда ( тронов и дырок). Использование полевых транзист вместо биполярных в ряде электронных устройств зволило существенно упростить схемы, повысить и? дежность, улучшить эксплуатационные свойства. Е шие перспективы имеет использование полевых 1 зисторов в микромощной электронике. В настоящее время наибольшее распространение лучили два типа полевых транзисторов: транзг с р—п-переходом и транзистор со структурой мета, окисел — полупроводник (МОП). 2.1. Полевые транзисторы с р—п-переходом В полевых транзисторах, в которых модуляция ш ны канала осуществляется пространственным зар; р—n-переходов, величина входного сопротивления с деляется обратными токами переходов. При испод вании для полевых транзисторов на основе кремния парной технологии величина входного сопротивл обычно лежит в пределах 109... 1012 Ом. Для снижения потребляемых и рассеиваемых j ностей в полевом транзисторе прежде всего еле уменьшать величину тока стока /с. При работе в о сти насыщения (пологая часть характеристик) для лых токов стока (десятки и сотни микроампер) вс амперная характеристика может быть рассчитана формулам, справедливым для номинальных режи Так, ток стока полевого транзистора с однородным пределением примесей в канале можно определить 54
дующим образом: ' = —L_ U — U { 1 — С Яко I 3 и° изР (2-1) где Uo — напряжение отсечки (пороговое напряжение); U3 — напряжение затвор — исток; 7?ко = ?gfab — минималь- ное сопротивление канала; a, b, g—геометрические размеры .канала (рис. 2.1); р — удельное сопротивление канала. ' Рис. 2.1. Упрощенная структура полевого транзистора с р—л-переходом. Достаточно хорошей аппроксимацией зависимости /с= = f (U3) для пологой части характеристик полевого тран- зистора с произвольным распределением примеси в кана- ле является [30] 'с = 'си„(1-Уэ^.)’. (2-2) где /Сти— максимальный ток стока, имеющий место при U3 = 0. В зависимости от метода изготовления по- левого транзистора (т. е. от характера распределения легирующей примеси в канале) показатель степени п принимает значения 1,98...2,2. Для полевого транзи- стора, изготовленного методом двойной диффузии, вы- ражение (2.2) можно переписать как (2-3) 55
На основании выражений (2.1) и (2.3) нетрудно опре- делить крутизну проходной характеристики транзистора S=d/c/dt/3: S = 5^(1 (2.4) для однородного распределения примеси в канале и (2-5) для транзистора, полученного методом двойной диффу- зии, где Smax=l /Rkq- Для полевого транзистора, полу- ченного методом двойной диффузии, S max МОЖНО ТЯКЖе представить в виде Smax—2/с max / £/ о» (2.6) Изложенное выше позволяет заметить, что с возрас- танием U3 канал сужается и крутизна уменьшается, одна- ко, поскольку сужение канала влечет за собой падение тока стока, можно заключить, что с уменьшением /а имеет место падение S. Для полевого транзистора с однородным каналом при работе в области пологой части характеристик (ре- жим насыщения) зависимость крутизны от тока стока можно представить как а для полевого транзистора, полученного методОхМ двой- ной диффузии, как (2.в> В общем случае можно записать 8=8,(1с11аГ\ (2-9> где Si — крутизна полевого транзистора при 1с=1а- Коэффициент /Hi для полевого транзистора, полу- ченного методом двойной диффузии, равен 0,5, а для транзистора с однородным каналом примерно 1. При уменьшении рабочего тока (уменьшении рабочей шири- ны канала) распределение примеси в канале оказывает 56
уже незначительное влияние на параметры полевого транзистора, поэтому в микрорежиме с уменьшением тока для всех типов полевых транзисторов с р—/г-переходом. Приведенные формулы позволяют довольно просто определить крутизну полевого транзистора при задан- ном токе стока. Для получения максимальной крутизны в полевом транзисторе при заданном токе стока необ- ходимо выбирать транзистор, имеющий определенную ширину канала. Определим эту оптимальную ширину канала aOpt, при которой для заданного /с имеет место максимально возможная S. Величину напряжения отсечки Uo запишем как [19] С/0=а2/8ео8рр., ' (2.10) где ео, 8 — диэлектрическая проницаемость вакуума и относительная диэлектрическая проницаемость кремния соответственно; р— подвижность носителей заряда в канале. Обозначим 8ео8рц=Ф. Перепишем (2.10) как [/0=а2/ф. (2.11) Величину /?ко запишем как Як0=1/аЯ, (2.12) где H=b/pg. Подставив (2.11) и (2.12) в (2.4), получим 8 = аН-НУФ1^. (2.13) Поскольку в рассматриваемом режиме U3 много меньше Uo, формулу (2.1) перепишем как (2.14) Решив (2.14) 'относительно U3 и подставив в получен- ное выражение (2.11) и (2.12), получим С/3==а*/ЗФ —/с/аЯ. Подставим эту формулу в (2.13), тогда S=аН - Н /ф /а’/ЗФ - IJaH. (2.15) 57
Возьмем производную S по а, приравняем получен- ное выражение нулю и после преобразований получим fl. _ 6а’/с(Ф/Я) - 7,/*с(Ф7/Л)=0. (2.16) В решении уравнения (2.16) опустим результат с отрицательным знаком, поскольку это противоречит физической картине процесса; тогда после преобразова- ний, раскрыв значения Ф и Н, получим з == 3’7 (2.17) Из формулы (2.17) видно, что при уменьшении /с величина aOpt также уменьшается. Таким образом, при использовании полевого транзистора в микрорежиме нужно уменьшать ширину канала. Напряжение отсечки для микромощных полевых транзисторов также имеет небольшие величины; в этом можно убедиться, подста- вив (2,17) в (2.10): з ____________ <2Л8) Таким образом, можно заключить, что крутизна по- левого транзистора для малых токов стока- максималь- на при оптимальных значениях ширины канала и на- пряжения отсечки для каждого заданного тока стока. Величина напряжения отсечки значительно влияет на стабильность тока стока при изменении температуры окружающей среды. При увеличении температуры, с одной стороны, уменьшается контактная разность потенциалов qpo, что ведет к расширению канала и возрастанию 7с, и, с дру- гой стороны, уменьшается подвижность носителей в ка- нале, что ведет к падению 7с. Таким образом, эти два температурнозависимых параметра действуют встречно, частично компенсируя изменения 7с. При U3=0 фор- мулу (2.14) можно представить как 7с^(£Др—<ро)/3/?ко, (2.19) где С7ор—фо=Е70. Зависимость /?ко от температуры для кремниевого полевого транзистора с n-каналом нетрудно представить в виде /?к0=7?°ко(7’/70)3/2, (2.20) где 7?°ко — сопротивление канала при Т=7о. 58
Подставив (2.20) в (2.19), возьмем первую произ водную /с ло температуре. С учетом [31] </T./dT==-(3^)ln7’* (2.21) где Т*=Т[ 1 /К], приравняем полученное выражение ну- лю, а затем решим его относительно напряжения отсеч- ки. После преобразований получим выражение для f/oopt — напряжения отсечки, при котором отсутствует зависимость /с от температуры: Uo optSs2<pr In Т*. (2.22) Для большинства кремниевых полевых транзисто- ров, полученных методом двойной диффузии, лучшей стабильностью тока стока в диапазоне температур -SO -20 +20 +60 +100 t°c а> -60 -20 +Z0 +60 +100 t,°C Рис. 2.2. Экспериментальные зависимости /сш«х=7(0 для маломощных поле- вых транзисторов с р—«-переходом с каналом n-типа (а) и каналом p-типа (б). + 100...—60°С обладают приборы с Uoopt^0,8 В для /i-канала и t/oopt^O.G В для p-канала. Приведенные величины напряжений отсечки показывают, что такие транзисторы имеют максимальные токи стока, лежащие в микроамперном диапазоне (рис. 2.2). Для транзисторов, имеющих Uo больше значений Uoopt, можно добиться стабильности тока стока в диа- пазоне температур, подавая на затвор смещающее на- пряжение. При смещении на затворе, стабилизирующем /с, для транзисторов с большими Uo ток стока оказыва- ется меньшим, чем для транзисторов с малым Uo (рис. 2.3). 59
Изложенное выше позволяет заключить, что при пе- реходе в режим малых токов уменьшается влияние тем- пературы на величину тока стока. При работе на токах> меньших стабильной величины /с, добиться уменьшения влияния температуры на ток стока можно, исполь- зуя последовательное соединение транзисторов (см. МОП-транзисторы). 1с,мкА 400~ " 63-Off —I-----1----1----1____I__> -60 -го 40 +60 +100 t°G О) /с,мкА О) Рис. 2.3. Экспериментальные зависимости 7с=/(0 для маломощных полевых транзисторов с р—п-переходом и каналом p-типа для [/о=0,7 В (а\ и i/o=2,6 В (б). При уменьшении тока стока в полевом транзисторе для заданного напряжения питания расширяется об- ласть, в которой транзистор может работать в режиме усиления, т. е. уменьшается напряжение насыще- ния Uс нас: ^Свас = Ув-У3- (2-23) Из формулы (2.23) видно, что при уменьшении Uo в увеличении U3 напряжение (/Снас уменьшается. При U3 = =0 напряжение насыщения однозначно определяется Uo. Для усилительных схем на полевых транзисторах уменьшение Uo приводит к возрастанию коэффициента усиления по напряжению Ки', коэффициент усиления обратно пропорционален напряжению отсечки [32]. Это преимущество полевых транзисторов с малым Uo про- является и для ключевых схем. Для работы на границе крутой и пологой частей вольт-амперных характеристик Ки можно определить как Ku=(Ea-U0)lU0, (2.24) где £п — напряжение питания. 60
зависимостью Рис. 2.4. Расчетная] зависимость = — f (^о) ПРИ t/3 = 0 и 5п=10 В, Из формулы (2.24) следует, что с уменьшением на- пряжения отсечки Ки возрастает (рис. 2.4). Изложен- ное позволяет также сделать вывод, что для полевого транзистора коэффициент усиления по напряжению воз- растает при уменьшении тока стока. Это явление, прежде всего, определяете! циального сопротивления стока гс от 1с- Для практиче- ских расчетов гс в области пологой части характеристик (режим насыщения) можно пользоваться следующей формулой: rc=rcl(ZC1/7c), (2.25) где гС1—дифференциальное сопротивление стока при /с=/сь Из (2.25) следует, что с падением тока стока гс возрастает. Сравнивая фор- мулы (2.8) и (2.25), нетруд- но заметить, что с падением тока стока S уменьшается несколько медленнее, чем возрастает гс. т. е. произве- дение rcS, которое во многом определяет Ки, с уменьше- нием /с возрастает. Для ключевых схем уменьшение 17с нас приводит так- же к снижению рассеиваемой транзистором мощности в открытом состоянии. Таким образом, мощность умень- шается как за счет уменьшения тока, так и за счет уменьшения остаточного напряжения. Следует заметить, что снижение t/снас позволяет, сохраняя необходимый Ки, уменьшить напряжение источников питания, что является также весьма положительным фактором. Поскольку с падением тока стока уменьшается ши- рина канала, то частотные свойства полевого транзисто- ра ухудшаются. Одним из путей улучшения частотных свойств полевого транзистора при 'работе в номиналь- ных режимах может явиться включение полевого тран- зистора по схеме алкатрона [19]. При этом, увеличивая емкость вспомогательного затвора (престриктора), мож- но значительно улучшить частотные свойства. Однако 6)
при работе на токах стока, меньших 50 мкА, применен ние этого метода не дает существенных результатов, поскольку основное влияние на частотно-временные па- раметры начинает оказывать цепь, состоящая из пара- зитной емкости и сопротивления нагрузки, которое' в микрорежиме имеет весьма большую величину. Однако использование полевого транзистора с р—п- переходом по схеме алкатрона может привести к неко- торому увеличению крутизны при малых токах в ре- зультате предварительного сужения канала. Выражение для ширины канала может быть представлено в следую- щем виде: W=a—13—/п, (2.26) где /3, /п — ширина перехода рабочего затвора и пре- стриктора соответственно. Ширину переходов представим как l3=DVir3 и lu = DVU;, (2.27) где D = ]/'2a^. Подставив выражения (2.27) в (2.26), определим на- пряжение отсечки рабочего затвора Uoi из условия Г=0: Um = (a-DVU^/D\ (2.28) Используя (2.26) и (2.27), запишем для W следую- щее выражение: (2.29) На основании (2.29) для сопротивления канала меж- ду истоком и стоком получим О _О Л + откуда для элементарного участка канала будем иметь ( Г, _ У+ № + Ux-VUn)' (2.31) 62
Поскольку ток в любом сечении канала одинаков, запишем для приращения напряжения для элементар- ного участка dUx=J-^ х g Vu3+ux + tfua + ux-Vun)V' КУо. + (^п + ^-^п) J (2.32) Рис. 2.5. Экспериментальные зависимо- сти S=f(/c) при разных Un для полевого транзистора, включенного по схеме алка- трона (-----) и обычной схе- ме (-------). В выражениях (2.31) и (2.32) ширина канала с уче- том ширины перехода престриктора, задаваемой [/п, учтена в /?ко. При больших £/п приращение напряжения смещения на переходе пре- стриктора за счет протека- ния 7с сказывается значи- тельно меньше аналогичного приращения на рабочем за- творе. Если пренебречь рас- ширением слоя пространст- венного заряда престриктора за счет протекания 7с, выра- жение (2.32) значительно упрощается. Его решение по- зволяет определить крутиз- ну по формуле, аналогичной (2.4). При этом разница между ними определяется лишь величинами 7?ко и Uo. Таким образом, изменяя напряжение на престрикто- ре, можно получить нужную величину ширины канала и напряжения отсечки, кото- рые, как было указано вы- ше, определяются из (2.17) и (2.18). Из рис. 2.5 следует, что при увеличении Un крутизна в области малых токов возрастает. Для практических расчетов величины S в микроамперном диапазоне токов можно пользоваться следующей эмпирической форму- лой: S = (2.33) где Si —крутизна при Un=UQ\ Q — постоянный коэффи- циент. 63
Величину коэффициента Q для конкретного образца полевого транзистора нетрудно определить путем двух измерений S при разных С/п. Напряжение отсечки поле- вого транзистора, включенного по схеме алкатрона С/Оь можно найти, преобразовав выражение (2.28): Uol = 4t/0 (1 - (2.34) Из формулы (2.34) следует, что с возрастанием Un напряжение отсечки уменьшается. Снижение величины напряжения отсечки позволяет уменьшить величину за- пирающего смещения в ключевых схемах на полевых транзисторах. Кроме того, как было показано выше, уменьшение напряжения отсечки можно использовать для увеличения коэффициента усиления по напряжению. Таким образом, использование включения полевого транзистора с р—n-переходом по схеме алкатрона по- зволяет улучшить некоторые его эксплуатационные па- раметры при работе в области малых токов. При работе полевых транзисторов в номинальных режимах и даже на малых токах порядка десятков и со- тен микроампер в качестве напряжения отсечки выби- рают такое напряжение на затворе U3V при котором канал перекрывается запирающими слоями р—и-пере- ходов затвора. В этом случае в цепи стока обычно про- текает ток /с1=1 •. • Ю мкА."Поэтому при работе поле- вого транзистора при рассмотренные выше соот- ношения оказываются неприменимыми. Чтобы определить вольт-амперную характеристику полевого транзистора с р—n-переходом при токах стока /с^/сь рассмотрим влияние граничных областей про- странственного заряда р—n-перехода затвора на сопро- тивление канала, поскольку в глубоком микрорежиме толщина этих граничных областей становится больше ширины канала. В режимах, когда канал не перекрыт, концентрацию основных носителей в нем будем считать постоянной пп (здесь и далее рассматривается полевой транзистор с каналом n-типа проводимости). Когда происходит смыкание р—n-переходов затвора, концентрация элек- тронов в месте смыкания еще равна пп. Однако при дальнейшем увеличении напряжения на затворе (здесь и ниже все напряжения и потенциалы берутся по абсо- лютной величине) концентрация электронов в рассмат- 64
риваемом сечении (в месте смыкания переходов) будет уменьшаться: ъ-(и0-и3) (2.35) п = пп ехр Чт где Uо — напряжение отсечки, равное напряжению на за- творе, при котором п=пр (пр— концентрация электро- нов в затворе). Последнее равенство выполняется, ког- да числитель в показателе степени экспоненты (2.35) становится равным ср0. Таким образом, (2.35) можно переписать в виде n = npexp[(U0-UJ/<fT]. (2.36) В рассматриваемых здесь условиях UQ — U3 может изме- няться в пределах от <р0 до 0. На основании (2.36) сопротивление канала полевого транзистора с р—^-переходом для микрорежима можно представить в виде йк = «к„1ехр[(С/3-С/о)/Тг]. (2.37) где /?ктах — максимальное сопротивление канала, имею- щее место при полной отсечке (1/3=С/0). Из формулы (2.37) можно найти сопротивление эле- ментарного участка канала: dRK = (ехр из + их~и° £ \ . Чт Поскольку ток в любом сечении канала одинаков и равен току стока, то для приращения напряжения на элементарнохМ участке можно записать dUx=IcdRK. Под- ставив (2.38) в это равенство и проведя преобразования, получим dx. (2.38) Icdx = £dUx ехр max Решим это уравнение: g Uc Ic f fex J xk max J \ 0 l/0—1/3 —(Л Чт и° и? Ux\dUx. Чт о Получим С С о г у-. ^о-^З Г, / UC 1 - exp - — \ Чт (2.39) 5—232 65
рде /с о — ток стока в режиме отсечки; Uc — напряжение на стоке. Формула (2.39) описывает вольт-амперную характе- ристику полевого транзистора с р—n-переходом для /с</сь Ток насыщения в этом режиме можно предста- вить из (2.39) при <7с^>Фт как zc = zc о ехР - ^з)/^]- (2.40) При работе полевого транзистора в режимах, когда еще не произошло смыкания переходов, но канал доста- точно узкий, эту формулу можно использовать введя поправочный коэффициент тп при <рг: (2.41) Хорошее совпадение расчетных и экспериментальных данных наблюдалось при тп=1,9... 2,5 для токов /с^50 мкА. Формула (2.41) дает возможность предста- вить крутизну полевого транзистора в микрорежиме как S=Iclm^T, (2.42) откуда следует, что в микрорежиме при увеличении то- ка стока крутизна возрастает по закону, близкому к линейному. Это обстоятельство подтверждает устрем- ление т\ к 1 в формуле (2.9) при уменьшении токов. Следует также заметить, что иногда вольт-амперную характеристику полевого транзистора (пологая часть характеристики — режим насыщения) в микрорежиме удобно представить в виде /c = /CIexp[(t/3-t/31)/2?r]. (2.43) В качестве U3[ удобно выбирать напряжение отсечки для номинального режима, а в качестве /С1 — ток, кото- рый протекает в этом случае (значения этих парамет- ров приводятся в ТУ и справочниках на полевые тран- зисторы). Одним из основных преимуществ полевых транзи- сторов с р—n-переходом является малый (в сравнении с биполярными транзисторами) уровень шумов. По- скольку, как было показано выше, полевой транзистор в микрорежиме является низкочастотным прибором, основной интерес представляют в данном случае низко- частотные шумы. На низких частотах преобладающим 66
является генерационно-рекомбинационный шум в обла- сти пространственного заряда перехода затвора, а так- же на «ловушечных» уровнях в окисле над этой об- ластью. По этой причине для снижения уровня шумов необходимо свести к минимуму число нарушений кри- сталлической решетки полупроводникового материала, обеспечить чистоту и пассивацию окисных слоев, а так- же уменьшить объем пространственного заряда р—п-пг- рехода затвора. Поскольку для конкретного образца транзистора уменьшение тока стока достигается за счет расширения р—n-перехода затвора (уменьшения ширины канала), то следует ожидать возрастания шумов в полевых тран- зисторах при уменьшении рабочих токов. Отсюда можно заключить, что для снижения шумов при работе в обла- сти малых токов необходимо использовать полевые транзисторы с малым напряжением отсечки и резкими р—n-переходами -с малой шириной области простран- ственного заряда. При воздействии радиации на полевой транзистор с р—п-переходом ухудшение его эксплуатационных свойств происходит в основном из-за смещения атомов и образования в решетке полупроводника относительно постоянных вакансий или атомов между узлами и из-за смещения электронов, приводящего к ионизации. Иони- зация носит нестационарный характер и ограничена вре- менем рекомбинации носителей. Смещенные атомы дей- ствуют как центры рассеяния, уменьшая подвижность носителей. Уменьшение подвижности основных носите- лей заряда приводит к увеличению сопротивления кана- ла, уменьшению тока стока и крутизны. Относительное изменение крутизны полевых транзи- сторов, вызванное радиацией, зависит от концентрации примеси в канале, увеличение которой приводит к повы- шению радиационной стойкости. Если после прекращения облучения полевые тран- зисторы подвергнуть отжигу при температуре примерно 250°С, то это почти полностью восстанавливает исход- ные параметры [31]. 2.2. МОП-транзисторы Полевые транзисторы со структурой металл — оки- сел— полупроводник (МОП) являются наиболее пер- спективными активными элементами интегральных схем. 5* 67
Они обладают большими входными сопротивлениями (1012... 1015 Ом), высокой технологичностью выполне- ния. В интегральных схемах МОП-структуры позволяют создавать схемы без наличия традиционных элементов (резисторов, конденсаторов, диодов), схемы с непосред- ственными связями и т. д. По технологическим причинам в настоящее время наибольшее распространение получили МОП-транзисто- ры с индуцированным каналом p-типа проводимости (рис. 2.6,а) и со встроенным каналом n-типа проводи- Рис. 2.6. Упрощенная структура МОП-транзистора с индуцированным кана- лом р-тмпа (а) и со встроенным каналом n-типа (б). мости (рис. 2.6,6). Вольт-амперные характеристики всех типов МОП-транзисторов описываются одними и теми же выражениями, отличаясь только знаком напряжений U3 (затвор — исток) и Uc (сток — исток). Поэтому при дальнейшем рассмотрении ограничимся структурами с индуцированным каналом p-типа, причем во избежа- ние путаницы со знаками через U3, Uc, Uo будем обо- значать абсолютные величины соответствующих напря- жений. Рассматривая канал n-типа проводимости, будем оговаривать его особенности. Для анализа работы МОП-транзистора в области малых токов стока используем обобщенное выражение 1с МОП-транзисторов [33]. Если пренебречь несущест- венными для кремния центрами прилипания в объеме полупроводника и электронами в канале p-типа, то 68
можно записать Ф90/Ч>Т Фу£/<Т (2’44) Чт ’ где /. = lF/D^„P.(?r/g); = фхСе) + — электростатический потенциал в канале; ф^)— по- перечная составляющая потенциала, обусловленная эф- фектом поля при наличии тока вдоль поверхности полу- проводника; фХ(х) — продольная составляющая потенциа- ла, обусловленная падением напряжения вдоль канала за счет тока стока; ф^х), фуг—фт ln(A^/fti)—значения Фу на границах канала у=0 (поверхность полупровод- ника) и y=yi{x} (р—n-переход, отделяющий индуциро- ванный затвором канал p-типа от толщи полупроводни- ка n-типа); ZD— дебаевская длина; g — расстояние исток — сток; W — ширина канала. Зависимость фуо(фх), необходимая для решения (2.44), определяется из условия непрерывности вектора диэлектрического смещения на границе окисел — полу- проводник [33]. С учетом порогового напряжения Uo (обусловленного отсутствием тока стока до значений U3, при которых возникающий канал закорачивает р—n-переходы истока и стока) это условие принимает вид , *iH /"(щ V fy.ity. из~ и°~ ** . _ K+TiT|/ fe) «Pyr'+v7- s .(2.45) где Н — толщина окисной пленки над затвором; еь ег — диэлектрическая проницаемость кремния и окисла. Из выражения (2.45) следует, что величина приповерх- ностного изгиба энергетических зон в полупроводнике монотонно растет с увеличением U3 — Uo, что приво- дит к монотонному росту приповерхностной концентрации дырок [/?„ ехр(ф^/<рг)]. При достаточно больших U3 — Uo в левой части (2.45) и в подкоренном выражении (2.44) можно отбросить все члены, кроме экспоненциальных. Интегрируя (2.44)’при этих условиях для UC = U3 — Uo 69
(режим насыщения), полагая весьма малой величиной, получаем Ic = k(U3-Uo)\ (2.46) где k=WlD \kpj2gH — коэффициент, зависящий от тех- нологии изготовления и конструкции транзистора, имею- щий размерность А/В2. Формула (2.46) описывает зависимость /c = f({73) для пологой части характеристик МОП-транзистора. Расчет этой зависимости по формуле (2.46) дает хорошее сов- падение с экспериментом при 7с>80 мкА и удовлетвори- тельное (для инженерной практики) в диапазоне /с= =5...80 мкА. При /с<5 мкА расчетная зависимость резко расходится с экспериментом с уменьшением тока (экспериментальные кривые спадают значительно быст- рее теоретических). Управлением током стока за счет изменения U3 прак- тически возможно лишь при условии, что зависящая от величины U3 концентрация основных носителей (дырок) вблизи поверхности кремния не меньше собственной кон- центрации Пг=2>1010 см-3. В противном случае ток стока ограничен величиной обратного тока р—n-перехода, сме- щенного в обратном направлении напряжением между стоком и толщей подложки. Отсюда следует, что мини- мальная величина управляемого тока стока может быть представлена в виде 1Ст^ h^.Wdq^n^UJg), (2.47) где d — толщина приповерхностного слоя с собственной проводимостью. Для оценки /с min примем: Цг=10 см2/В-с, d= =10~4 -см, С/с=5 В, g=10-3 см, ^=2,5-10-2 см, Н= =10~5 см, е2=3-10-13 Ф/см. Тогда из выражения (2.47) получаем, что диапазон токов, управляемых напряже- нием t/3, ограничен снизу минимальным значением по- рядка /^0,5 нА. Изложенное выше позволяет заключить, что в доста- точно большом диапазоне рабочих токов стока (^0,5 мА... 5 мкА) использование формулы (2.46) для расчета вольт-амперных характеристик может дать не- допустимо большую ошибку даже для инженерной прак- тики. 'Поэтому для микрорежима в * МОП-транзисторе 70
следует найти другое выражение, достаточно хорошо согласующееся с практикой. Для определения вольт-амперной характеристики МОП- транзистора в глубоком микрорежиме (/с •< 5 мкА) вос- пользуемся (2.44) и (2.45). Малым токам соответствуют малые значения U3 — Uo и ф^0. Поскольку то при значениях U3, близких к Uo, можно пренебречь экс- поненциальными членами по сравнению с линейными. Для рассматриваемых транзисторов ei///e2'ZD^l, поэто- му можно записать (2.45) как (2.48) При (/3, близких к UQ, диапазон изменений фу(<фу5< <фу, невелик, поэтому при интегрировании (2.44) подко- ренное выражение с отброшенным экспоненциальным сла- гаемым в первом приближении можно аппроксимировать константой (ф^ = const). Тогда из (2.44) и (2.48) при малых U3 — Uo можно получить [34] /с = /соехР "з-Уо Чт 1 — ехр где /co=const. Чт J (2.49) Формула (2.49) почти полностью повторяет (2.39) (для полного совпадения следует поменять местами U3 и UJ. Таким образом, она описывает вольт-амперную харак- теристику любого полевого транзистора в микрорежиме. Следует заметить, что физический смысл различия вы- ражений (2.46) и (2.49) состоит в том, что при /с^> 3>5 мкА пространственный заряд в канале обусловлен главным образом дырками (математически это означает преобладание экспоненциальных слагаемых над линей- ными), а при-/<^5 мкА — положительными ионами до- норов [математически — преобладание линейных слагае- мых в (2.44) и (2.45)]. Для пологой части характеристик МОП-транзистора (режим насыщения) обычно выполняется t/с^фт, по- этому аналогично полевому транзистору с р—«-перехо- дом можно получить (2.40). При использовании (2.40) для расчетов вольт-амперной характеристики МОП-тран- зисторов в микрорежиме, как показывает эксперимент, 71
следует дополнить эту формулу безразмерным коэффи- циентом тм при (рт. Тогда формулу (2.40) для МОП-транзистора перепишем как 7с = 7со ехР К^з - и0)/ти(?т\- (2.50) •Выражение (2.50) дает хорошее совпадение с экспе- риментом при гим=2,5... 4 в зависимости от конкрет- ного образца прибора, причем при увеличении /с коэф- фициент тм возрастает (рис. 2.7). Это обусловлено тем, ______L_____I_____I_____L_ 10~1 10° /с, мкА Рис. 2.7. Типовая зависимость тм = =f(/c) для маломощных МОП- транзисторов с индуцирован- ным каналом р-типа. Рис. 2.8. Экспериментальная зависимость D=f(7c) для 200 образцов ма- ломощных МОП-транзисторов с индуцированным каналом р-типа. что с увеличением тока стока пространственный заряд в канале определяется уже соизмеримыми значениями зарядов дырок и положительных ионов (экспоненциаль- ные и линейные слагаемые в (2.44) и (2.45) становятся соизмеримы). Из рис. 2.7 следует, что величина /пм практически постоянна до /с^0,1 мкА, а при /с>1 мкА довольно резко возрастает. Изложенное выше позволяет приступить к рассмот- рению одного из наиболее важных параметров МОП-транзисторов — крутизны. Формула (2.50) дает возможность представить крутизну МОП-транзистора для наноамперного диапазона токов стока в следующем виде: 5=/с/ (2.51) Отсюда следует, что в глубоком микрорежиме при уменьшении тока стока крутизна уменьшается по ли- нейному закону. Если сравнить формулу (2.51) с (2.42) и (1.52), то можно заключить, что крутизна не только .МОП-транзистора и полевого транзистора с р—и-пере- 72
ходом, но и биполярного транзистора в глубоком микро- режиме определяется почти одним и тем же выраже- нием и имеет близкие значения величин. Если известны крутизна Si и коэффициент mMi при токе стока Ici, то зависимость S=/(/c) можно предста- вить в виде S=Si Полагая mM—mM1, пе- репишем это выражение как S=Si(/c//С1). (2.52) Формула дает хорошее совпадение расчета и экспе- римента при /с<5 мкА. При работе МОП-транзистора в микроамперном диапазоне токов стока для пологой части характеристик, исходя из (2.46), крутизну можно представить в следующем виде: S=S1(/c//ci)0-5. (2.53) Сравнивая (2.52) и (2.53) для широкого диапазона то- ков стока, можно записать S=SI(7c/Zcl)'n-, (2.54) где т2=0,5... 1 — безразмерный коэффициент, причем при /с<5 мкА т2^1, а при /с^80 мкА /п2=0,5. Крутизна МОП-транзисторов, как и другие парамет- ры полупроводниковых приборов, характеризует разбро- сом своих величин, который определяется не только тех- нологическими особенностями изготовления, но и режи- мом работы транзисторов. Из экспериментальной зави- симости дисперсии крутизны D от /с (рис. 2.8) видно, что с падением тока стока уменьшается не только абсо- лютная, но и относительная дисперсия крутизны МОП-транзисторов. Рассмотрим теперь другой параметр МОП-транзисто- ра— сопротивление стока гс. При работе МОП-транз.и- стора в области крутой части характеристик (режим омического сопротивления) сопротивление стока в глу- боком микрорежиме определим на основании (2.49): dlc dUc ?Т н Тг Из этого выражения при малых Ua получим, устрем- ляя Uс к нулю: Чт rcs=7ZrexP 'СО ио-и3 Чт Чт !с ' (2.55) 73
Аналогичным образом можно получить выражения для микроамперного диапазона токов [35]: rc = lM(^3-t/o). (2.56) Учитывая (2.46), для широкого диапазона токов при ра- боте МОП-транзистора в области крутой части характе- ристик гс можно представить как Гс = гс1(/С1//С)т>. (2.57) где /Пз=0,5... 1 — безразмерный коэффициент, причем в микрорежиме т^Д, а с увеличением тока т3 умень- шается, стремясь при /с^80 мкА к 0,5. Работа МОП-транзистора в области крутой части характеристик обычно используется при коммутации ма- лых сигналов постоянного и переменного токов. Однако наибольший интерес представляет рассмотрение гс для пологой части характеристик, поскольку этот режим является основным для подавляющего числа усилителей на МОП-транзисторах. Для пологой части характеристик рост тока стока при увеличении С/с при отсутствии паразитных утечек обусловливается главным образом эффектом модуляции длины канала. При работе МОП-транзистора в области пологой части характеристик (режим насыщения) лю- бая разность между потенциалом стока и падением на- пряжения на канале оказывается приложенной к обед- ненному слою у поверхности полупроводника (длина этого слоя dc). Падение напряжения на этой области равно Uc— (U3—Uo)- Когда Uc повышается, величина dc возрастает, чтобы компенсировать дополнительное напряжение. Таким образом, модуляция величины dc приводит к модуляции эффективной длины канала (g—dc) напряжением на стоке. Увеличение Uc ведет к уменьшению эффективной длины канала и, следова- тельно, его сопротивления. Для сохранения постоянным падения напряжения на канале (U3—Uo) ток стока должен возрасти так, чтобы компенсировать уменьшение сопротивления канала. Описанный выше эффект модуля- ции длины канала в МОП-транзисторах аналогичен эффекту Эрли в биполярных транзисторах. Расчет вольт-амперной характеристики МОП-транзис- тора в микрорежиме для пологой области (UC>U3 — 74
—1/0) можно провести аналогично приведенному выше, справедливому для крутой области. Принципиальным от- личием в данном случае является то, что интегрирование (2.44) по длине канала проводится от х1 = 0 до x2 = g— dc (значение х — хг соответствует сечению, в котором потенциал равен UC — (U3 — UJ. Поэтому при переходе от интегрирования по координате х к интегрированию по потенциалу пределы x=xt и х — хг заменяются на ^ = 0 и фг = (73 — Uo (для крутой части x—g и <|>г = = f/c). Отсюда следует, что вольт-амперная характерис- тика в пологой области может быть получена из (2.49) путем замены Uc на U3 — Uo и g на g — dc: > /с — /Сэ ехр ^3~^о \ g tT J g~dc ИЛИ Г ^СОЯ / ^3 ~~ . \ /г —----т- ехр--------1 , с g~dc\ r VT J Поскольку 1 аис у 2qNdyUc_{u3-Uc) ' (2.58) динамическую проводимость стока можно представить как 5^ ‘ (2’59) Отсюда для сопротивления стока в пологой области ха- рактеристик получим /-с = ^//с. (2-60) где М = (g - dc) VUC - (t/3 - (/„) V2qNd/e,. При работе МОП-транзистора на микротоках сущест- венное влияние на величину гс может оказывать ток генерации носителей в р—n-переходе сток — подложка /ген ввиду того, что возрастает объем обедненного слоя, в котором происходит генерация. Если это влияние ока- жется более значительным, чем описанное выше влияние 75
эффекта модуляции длины канала, то нетрудно пока- зать, что Гс запишется как Гс^2£/с//ген« (2.61) Эксперименты, проведенные на нескольких партиях МОП-транзисторов, показали, что динамическая прово- димость стока практически пропорциональна /с не только в микроамперном, но и в наноамперном диапа- зоне. Это обстоятельство позволяет заключить, что в микрорежиме формула (2.60) достаточно хорошо опи- сывает зависимость rc=f(/c) при M=const. Для прак- тических расчетов (2.60) удобно представить в виде rc = rcl(IcJ/c): (2.62) где гС1 — сопротивление стока при 1с=1а. Формула (2.62) практически повторяет (1.53) и (2.25), что позволяет сделать вывод о том, что величина внутреннего сопротивления любого активного прибора (биполярного транзистора, полевого транзистора с р—п- переходом и МОП-транзистора) в микрорежиме обрат- но пропорциональна выходному току (рис. 2.9). Для лучшего совпадения результа- тов расчета и эксперимента формулу (2.62) можно запи- Рис. 2.9. Экспериментальные зависи- мости rc = f(/c) для мало- мощных МОП-транзисторов с индуцированным каналом р-типа. сать как rc=rct(Ia/IcT\ (2.63) где Ш4=0,7 ... 1,8 — эмпириче- ский безразмерный коэффици- ент, зависящий от режима ра- боты и типа транзистора. От- личие коэффициента т4 от еди- ницы может быть обусловлено как наличием генерационного тока, так и паразитными утеч- ками. В расчетные формулы для определения вольт-амперных характеристик и некоторых па- раметров МОП-транзистора входит параметр Uo. По вели- чине напряжения отсечки мож- но также качественно судить о параметрах и свойствах 76
транзистора как в режиме номинальных токов, так и в микрорежиме. Напряжение отсечки определяет величину напряже- ния на затворе, при которой нейтрализуются неподвиж- ные заряды обедненной области Qq и поверхностных состояний Qs. В общем виде [/0 можно представить как [35] ^=-(Q,+Qs)/c3. (2.64) где С3 — емкость затвора. Напряжение на затворе, при котором нейтрализуется заряд Qo, является как бы «собственным» пороговым напряжением Uoi. В идеальном случае, когда плотность поверхностных состояний равна нулю (Q5=0), МОП-транзистор (как с каналом p-типа, так и с кана- лом «-типа) представлял бы собой прибор с индуциро- ванным каналом и имел бы пороговое напряжение t/Oi<l,5 В. Однако в практических случаях всегда бу- дет присутствовать еще и заряд поверхностных состоя- ний. Поскольку заряд Qs образуют ионизированные до- норные состояния, то он имеет положительный знак, т. е. пороговое напряжение, обусловленное поверхност- ными состояниями Uos, всегда представляет отрицатель- ную величину. Полное пороговое напряжение Uo равно алгебраиче- ской сумме собственного порогового напряжения и по- рогового напряжения, обусловленного поверхностными состояниями. Поскольку в МОП-транзисторе с каналом p-типа величины U0{ и Uoa отрицательны, то и Uo явля- ется отрицательной величиной (индуцированный канал). В транзисторе с каналом «-типа UOi положительно, a Uos отрицательно. Поскольку | t/os| > | t/Of |, напряже- ние отсечки в МОП-транзисторе с каналом «-типа обыч- но является также отрицательной величиной, т. е. тран- зистор имеет встроенный канал. Во многих микромощных схемах на МОП-транзисто- рах для снижения потребляемой мощности желательно уменьшать Uo. Диффузионная технология практически не позволяет получить t/0<1...2 В. Однако использо- вание методов ионного легирования дает возможность получить сколь угодно малые Uo с устойчивым процен- том выхода годных транзисторов в процессе производ- ства [36]. Использование элионной технологии позво- ляет на одном кристалле создавать структуры с инду- 77
цированными и встроенными каналами, а также и биполярные структуры, что практически невозможно осу- ществить с помощью диффузионной технологии. Таким образом, можно полагать, что развитие методов ионного легирования приведет к широкому использованию МОП-структур в микромощной электронике. В ТУ и справочниках на транзисторы обычно в ка- честве напряжения отсечки U'o приводятся значения U3, при которых /с—1 мкА (или 10 мкА). Естественно, в микрорежиме непосредственно использовать эту величину для расчетов не представляется возможным. Однако если известно U3i=U'o при /С1 = 1 мкА (или 10 мкА), то, использовав (2.50), нетрудно определить напряжение затвора для тока стока необходимой величины. Если принять в качестве Uo для микрорежима значение U3 при минимальной величине управляемого тока стока /с min (2.47), то можно записать UO=U'O - ты<?т In (7C1//Cmln). (2.65) Для реальных значений /им и /с min при комнатной температуре формулу (2.65) можно приближенно пред- ставить (в вольтах) в виде С/о=^'о_(0,7...1). (2.66) Таким образом, величина Uo в микрорежиме будет меньше, чем в ТУ. Формулы (2.65) .и (2.66) позволяют определить напряжение отсечки для микрорежима исхо- дя из справочных данных для номинальных режимов работы МОП-транзисторов. Для построения микромощных схем особый интерес представляют МОП-транзисторы с индуцированным ка- налом, поскольку они позволяют осуществить непосред- ственную связь логических элементов на транзисторных структурах одного типа. Однако в таких МОП-транзи- сторах временная нестабильность характеристик выра- жена в значительно большей степени, чем для транзи- сторов со встроенным каналом. Это связано с тем, что величина сдвига характеристики возрастает с увеличе- нием напряженности электрического поля в слое диэлек- трика, причем величина напряженности в МОП-струк- турах со встроенным каналом меньше, чем в структурах с индуцированным каналом. Временная нестабильность 78
МО-П-транзисторов определяется миграцией ионов в ди- электрике (БЮг) под действием сильных электрических полей, поэтому величина сдвига характеристики, поми- мо температуры и времени воздействия поля, в значи- тельной степени зависит от величины напряженности поля. Поскольку с уменьшением напряжения на затворе в -структурах с индуцированным каналом уменьшается и ток стока, есть основания полагать, что микрорежим в МО'П-транзисторах с индуцированным каналом будет характеризоваться минимальной временной нестабиль- ностью. Как показали эксперименты, при токах стока менее 100 мкА временную нестабильность практически можно не учитывать ввиду ее малости. Таким образом, можно заключить, что использование МОП-транзисторов с индуцированным каналом при работе в микрорежиме является предпочтительным с точки зрения получения минимальной временной нестабильности. " Параметры МОП-транзистора, как и параметры дру- гих полупроводниковых приборов, могут изменять свои значения под влиянием температуры. Так, ток стока зна- чительно изменяет свою величину при повышении тем- пературы окружающей среды. С одной стороны, повы- шение температуры приводит к уменьшению подвижно- сти носителей заряда в канале и тем самым (при не- изменных напряжениях стока и затвора) к возрастанию сопротивления канала. В то же время повышение тем- пературы усиливает процесс ионизации заполненных по- верхностных ловушек и тем самым увеличивает прово- димость канала за -счет роста концентрации свободных носителей заряда. В результате при заданных физиче- ских параметрах МОП-структуры оказывается возмож- ным такой режим работы, когда в определенном интер- вале значений температуры оба этих эффекта взаимно компенсируют друг друга и величина /с практически перестает зависеть от температуры (рис. 2.10). Из зависимостей (рис. 2.10) следует, что конструк- тивные и технологические параметры рассмотренных структур обеспечивают термостабильность тока стока в диапазоне —60...—100°С лишь при значениях 1с= =Лтаб порядка сотен микроампер. Поскольку при за- данных напряжениях стока и затвора величина 1с пря- мо пропорциональна ширине канала W и обратно про- порциональна его длине g, то диапазон термостабиль- 79
ных значений тока стока 7с=/стаб можно изменять, лишь меняя геометрию самой конструкции МОП-транзистора (концентрация и энергетический спектр поверхностных ловушек пока плохо поддаются технологическому кон- тролю). В частности, для получения термостабильных значений /Стаб=1 мкА при VF=120 мкм необходимо обеспечить величину мм. Таким образом, при раз- работке конструкций микромощных МОП-транзисторов термостабильность в заданном диапазоне значений /с можно обеспечить надлежащим сочетанием величин W ng. Рис. 2.10. Экспериментальные зависимости /с=/(0 для МОП-транзисторов со встроенным каналом л-типа (а) и с индуцированным каналом p-типа (б). Требуемое уменьшение термостабильного диапазона значений /с=/СТаб может быть достигнуто и схемотехни- ческим методом без изменения конструкции и технологии МОП-транзисторов. Так, последовательное включение п МОП-транзисторов с параллельно включенными затво- рами (рис. 2.11,а) снижает /СТаб примерно в п раз по сравнению с /СТаб для одного отдельного транзистора. Это объясняется тем, что при таком включении эффек- тивная длина канала результирующего «составного» МОП-транзистора (с учетом технологического разброса) примерно в п раз больше длины канала одного отдель- ного транзистора. На рис. 2.11,6 приведены эксперимен- тальные зависимости для одного из подобных последовательных соединений. Таким образом, при раз- работке термостабильных микромощных схем на серий- ных маломощных МОП-транзисторах можно воспользо- ваться их последовательным соединением. 80
Частотные свойства МОП-транзисторов резко ухуд- шаются с падением тока стока. Предельную частоту усиления /Гр для МОП-транзистора можно представить в следующем виде [35]: frP=S/2nC3. (2.67) Подставляя (2.54) в (2.67), получаем f -Л /с (9Ш ' ГР — 2лС3 /С1 ) 'гр1 "7^" • '2-68' Отсюда следует, что при малых токах /Гр имеет значи- тельно меньшие величины, чем при номинальных. Сле- дует отметить, что в наноамперном диапазоне токов сто- ка /гр практически линейно зависит от /с. Рис. 2.11. Схема последовательного соединения МОП-транзисторов (а) и экс- периментальные зависимости /с=/(0 для такой схемы (б). Хотя в микрорежиме /гр для МОП-транзистора и не- велика, но даже эту величину реализовать в практиче- ской микромощной схеме не удается уже при 1с порядка десятков микроампер из-за больших номиналов нагру- зочных резисторов в микромощных схемах и паразит- ных емкостей. Поэтому улучшать частотные свойства в микромощных устройствах на МОП-транзисторах сле- дует в основном конструктивными и схемными методами. Собственный шум в МОП-транзисторах обычно мень- ше, чем в биполярных транзисторах, но несколько боль- ше, чем в полевых с р—п-переходом. Низкочастотный шум в МОП-структурах возникает на границе двух раз- нородных материалов — окисла и полупроводника [37]. 6—232 81
Здесь часто наблюдается высокая концентрация поверх- ностных состояний. Кроме того, окисел имеет некристал- лическую структуру и содержит дефекты, которые спо- собны вызывать обмен заряда с полупроводником. Та- ким образом, МОП-транзистор восприимчив к 1 //-шуму, генерируемому при обмене зарядами между этими со- стояниями и объемом полупроводника. Поскольку влия- ние поверхностных состояний возрастает при уменьше- нии тока стока (ширины канала), следует ожидать уве- личения низкочастотного шума в МОП-транзисторе для микрорежима. МОП-транзисторы более стойки к воздействию ра- диации, чем полевые транзисторы с р—п-переходом [37]. Влияние радиации на МОП-транзистор в основном опре- деляется следующим фактором. При действии радиа- ционного излучения на МОП-структуру в окисле обра- зуется положительный пространственный заряд, который вызывает изменение величины порогового напряжения. При подаче положительного смещения на металл в ре- зультате действия электрического поля вблизи поверх- ности полупроводника скапливается положительный за- ряд, величина которого зависит от напряжения, прило- женного к затвору в период облучения. Образование пространственного заряда прекращается, когда поле в области затвора уменьшается. Поскольку в микро- режиме напряженность поля в окисле невелика, можно полагать, что описанный эффект при работе МОП-тран- зистора в области малых токов будет ослаблен. Так, в микрорежиме крутизна маломощного МОП-транзисто- ра с каналом p-типа проводимости при облучении про- тонами с энергией 660 МэВ при дозе 2-Ю12 пр/см2 из- менялась лишь на 3 ... 8%'. Величина пространственного заряда в МОП-струк- туре существенно зависит от металла, из которого изго- товлен затвор. Так, величина образовавшегося под дей- ствием радиации пространственного заряда максималь- на для алюминия и минимальна для хрома [38]. Кроме того, величина наведенного заряда зависит от вида воз- действующей радиации и типа диэлектрической пленки. Максимальное значение заряда и его наибольшая зави- симость от вида излучения имеют место в структурах с пленкой SiC>2, а минимальное —с пленкой А12О3 [39]. Радиационную стойкость окисного слоя можно также повысить введением в SiO2 примеси Сг [38]. 82
Заканчивая рассмотрение свойств МОП-транзисторов в области микротоков, рассмотрим режим его работы при использовании лишь одной диффузионной области [40]. На рис. 2.12 приведены упрощенная структура МОП-транзистора со встроенным каналом n-типа про- водимости и схема его включения. Работа МОП-тран- зистора в этом случае осуществляется вследствие изме- Рис. 2.12. Схема включения упрощенной структуры МОП-транзистора. нения тока в цепи сток — подложка /с при управлении напряжением на затворе. При t73<t/0 отсутствие кана- ла приводит к тому, что в цепи стока протекает лишь обратный ток стокового р—/г-перехода. Появление канала при увеличении U3 приводит к воз- растанию этого тока /с из-за увеличения площади и из- менения физических свойств р — и-перехода. В микроамперном диапазоне токов стока при по- стоянном напряжении сток — подложка вольт-амперная характеристика рассматриваемого включения МОП-тран- зистора хорошо описывается формулой (2.50). Следует заметить, что поскольку для рассматривае- мого режима работы область истока практически не влияет на ход вольт-амперных характеристик, то можно в качестве активного компонента использовать МОП- структуру только с одной диффузионной областью п-типа (рис. 2.12)—с областью стока. Это может способство- вать упрощению технологии изготовления, уменьшению габаритов и повышению надежности МОП-интеграль- ных схем. ' Рассматривая характеристики рис. 2.13, нетрудно за- метить, что напряжение отсечки для такого режима ока- зывается значительно меньше, чем при обычном (тра- диционном) использовании МОП-транзистора (десятые доли вольта по сравнению с единицами вольта). Сле- 6е 83
дует заметить, что аналогичного уменьшения порогового напряжения для обычного включения МОП-транзистора можно достичь подачей напряжения на подложку [35], однако, поскольку в интегральных схемах подложка обычно заземлена, реализация этого метода вызывает значительные затруднения. Таким образом, рассмотренный режим работы МОП-транзистора дает возможность, во-первых, исполь- Рис. 2.13. Экспериментальные зависимости /с==/({/3) МОП-транзистора со встроенным каналом п-типа, схема включения которого представлена на рис. 2.12. зовать в качестве активного элемента МОП-структуру лишь с одной диффузионной областью и, во-вторых, полу- чать малые пороговые на- пряжения. МОП-транзистор всегда используется как элемент схемы, хотя при работе в ми- крорежиме сам МОП-тран- зистор может выполнять функции элементарного устройства. На рис. 2.14,а приведена схема включения МОП-транзистора с индуци- рованным каналом п-типа проводимости, которая поз- воляет реализовать МОП- транзистор в качестве эле- ментарного микромощного инвертора. Напряжение пи- тания Еп здесь подается зна- ком плюс на подложку. Функции традиционного резисто- ра в цепи стока выполняет сопротивление р—/г-перехода сток — подложка. Если £п мало (меньше напряжения «пятки» р—n-переходов сток — подложка и исток — подложка), в транзисторе будут протекать малые токи (будет рассеиваться малая мощность) и сопротивления переходов будут достаточно большими. При напряжении на затворе С/Вх=О канал в транзи- сторе отсутствует, следовательно, на стоковом электроде (на выходе устройства) будет напряжение {7вых=£п- Если к затвору приложить UBX>UOi то появляется ка- нал. Вследствие образования канала потечет ток в цепи подложка — сток — канал — исток. Напряжение 17Вых начнет уменьшаться. Таким образом, при изменении на- 84
пряжения на затворе меняется напряжение на стоке. На рис. 2.14,6 приведены экспериментальные зависимо- сти t7Bbix=f (f/вх) для МОП-транзистора с индуцирован- ным каналом n-типа проводимости, включенного по схе- ме рис. 2.14,а, при различных Еп. Изложенное позволяет сделать вывод, что МОП-тран- зистор без наличия каких-либо дополнительных элемен- тов может выполнять функции микромощного инверто- ра. Для реализации такого инвертора необходимо выби- Рис. 2.14. Микромощный МОП-инвертор (а) и эксперименталь- ные зависимости ^выхЧ(^вх) (б). ff) рать МОП-транзистор с очень малым напряжением от- сечки (С7о<0,5 В), т. е. МОП-транзистор, выполненный с применением ионного легирования. Подобно инвертору, МОП-транзистор, включенный по схеме рис. 2.14,а, может выполнять и функции мик- ромощного усилителя с небольшим коэффициентом уси- ления. В этом случае следует использовать МОП-тран- зистор со встроенным каналом. Таким образом, можно сделать вывод, что МОП-транзистор является функцио- нальным микромощным прибором, способным выпол- нять функции инвертора и усилителя. Глава 3 ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ТРАНЗИСТОРОВ Наибольший технический эффект от снижения мощ- ностей, потребляемых и рассеиваемых радиоэлектронны- ми схемами, получается в бортовых вычислительных 85
устройствах, содержащих много однотипных схем, рабо- тающих в основном в импульсном режиме. Поэтому из всех рассмотренных устройств в первую очередь следует рассмотреть схемы дискретного дейст- вия. В импульсных схемах транзисторы обычно рабо- тают как электронные ключи, быстродействие которых определяется скоростью переходных процессов при пере- ключении транзистора из одного состояния в другое. Уменьшение рабочего тока значительно увеличивает длительности фронтов сформированного импульса, что снижает логические возможности схем и может увели- чить потребляемую и рассеиваемую мощность. Следова- тельно, при проектировании микромощных импульсных схем необходимо учитывать переходные процессы в транзисторах. Поэтому рассмотрение микромощных транзисторных устройств целесообразно начать с иссле- дования транзисторных ключей. 3.1. Особенности транзисторного ключа В гл. 1 было показано, что при работе биполярного транзистора в микрорежиме значительно возрастает его входное сопротивление. При этом увеличивается влия- ние эмиттерной цепи на переходные процессы в тран- зисторе, что является одним из существенных отличий микрорежима от номинальных, режимов работы. Для схемы ОБ влияние эмиттерной цепи может быть представлено следующим образом. При подаче на эмит- тер отпирающего импульса начинается перезарядка эмиттерной емкости с постоянной времени RrC3. При запертом эмиттерном переходе этот процесс можно про- иллюстрировать эквивалентной схемой (рис. 3.1,а). В момент, когда напряжение на емкости проходит через нуль, отпирается эмиттерный переход. Теперь Сэ Рис. 3.1. Эквивалентная схема входной цепи биполярного транзистора при за- пертом (а) и открытом (б) эмиттерном переходе. 86
заряжается эмиттерным током с постоянной времени (Лг11гэ)Сэ (рис. 3.1,6), а остальная доля эмиттерного то- ка /эк принимает участие в образовании тока коллек- тора. Таким образом, коэффициент инжекции у являет- ся комплексной величиной и может быть записан как Т(з) = /эк(*)//э(*). (3-1) Коэффициент переноса неосновных носителей через ба- зу в номинальном режиме работы транзистора может быть представлен в виде ₽*(*)=W0 +«пр)- (3-2) Учитывая (3.1) и (3.2), коэффициент передачи ft2IB(s) мож- но записать как h2lB(s)=^(s)^(.s)=h2lBl(l -f- -(-3%). Поскольку для микрорежима то Л2]Б(«)== ^21б/ОН-ЭТэ)- Нетрудно показать, что для схемы ОЭ при работе транзистора в микрорежиме сохраняются те же соотно- шения между основными параметрами транзистора и соответствующими им параметрами для схемы ОБ, что и в номинальном режиме работы, с той лишь разницей, что Тщ> следует заменить на тэ. Рис. 3.2. Эквивалентные схемы биполярного транзистора. 87
При определений переходной характеристики транзи- стора для схемы ОЭ можно использовать эквивалент- ную схему на рис. 3.2,а [15]. Данную схему нетрудно преобразовать в схему рис. 3.2,6, параметры которой связаны с параметрами первой схемы следующими со- отношениями: 7 _ r3 . 7 _ +^э/(1 — Л21б)1 п • 1+sV^k— (1 + 5тэ)(1+ЭТк) ’ где г к = (1 Л2|Б), *ск = /*КСК. При подаче в базу транзистора отпирающей ступень- ки напряжения Ег для схемы на рис. 3.2,6 можно запи- сать систему уравнений, составленную по методу кон- турных токов: /B(s)(7?r + Z,) + /K(S)Z9 = £r(S); 7К (s) (Ra -J- ZK 4- Z9) 4- /Б (s) Z9 = /Б (s) Л219 (s) ZK. Решая систему уравнений относительно тока коллекто- ра /к($), получим У _______________В Г (S) 1^119 (s) ZK — ^)]_____ /о 2 К W - (/?г + 2э) (/?„ + 2К + Z3) + [ft1I9 (s) ZK - Z3] Z3 Подстановка выражений (3.3) в (3.4) после некоторых преобразований приводит к виду т / \ [^21БГК гэ 0 4" 5тк) ] ,о г, ;к + + e’ <3-5) где Л ^г^н^э^к* b=RrRH (t9 4- тк) 4- rKt3Rr — Г9 (Ян 4- Rr) Тк; С — RrRa 4- r*KRr 4~ ra (^н + ^г) 4" ГэГк- Определим Si и s2 — корни уравнения as2 + fts+c=0. Если Ь2>ас, то s^—b/a+c/b-, s2^—c/b. Это справед- ливо для случая, когда сопротивление коллекторного перехода гк велико, а произведение г9(1 — Л2|Б) соизме- римо с Яг^О. После соответствующих упрощений корни уравнения примут вид Wi'kS . Rr (1— А21б)+гэ ,о ’ Sa-----’ (3'6) где Щ = 1 4-гэ/^г + гэ/^н‘> '5'к=^нск- 88
Выполняя обратное преобразование Лапласа для (3.5), получаем I (f\__ £г (^21Бгк гэ) . "г Ег [Ajib^k — гэ (1 +,s,tK) ] ехр (3.7) (si ®г) Ег [й21Бгк — ''э (1 + s2tK) ] ехр s2t "Т- ^г^нсэ'|тЛ (52 51) Ввиду того, что si^>s2, вторым членом выражения (3.17) можно пренебречь. Тогда, используя приведенное выше условие (Ь2^>ас), запишем / /А £А1Б £А1Бе*Р^ К ^Г/СЭ*С,К5152 __ БгГэСкехр52/ Rr О^'к + ъ) ‘ После подстановки в (3.8) выражений (3.6) ная характеристика приобретает вид 7 /А ____________^Г^21Э_______________Ег^иэ______ 'к W- Rr + ГЭ (й21э +1) Rr +>э (Й219 + 1) К/ Pvn / ___/ ffir ~b Гэ (^21Э + 0 ] 1 _ Аехр| Rr(VKm4-T3) j ____________________ АУП /____~Ь ГЭ (^21Э 4~ 1) Rr (т'кот. 4- Ъ) 1 Р ( #г (х'к'« + Ъ) При условии гэСк < (wm'k-(-ts) получаем (0= ъ—г£г?Гэ т-п- [1 - ехр (—->1 KW Яг + 'э (^21Э + О I ХФ 7 J (3-8) переход- где _ Rr (t'Km + гэ) (й21э+1) ф~ Яг + гэ(Лг1э+1) (3-9) Величина Тф является постоянной времени фронта выходного импульса. Таким образом, длительность фрон- та выходного импульса транзистора можно представить как *Ф “ Хф 10 [ Rr + гэ (^и +1) / (л + Гэ (йпэ + 1) ^?1эЯн J J (3.10) 39
Таблица 3.1 Номер транзи- стора тф> мкс расчетное эксперимен- тальное 3 19,2 21,8 15 21,6 22,0 31 " 19,3 20,7 33 20,6 23,0 41 23,7 24,5 58 20,4 21,4 Расчетные и экспериментальные данные показы- вают, что быстродействие транзисторных ключей в мик- рорежиме ухудшается из-за больших длительностей фронта выходного импульса. Анализ формул (3.9) и (3.10) также показывает, что в микрорежиме длитель- ГфуМКС U0 - ъг - ги- 16 - 8 - 010° 5 101 510г fa,мкА Рис. 3.3. Расчетная зависимость Тф = =f(7K) и результаты экспери- мента для маломощного пла- нарного транзистора при /?г = =47 кОм. Из формул (3.9) и (3.10) можно сделать вывод, что длительность фронта вы- ходного импульса возрастает с увеличением сопротивле- ния генератора и уменьше- нием рабочего тока (рис. 3.3 и 3.4). Эти формулы были экспериментально провере- ны для фронта выходного импульса у маломощных планарных транзисторов при /?г=47 кОм, /к=1 мкА (табл. 3.1). ность фронта выходного им- пульса зависит от /?г, при- чем увеличение i/?r приводит к возрастанию Тф и /ф. Следует заметить, что с уменьшением рабочего тока (меньше 1 мкА) зависимость Тф=/(/?г) (рис. 3.4) ста- Тф,МКС Рис. 3.4. Расчетная зависимость Тф = =f(Rr) и результаты экспери- мента для маломощного пла- нарного транзистора при /к = =4 мкА. 90
НовиТся еще более резкой, а с возрастанием тока — вы- рождается. Так, даже при 7К=Ю мкА и 7?г^5О кОм для практических расчетов ее можно не учитывать. Хотя при анализе спада импульса все приведенные соотношения качественно сохраняются, количественная оценка весьма затруднена из-за значительной нелиней- ности ряда параметров тран- зистора при его запирании [19] и прежде всего из-за разряда паразитных емкос- тей схемы через сопротивле- ние нагрузки. В микрорежи- ме постоянная времени спада обычно много больше по- стоянной времени фронта. При работе транзистор- ных ключей в номинальных режимах одним из основных факторов, определяющих их быстродействие, является время рассасывания избыточ- ных носителей. При умень- шении рабочего тока, как Экспериментальные зависимости ^//рас = f (/к) для маломощно- го ^планарного транзистора. было показано выше, увеличиваются фронты выходного импульса, а время рассасывания /рас практически сохра- няет порядок своих величин, поэтому, начиная с опре- деленного тока, когда сумма времен фронта и спада /Е становится много больше /рас, можно не учитывать влия- ния /рас на быстродействие транзисторного ключа. Во всем микроамперном диапазоне токов при опреде- лении времени переключения транзистора с точностью, достаточной для инженерных расчетов (рис. 3.5), можно не учитывать /рас; так, для /к = 1 мкА время рассасыва- ния при коэффициенте насыщения /CHac = 2 на три по- рядка меньше /2. В табл. 3.2 приведены отношения/2//рас при /к — 1 мкА и /Снас = 2 для маломощных кремниевых планарных транзисторов. Таким образом, транзисторные ключи, являющиеся быстродействующими при номинальных токах и выпол- ненные на транзисторах с малым /рас, не проявляют своего преимущества по сравнению с ключами, выпол- 91
нейными йа транзисторах с большим /рас при работе в микроамперном диапазоне токов. Поскольку для уменьшения времени рассасывания в транзисторах используется диффузия золота, а для микрорежима параметр /рас не является существенным, при изготовлении микромощных транзисторов этот спо- Таблица 3.2 Номер транзистора 3 15 31 33 41 58 ^Драс 1140 1180 1090 1200 1150 1180 соб увеличения быстродействия неприемлем. Тем более, что наличие золота сопряжено с рядо^м побочных эффек- тов, ухудшающих параметры транзистора в микрорежи- ме [23] (уменьшение коэффициента передачи, увеличе- ние напряжения «пятки» на входной характеристике и т. д.). Следовательно, при работе транзисторного ключа в микрорежиме: 1) с уменьшением рабочего тока зна- чительно возрастает время переключения; 2) с умень- шением сопротивления генератора повышается быстро- действие и 3) величина времени рассасывания и соот- ветственно коэффициент насыщения транзистора прак- тически не влияют на время переключения. Если в микрорежиме работает биполярный транзи- стор, то, как было показано в гл. 1, он может усиливать сигналы, работая только в области насыщения без вы- хода в активный режим. В связи с этим интересно опре- делить время /фнас, т. е. время, в течение которого коэф- фициент насыщения транзистора изменяется. Положим, что транзистор имел коэффициент насыще- ния, соответствующий токам /Кнас и /Б1. Если скачком уменьшить ток базы до величины /Б2, коэффициент насы- щения и ток коллектора также уменьшаются, но не скач- ком а лишь через время ^иас(/Кнас1 >/Кнас2, Для момента переключения заряд неосновных носителей в базе можно представить в виде [41] q (t\ = bh II______7K“acl — Л21эЛГ 92
(3.11) где & коэффициент пропорциональности между током и зарядом; т;нас — постоянная времени насыщения; Д/Б = ~Лэ1 ^Б2‘ В момент окончания фронта, /фНас, в базе устано- вится заряд, равный Q ^21эЛГ (^Б2 нас2/^21э^’ Приравняв правые части выражений (3.11) и (3.12) и решив полученное уравнение относительно /фнас, по- лучим ^ф нас = тнас “д/ ^21эМ “ Тнас ’ (3-13) шКнас "21энас или, используя соотношение (1.48), ^ф нас 252 тнас ^21эЛГ ^21э/* Приведенный анализ показывает, что время пере- ключения транзистора в области насыщения не зависит от диапазона переключений, т. е. от величин коэффи- циента насыщения и их разницы. В отличие от обычных ключевых режимов характерной особенностью данного режима является отсутствие задержки спада импульса. У микромощных ключей, выполненных на полевых транзисторах, с падением рабочего тока быстродействие также ухудшается. При токах стока /с<50 мкА умень- шение емкости затвора уже не позволяет улучшить вре- менные параметры ключа. Так же как и в микромощ- ных ключах, построенных на биполярных транзисторах, в данном случае время переключения в основном опре- деляется цепью, состоящей из паразитной емкости мон- тажа и высокоомного сопротивления нагрузки. Поэтому вопрос об улучшении быстродействия микромощных ключей прежде всего следует решать конструктивными и схемными методами. В ряде случаев, когда основным требованием, предъ- являемым к микромощному ключу, является минималь- ная длительность фронта выходного импульса, может быть использован ключ на лавинном транзисторе [15]. 93
Транзисторный ключ является основой логической схемы. Для анализа характеристик транзисторного клю- ча необходимо иметь критерии оценки его возможностей. Основные показатели, по которым оцениваются возмож- ности логических схем (без учета конструктивного исполнения), следующие: коэффициент объединения по входу, коэффициент разветвления по выходу (нагрузоч- Рис. 3.6. Рис. 3.6. Пример построения сов- местных характеристик двух ин- верторов. ная способность), помехо- устойчивость в состоянии «1» и «О» (по постоянно- му и переменному току), быстродействие, мощность рассеяния. В статическом состоянии микромощную логическую схему доста- точно полно характеризу- ют первые три из них. По- этому интерес представ- ляют зависимости этих параметров от мощности рассеяния. Среди различных ме- тодов определения поме- хоустойчивости привлека- ет своей простотой и на- глядностью графический метод, основанный на построении совместных характеристик двух инверторов [23] (рис. 3.6). На рис. 3.6 семейство характеристик основного инвертора дано в виде UBBlx=f(UBX). Каждая кривая семейства соответствует определенному нагрузочному коэффициен- ту п. На том же рисунке построена аналогичная харак- теристика нагружающего инвертора в виде С^вхМЧ^вых). Такое построение характеристик определяется тем, что выходное напряжение основного инвертора служит вход- ным для нагружающего. Оценивая помехоустойчивость коэффициентами запа- са по- входному напряжению, обеспечивающими то или иное его состояние, можно по семейству характеристик найти, что помехоустойчивость в состояниях «1» и «О» соответственно определяется величинами К. = 1 + Д^нас; X, = 1 + 94
где AJ7i — разность между приложенным входным на- пряжением и минимально необходимым для насыщения инвертора; АС72— разность между напряжением отпира- ния инвертора и остаточным напряжением; Unac — на- пряжение насыщения. Если от напряжений перейти к токам, полагая, что входной ток схемы линейно связан с входным напряже- нием, то нетрудно заметить, что помехоустойчивость в состоянии «1» совпадает по определению с коэффи- циентом насыщения транзистора. Пусть рассматриваемый инвертор подключен к выхо- ду предыдущего, нагруженного п инверторами. Тогда напряжение на его входе равно ^вх—£к/ (Rk/Rbx) 1, (3.14) где /?к — коллекторное сопротивление предыдущего ин- вертора; Rbx — входное сопротивление инвертора (вклю- чая и сопротивление связи); п — число нагрузок. Напряжение, необходимое для насыщения инвертора, равно ^вх “ ^к^нас^вх/^к^21Э, (3* 1 где Кнас — коэффициент насыщения. Из сравнения (3.14) и (3.15) видно, что Л^нас “ ^21Э ^нас (^вх/^к)- (3* 16) Формулу (3.16) нетрудно привести к следующему виду: пКнас = Й21э(1-^вх/£к). (3.17) Произведение нагрузочного коэффициента на коэф- фициент насыщения является важной характеристикой схемы, определяющей способность транзистора входить в насыщение и управлять несколькими нагрузками. В дальнейшем это произведение будем называть коэф- фициентом работоспособности и обозначать символом L. Как видно из (3.17), L в основном определяется ста- тическим коэффициентом передачи транзистора. При из- вестной величине коэффициента передачи произведение нагрузочного коэффициента и коэффициента насыщения является мерой помехоустойчивости в открытом состоя- нии. Таким образом, (3.17) связывает нагрузочную спо- собность схемы и ее помехозащищенность с параметра- ми транзистора. Формула (3.17) получена исходя из предположения об отсутствии на входе схемы отпирающих помех. Рас- 95
Рис. 3.7. Экспериментальные зависимости ^ьэ» ^ост = /(^б) ПРИ ^к/^б = = 10 для бескорпусного планар- ного кремниевого транзистора. Таким образом, снижать смотрим влияние этих помех на коэффициент работо- способности. Пусть на каждом входе схемы действует отпирающая помеха. В результате ее действия напряже- ние на выходе первого предыдущего каскада уменьша- ется на величину Д[Л Обозначим &и/Ек — ц. С учетом уменьшения напря- жения (3.14) примет вид UBX = [EK(l — ^R^KR^^-R^) и (3.17) соответственно £ = /г21Э(1 — ц — UBX/EK). По- скольку bU/EK==mI„RKh2l3/EK и EK/RK = IK, где т- коэффициент объединения по входу; 1а — величина отпи- рающей помехи, действующей на одном входе, то окон- чательно получим L = й21Э (1 ^вх/^к)- (3.18) Таким образом, коэффициент L, а следовательно, и нагрузочная способность схемы не зависят от числа входов только при отсутст- вии отпирающих помех. На- личие таких помех приводит к снижению этого коэффи- циента. Формулы (3.17) и (3.18) позволяют проследить изме- нение L при переходе в ми- крорежим. Проведенные рас- четы и эксперименты пока- зали, что величина L снижа- ется при уменьшении как ра- бочего тока, так и напряже- ния питания, но при сниже- нии Ек коэффициент L умень- шается медленнее, чем при соответствующем снижении Ik- Это объясняется весьма слабой зависимостью Л2|Э= =|((/Кэ) в микрорежиме, мощность рассеяния в логи- ческих схемах за счет напряжения питания более вы- годно, чем за счет тока коллектора. Однако получить малые мощности рассеяния снижением только напряже- ния питания не представляется возможным, поэтому в практике целесообразно пользоваться обоими метода- ми одновременно. 96
Величина минимального рабочего тока во многом опре- деляется падением коэффициента передачи й21Э. Величина минимального напряжения питания для логических схем с непосредственными связями, работающих в микроам- перном диапазоне токов, ограничивается напряжением «пятки» на входной характеристике транзистора. Это ограничение справедливо в случаях, когда напряжение «пятки» велико в сравнении с остаточным напряжением на насыщенном транзисторе t/ост- Однако в логических схемах, работающих в нановаттном диапазоне, {70СТ за счет уменьшения рабочих токов может значительно воз- расти и стать сравнимым с напряжением на входе тран- зистора ию (рис. 3.7). Из рис. 3.7 следует, что С7БЭ = С7ост при /Б 65 нА. Исследования, проведенные на различных типах биполяр- ных кремниевых транзисторов, показали, что ию — ижт при токах /Б = 40... 100 нА (/к = 0,4...2 мкА) Изложен- ное выше позволяет сделать вывод, что осуществлять непосредственную связь в логических ключах желательно лишь при токах /к>20 мкА. Зависимость L от напряжения питания и тока кол- лектора позволяет определить пригодность биполярных транзисторов для работы в микромощных логических схемах с непосредственными связями. Так, например, задаваясь величинами L, т^, /КБО, /к, можно опреде- лить минимальную величину коэффициента передачи, обеспечивающую удовлетворительную работу схемы. 3.2. Разновидности транзисторных ключей При использовании ряда биполярных транзисторов в микрорежиме необходимо найти способы, позволяю- щие повысить процент годных транзисторов, или, дру- гими словами, расширить логические возможности схем. Следует заметить, что применение эмиттерных повтори- телей в микромощных логических схемах, широко ис- пользуемое в схемах, работающих при номинальных режимах (в основном для увеличения нагрузочной спо- собности схемы), оказывается неэффективным; оно мо- жет быть оправдано, как показывает эксперимент, лишь при токах 7Э > 15 мкА. Основной динамической характеристикой логической 7—232 97
схемы является ее быстродействие. Быстродействие схе- мы характеризуется величиной задержки распростране- ния сигнала /зд. Из результатов, полученных в § 3.1, следует, что величина задержки распространения сигна- ла в основном определяется временами заряда и разря- да емкостей транзистора и схемы и ее можно выразить как сумму времен фронта и спада выходного импульса логической схемы. Быстродействие микромощных логических схем и их рассеиваемую мощность целесообразно рассматривать Рис. 3.8. Экспериментальные зависимо- сти /3д=/(/к) для логических схем на маломощных планар* ных транзисторах для РТЛ- и ДТЛ-схем типа НЕ—ИЛИ. в тесной взаимосвязи, по- скольку в широком диапазо- не изменений этих парамет- ров их произведение остает- ся примерно постоянным для схем одного типа при усло- вии неизменности парамет- ров транзисторов [42]. Для определения влияния рассеиваемой мощности на быстродействие удобно ис- пользовать зависимости /зд= =F(/k) (рис. 3.8). Из рис. 3.8 следует, что ДТЛ-схемы обладают более высокими динамическими характери- стиками, чем РТЛ-схемы. Широко применяемый в тех- нике номинальных режимов прием—использование уско- ряющих емкостей на входе схемы — оказывается в мик- ромощных устройствах неэффективным. Как показывают результаты измерений, начиная с токов коллектора при- мерно 200...400 мкА, ускоряющие емкости приводят к ухудшению динамических параметров. Следует отметить, что почти все известные из тех- ники номинальных режимов методы улучшения дина- мических характеристик схемы в микрорежиме не при- носят сколько-нибудь заметного эффекта. Так, напри- мер, фиксация коллекторных потенциалов для предот- вращения насыщения транзисторов неприемлема из-за значительного возрастания мощности рассеяния, тем бо- лее, что принципиальное преимущество схем без насы- 98
щения в быстродействии теряется из-за пренебрежимо малых значений времени рассасывания в микрорежиме. Неудовлетворительная характеристика мощность — быстродействие, недостаточные логические возможности и допуски в элементах с резисторными связями (РТЛ) препятствуют их использованию во многих схемах. Схе- мы с диодными связями (ДТЛ) имеют удовлетворитель- ные характеристики мощность — быстродействие, причем схемы НЕ—И являются предпочтительнее, чем схемы НЕ—ИЛИ [23]. Схема с непосредственными связями обладает наи- лучшей характеристикой мощность — быстродействие. Однако при плюсовых температурах и токах коллекто- ра /к<100 мкА она теряет преимущество, связанное с ее простотой. В этом случае становится необходимым использовать источник запирающего напряжения. Когда максимальная рабочая температура достаточно мала, схема с непосредственными связями обладает наилуч- шими характеристиками в микроамперном диапазоне токов по сравнению с характеристиками других эле- ментов. Схема с транзисторными связями (ТТЛ) по своим характеристикам приближается к элементу с непосред- ственными связями, но в ней несколько труднее обес- печить температурную стабильность. В элементе ТТЛ сопротивление коллектора необходимо для обеспечения пути тока /КБО и обратных токов эмиттерных перехо- дов транзисторов связи. Если в элементе ТТЛ не было бы этого сопротивления, то распределение токов было бы крайне неравномерным из-за значительных величин инверсных коэффициентов передачи тока в транзисто- рах связи. Большие возможности открывает применение поле- вых транзисторов в микромощных логических схемах. При этом особыми перспективами обладают МОП-тран- зисторы с индуцированныхМ каналом, поскольку они по- зволяют создавать схемы с непосредственными связями, обладают высоким сопротивлением и малой входной ем- костью (имеют большую нагрузочную способность). Интересной особенностью логических схем на МОП-тран- зисторах является отсутствие традиционных элементов (резисторов, конденсаторов, диодов), функции которых с успехом выполняют аналогичные МОП-структуры. Так, в качестве нагрузочного сопротивления обычно приме- 7* 99
няется МОП-резистор, работающий в области пологой части характеристик. Нагрузочное сопротивление такого резистора равно [35] /?н=2/$. Уменьшение тока стока в микромощных логических схемах на МОП-транзисторах практически не ухудшает статические характеристики схем, но значительно умень- шает их быстродействие, причем при увеличении коэф- фициента разветвления быстродействие уменьшается пропорционально числу нагрузок. Улучшение быстродействия при одновременном сни- жении мощности можно получить, применяя в логиче- ских ключах принцип дополнительной симметрии. Такие схемы могут быть выполнены как на биполярных [23], так и на МОП-транзисторах [43]. Для построения клю- ча с дополнительной симметрией необходимо использо- Рис. 3.9. Схемы ключей с дополни- тельной симметрией. вать пары транзисторов с различными типами проводи- мости (рис. 3.9). В таких схе- мах вместо коллекторных (сто- ковых) резисторов используют- ся транзисторы противополож- ного типа проводимости. В ста- тическом состоянии из двух по- следовательно включенных транзисторов один всегда от- крыт, а другой заперт. При изменении полярности напря- жения на входе ключа транзи- сторы меняют состояния. Бла- годаря отсутствию резисторов схема имеет низкое выходное сопротивление. В схемах с до- полнительной симметрией мощ- ность потребляется только во время переключения тран- зисторов. Для получения низкой мощности переключения напряжение питания Еп следует снижать до минимально возможной величины. При определении минимального Еи следует учесть, что пороговое напряжение для МОП- транзисторов с n-каналом обычно меньше порогового напряжения транзисторов с p-каналом. Для большинст- ва практических случаев, когда основными требования- ми остаются стабильность и быстродействие схемы, Еи должно быть значительно выше порогового напряжения МОП-транзистора с р-каналом. Основным недостатком рассмотренных ключей с до- 100
в том, что тран- Рис. 3.10. Схема микромощ- ного ключа на по- левых транзисто- рах с р—п-пере- ходом. полнительной симметрией является то, что в монолитном исполнении создать р—п—р- и п—р—п-биполярные транзисторные структуры или полевые транзисторные структуры с р- и n-каналами, т. е. совместить в твердом теле эти разные компоненты, является довольно слож- ной технологической задачей. Однако микромощный ключ, потребляющий мощ- ность только во время переходных процессов, можно выполнить и на двух однотипных транзисторах — поле- вых транзисторах с р—n-переходом (рис. 3.10), имею- щих раздельные выводы от затворов (алкатронах). Транзистор Т2 включен самым обычным образом, за- творы его соединены, и при подаче на них отрицатель- ного напряжения транзистор Т2 запирается. Основная особенность данной схемы заключается зистор Т1 работает по принципу бипо- лярного транзистора. Входной сигнал прикладывается непосредственно к ка- налу (исток и сток замкнуты), который выполняет функции базы биполярного транзистора, а р—n-периоды затво- ров— функции эмиттера и коллектора (функцию коллектора должен выпол- нять престриктор). При подаче отрица- тельного напряжения на канал р—п- переходы затворов смещаются в пря- мом направлении и инжектируют в канал носители, транзистор Т1 отпира- ется (биполярный транзистор входит в режим насыщения). Таким образом, при отрицательном входном сигнале транзистор Т2 заперт, а Т1 открыт. Напряжение на выходе схемы почти равно напряжению питания £п. При положительном сигнале на входе схемы транзистор Т2 открыт, а Т1 заперт. Напряжение на вы- ходе схемы близко к нулю. В статическом состоянии такая схема, как и ее ана- логи, практически не потребляет мощности, но в отли- чие от аналогов состоит из однотипных транзисторов и может быть легко реализована в интегральном испол- нении. В некоторых случаях во входную цепь транзи- стора Т1 рекомендуется включить резистор, а во вход- ную цепь транзистора Т2 — диод в пропускном направ- лении для отрицательного сигнала. 101
Еще одним способом построения микромощных тран- зисторных ключей может явиться использование в ка- честве коллекторного (стокового) питания напряжения синусоидальной формы. Характерной особенностью та- ких схем является возможность заменить нагрузочный резистор конденсатором [54]. В основе таких схем, питаемых переменным напря- жением, лежит ключ переменного напряжения (диодно- емкостной ключ) (рис. 3.11). В схеме используется га Рис. 3.11. Диодно-емкостной Схема ключа переменного на- пряжения. ключ. особенность, что цепь из последовательно соединенных емкости и диода в статическом состоянии не проводит ток (в том числе, и переменный). Так как при запертом транзисторе емкость заряжается через диод до величи- ны амплитуды напряжения питания, диод запирается и ток перестает течь через нагрузку. Когда транзистор открыт, через емкость протекают обе полуволны пере- менного тока, причем отрицательная полуволна прохо- дит через диод, а положительная — через транзистор. Таким образом схема позволяет коммутировать пере- менный ток, протекающий через нагрузку. В реальных схемах обычно используются ключи пе- ременного напряжения, выполненные по схеме с удвое- нием напряжения (рис. 3.12). На рис. 3.12 приведена схема такого ключа, выполненного на биполярной тран- зисторной структуре. Несмотря на питание от источника переменного напряжения, данные схемы обеспечивают выходной сигнал в виде постоянного напряжения (или прямоугольных импульсов). Диодно-емкостная цепь 102
в схемах представляет собой выпрямитель с удвоениеАм напряжения. Ключи переменного напряжения, выполненные на биполярных транзисторах, хотя и характеризуются ма- лыми потребляемыми мощностями, обладают рядом не- достатков. К ним прежде всего необходимо отнести следующий: поскольку нагрузкой ключа обычно явля- ется аналогичная схема, малые входные сопротивления биполярных транзисторов, во-первых, шунтируют выход- ные емкости ключей, что искажает форму выходного импульса и снижает^ его амплитуду, и, во-вторых, уве- личивают потребляемую схемой мощность. Кроме того, поскольку на выходной емкости ключа переменного на- пряжения всегда есть остаточное напряжение, для на- дежного запирания последующего ключа при непосред- ственной связи часто приходится использовать дополни- тельный источник напряжения. При запертом ключе выходное напряжение характеризуется большой пуль- сацией. Эти недостатки можно значительно уменьшить, ис- пользуя полевые (униполярные) транзисторы вместо биполярных. Лучшими эксплуатационными свойствами обладают схемы переменного напряжения, выполненные на МОП-транзисторах с индуцированным каналом. Для таких ключей при запертом транзисторе (t/3<[/0) на- пряжение на выходе [/выиш можно определить как У.„™1 = 2£™С,/(С, + С,). где Етп — амплитудное значение напряжения питания. Если на затвор транзистора подано отпирающее на- пряжение U3(U3^>U^t то напряжение на выходе ключа можно определить как Т1 _______cfC,_________ /q 1 q\ Ubmx 2nfrc (С, + C2) + 1 ’ где f — частота напряжения питания. При больших U3, когда выполняется условие гс < <1/2^0, и гс< выражение (3.19) можно пред- ставить как (3.20) 103
Подставляя (2.56) в (3.20), получим для открытого ключа ^вых~ k(U3-Uo) (3-21) При подаче отпирающего напряжения на затвор (U3>Uо) напряжение на выходе ключа будет изме- нять свое значение в течение периода напряжения пи- тания схемы (пульсация на вершине выходного импуль- са). Это обстоятельство от- ражается на характеристике UBbLx=f (, являющейся одной из основных для опре- деления возможностей ис- пользования ключа в логиче- ских схемах. Пульсации выходного на- пряжения находят свое от- ражение в утолщении кри- вой и превращении ее в об- ласть (заштрихованная об- ласть на рис. 3.13). Следует заметить, что пульсация выходного напря- жения падает при уменьше- нии частоты напряжения пи- тания. Кроме того, уменьше- ние Ci и увеличение С2 бу- дет также приводить к сни- жению пульсаций. Однако Рис. 3.13. Экспериментальная зависи- мость для клю- ча переменного напряжения на МОП-транзисторе с индуциро- ванным каналом при Cj = = 100 пФ, С2=200 пФ, f= = 100 кГц. в этом случае уменьшается амплитуда выходного им- пульса. Изложенное выше позволяет заключить, что с по- мощью рассматриваемой схемы можно изменять выход- ное напряжение от достаточно большой величины ^выхшах (в запертом состоянии транзистора) до доста- точно малых величин (в открытом состоянии транзи- стора). Оценим теперь мощность, потребляемую ключом пе- ременного напряжения. При запертом транзисторе по- требляемая мощность определяется лишь утечками схе- мы и поэтому, в первом приближении, ею можно пре- небречь. При открытом транзисторе (гс мало), если 104
пренебречь потерями на внутреннем сопротивлении источника* питания, потребляемую мощность Р можно представить как P = Emn/mcos?, (3.22) где cos <? =RI}TRi + (-\l2TfCiy. Если положить, что сопротивление стока является основным сопротивлением потерь в схеме, то, поскольку rc<C l/2n/Ci, после упрощений и преобразований форму- лу (3.22) перепишем как Р^гй(2пЕт^Сху. (3.23) Из (3.23) следует, что потребляемая мощность падает при уменьшении rc, f и Сь Подставляя (2.56) в (3.23), получаем окончательно P^40E^C\[k(U3-Uo), (3.24) откуда следует, что чем больше £/3, тем меньше потреб- ляемая ключом мощность. Поскольку при уменьшении частоты напряжения питания снижается потребляемая мощность, можно сде- лать вывод, что наиболее экономичный режим таких схем имеет место при низких частотах питающего на- пряжения. При работе МОП-транзистора в области пологой части характеристик (режим насыщения) схема пере- менного напряжения, подобная рассмотренной выше, мо- жет выполнять функции линейного усилителя. Однако в этом случае потребляемая схемой мощность может оказаться слишком большой для класса микромощных усилителей. Основное применение ключи, работающие от источ- ника переменного напряжения, находят в различного ро- да логических схемах. Так, в схеме триггера перемен- ного напряжения (рис. 3.14) роль диода выполняет р—n-переход сток — подложка МОП-транзистора. Пер- вое устойчивое состояние определяется нулевым напря- жением на затворе, что соответствует открытому состоя- нию МОП-транзистора со встроенным каналом п-типа (малое сопротивление канала). В этом состоянии на выходе имеем напряжение, близкое к нулю, которое определяется, в принципе, соотношением между сопро- 8—232 105
тивлением канала и реактивным сопротивлением емко- сти Ci на рабочей частоте. При малом сопротивлении канала МОП-транзистора потребляемая мощность близ- ка к нулю. Переход из первого устойчивого состояния во второе начинается с момента подачи на вход устройства на- пряжения отрицательной полярности. При этом сопро- тивление канала возрастает и при напряжении на входе по модулю, большем, чем напряжение отсечки МОП-транзистора, происходит пере- брос триггера во второе устойчивое состояние. Ток, протекающий через р—n-переход сток—подложка, за- ряжает емкость С2, причем поляр- ность выпрямленного напряжения соответствует полярности входного Рис. 3.14. Схема триггера пере- менного напряжения. напряжения. Следует заметить, что в решении некоторых задач автоматики и вы- числительной техники наиболее вы- годным является использование многозначной (k-значн ой) системы счисления. Однако создание многостабильного логиче- ского элемента на основе потенциального представле- ния числа является сложной задачей. Для запол- нения чисел в й-значной системе счисления представ- ляет интерес использование свойств релаксационных и других делителей частоты сохранять неизменной фазу выходного сигнала. Фаза как носитель запоминаемого числа удобна для сравнения: например, фазовый сдвиг удобно измерять временными интервалами. Кроме того, запоминающие устройства такого рода достаточно про- сты. В качестве делителя частоты удобно использовать мультивибратор с коэффициентом деления k^8 [44]. Преимущества такого метода с точки зрения снижения габаритов и потребляемой мощности можно оценить из простого сравнения. Чтобы произвести деление на 8 в цепочке триггеров, необходимо использовать в три раза больше транзисторных структур, чем для построения мультивибратора с k=8, причем мощности, потребляе- мые отдельными транзисторными структурами, прибли- зительно одинаковы как в триггере, так и в мульти- вибраторе. 106
3.3. Транзисторные усййигёлн При использовании транзисторов в микромощных аналоговых устройствах прежде всего следует учитывать специфику их работы в микрорежиме. Рассмотрим осо- бенности применения транзисторов в схемах ми- кромощных усилителей. На стабильность рабо- чей точки в микро-мощном усилителе на биполярном транзисторе в основном влияют те же факторы, что и в усилителях, рабо- тающих в номинальных режимах (приращения об- ратного тока коллектор- ного -перехода Д/КБ0, на- пряжения на эмиттерном переходе Д/7БЭ и коэф- фициента передачи). Од- нако расчетные формулы д'ля микромощного усили- теля будут несколько отличаться от обычно принятых. Это отличие прежде всего вызвано большой величиной статического сопротивления эмиттерного перехода /?эп. Приращение тока коллектора в результате изменения напряжения на эмиттерном переходе Д/'к с учетом вели- чины 7?эп можно представить как (3.25) дг, __ Д^ЭБ^21Э К — (Яэ + /?эп) (Л21Э + 1) + /?б ’ где /?э, Кб — сопротивление в цепи эмиттера (рис. 3.15) и эквивалентное сопротивление в цепи базы. При выполнении условия (А21Э+0 (*.+*») (3.26) формулу (3.25) можно записать как Д/'к==Д[/БЭ/(/?э + /?м). (3.27) Приращение тока коллектора вследствие изменения коэффициента передачи транзистора по току Д/"к 8* 107
с учетом #эп можно представить так; г А^21Э (*э + ЯЭп + Кб) * Б (Яэ+Яэп) (Л21Э+0+^б ‘ При выполнении условия (3.26) формулу (3.28) (3.28) можно (3.29) представить в виде д/" J к Б Л21Э Яб Яэ + Яза / 0 + Если усилитель построен на микромощном биполярном транзисторе, основным требованием к которому является малый обратный ток (или усилитель работает при (7КБ = = 0), то для микроамперного диапазона рабочих токов иногда можно пренебречь влиянием Д/КБО на^стабильность рабочей точки усилителя (в сравнении саД/'к и Д/"к). Учитывая изложенное выше, определим изменение Д/к под действием температуры как сумму Д/'к и М"к- Тогда после преобразований получим , __ j Д^21Э । ^БЭ + (А^21э/^21э) К _ 76 Яэ+Яэп (3.30) В том случае, когда приращение обратного тока Д/КБ0 существенно влияет на стабильность рабочей точки, следует пользоваться более общей формулой [45] А 7к= Uв 4“ 7кбо) й21Э 4“ А^кбо 4" ! ^БЭ + Яб [(/Б + Л{Б£>) (^21э/^21э) + А^КБо) 4 *э + «эп (3.31) У маломощных планарных кремниевых транзисторов при изменении температуры в диапазоне — 60...-|-80oG Д/КБО = 50... 100 нА, а отношение Дй21Э/й21Э = 0,4 ... 0,55 при /к = О,2...2О мкА. Величину Д1/БЭ обычно представ- ляют как произведение температурного коэффициента напряжения (ТК.Н) на диапазон рабочих температур. В планарных кремниевых транзисторах для микрорежи- ма ТКН^—3 мВ/°C. При проектировании микромощного усилителя на по- левом транзисторе для выбора стабильной рабочей точ- 108
ки необходимо учитывать температурную и временную нестабильности тока стока, которые рассмотрены в гл. 2. Коэффициент усиления по напряжению каскада уси- лителя Ки на биполярном транзисторе можно предста- вить в виде Ки=Л,эт£^. (3-32) где RK— сопротивление в цепи коллектора; 7?н и Rr— сопротивления нагрузки и генератора. При /?г<Лцэ и Rk^Rh, что довольно часто выпол- няется в микромощных усилителях, формула (3.32) упростится: Ku = h2Mhn9). (3.33) Учитывая, что /БЛ21э = А<? подставим (1.37) и (1.51) в (3.33). Тогда после преобразований получим Ku—I kRk/ #Мрг. Формулу (3.34) нетрудно также получить, используя формулы (1.24) или (1.52). Изложенное выше позво- ляет заключить, что при за- данных условиях коэффици- ент усиления по напряже- нию (микромощного усилите- ля на биполярном транзисто- ре практически не зависит от ^219 и линейно возрастает при увеличении тока коллек- тора (рйс. 3.16). При =const имеет место посто- янное усиление каскада, ко- торое является специфичным для микрорежима. Однако может оказаться, что значения 7?к и -Rr и Лпэ являются соизмеримы- ми. В этом случае желатель- но выбирать биполярные транзисторы с большим h2\Q. Кроме того, такие транзи- (3.34) Рис. 3.16. Экспериментальные зависимо- сти ai7=/(/k) для каскада ми- кромощного усилителя на би- полярном транзисторе. 109
сторы в микрорежиме позволяют получать в микромощ- ных усилителях большие коэффициенты усиления по то- ку и мощности. Коэффициент усиления по напряжению каскада уси- лителя, выполненного на полевом транзисторе, включен- ном по схеме с общим истоком, можно представить в виде ^=ад/(/-с+^). (3.35) где /?с — сопротивление цепи стока. Для микромощного усилителя на МОП-трапзисторе эту формулу можно представить, подставив в нее (2.54) и (2.63). Тогда (/р /Г / 1 М Rc + (3,36) Если положить, что т2^т4, то формулу (3.36) можно представить в виде /Г / /pi 4 1 (3.37) Формула (3.37) справедлива для микромощного усили- тельного каскада, выполненного не только на МОП, но и на полевом транзисторе с р—п-переходом. Из этой формулы следует, что с уменьшением тока стока коэф- фициент усиления по напряжению в микромощном уси- лителе на полевом транзисторе уменьшается. Однако Ки для низкочастотных усилителей можно повысить, увели- чивая сопротивление Rc, тем более, что с падением /с уменьшается напряжение насыщения. Последнее обстоя- тельство позволяет заключить, что при использовании Ro больших номиналов в микромощных усилителях можно получить коэффициент усиления даже большей величи- ны, чем в усилителях, работающих в номинальных ре- жимах. Если в формуле (3.35) положить r^Rc, что часто выполняется на практике, то получим Kt-=5/?c. (3.38) 110
Подставив (2.42) или (2.51) в (3.38), получим для по- левого транзистора с р—«-переходом или для МОП- транзистора Ку==АА/тп?г; (3.39а) X{/==Zc₽c/«tM?r. (3.396) Следует заметить, что формула (3.39а) справедлива для /с^50 мкА, а (3.396) — для /с<5 мкА. Эти форму- лы практически полностью повторяют выражение (3.34), и соответственно можно повторить сделанный выше вы- вод об усилителях на биполярных транзисторах. Экспе- рименты, проведенные на образцах различных типов биполярных транзисторов, полевых транзисторов с р—п- переходом и МОП-транзисторов, показали справедли- вость полученных выражений. Таким образом, можно сделать вывод, что коэффи- циент усиления каскада микромошного усилителя по напряжению (при /к и /с<5 мкА, практически не зависит не только от выбора образца и типа транзи- стора, но и от принципа работы усилительного полупро- водникового прибора (биполярный транзистор, МОП- транзистор и полевой транзистор с р—п-переходом). Выходное сопротивление каскада на МОП-транзисто- ре в микрорежиме можно представить в следующем виде: ^выХ = ''сЛ/кс.+^с(/с//с1)т']> откуда следует, что с уменьшением тока стока 7?Вых возрастает. Аналогичное выражение может быть записа- но не только для полевого транзистора с р—«-перехо- дом, но и для биполярного транзистора. В реальных усилителях последовательно с эмитте- ром (истоком) обычно включается сопротивление Ra (Rii), которое создает отрицательную обратную связь. Если необходимо только стабилизировать рабочую точ- ку усилителя, то эго сопротивление или часть его шун- тируют емкостью. С учетом отрицательной обратной связи коэффициент усиления по напряжению можно представить в следующем виде: Ku=IcRd (/с^и+^мфт). (3.40) Эту формулу можно также использовать для расчета усилительных микромощных каскадов, -выполненных как III
Рис. 3.17. Типовые зависимости /г21э = = f (^кэ) для маломощного планарного транзистора при /Б —50 нА. на МОП-, так и на полевых транзисторах с р—«-перехо- дом (тм следует заменить на тп) и биполярных тран- зисторах (тм следует заме- нить на тк, а 1с, /?с> Ки — на /к, RK, Кэ) . Следует заметить, что формула (3.40) указывает на слабую зависимость Kv= —f(Ic) при достаточно глу- бокой отрицательной обрат- ной связи. Для построения микро- мощных усилителей можно использовать маломощные биполярные планарные тран- зисторы при работе их в предпробойной области, т. е. при напряжениях, близких к напряжению лавинного пробоя коллекторного пере- хода. В этой области за счет лавинного размножения ча- сти носителей коэффициент передачи тока может значи- тельно увеличиваться. Использование транзисто- ра в микро- и наноампер- ном диапазоне токов в режиме, близком к лавинному пробою коллекторного перехода, не опасно ввиду боль- шого запаса по предельным мощностям и токам. В свя- зи с этим появляется возможность, обеспечивая надеж- ную работу транзистора, получить большие малосиг- нальные коэффициенты в микро- и наноамперном диапазоне тока. Из рис. 3.17 видно, что в предпробой- ной области (при больших (7КЭ) коэффициент переда- чи й21э значительно возрастает. Температура окружаю- щей среды оказывает, по крайней мере, не большее влияние на величину /z2t9, чем при номинальных 1/кэ. Таким образом, выбирая напряжение источника пи- тания, сопротивление нагрузки и ток базы, которые должны обеспечить работу транзистора в предпробой- ной состоянии при необходимом токе коллектора, мож- 112
йо ОкОйструиройаТЬ МИкромощный усилитель. Зависи- мости, представленные на рис. 3.18, позволяют оценить область, где описываемый режим характеризуется луч- шими усилительными свойствами. В гл. 1 было показано, что режим насыщения би- полярного транзистора для микроамперного диапазона рабочих токов характеризуется определенными усили- тельными свойствами. Из рис. 1.11 видно, что при /к=0 на участке CD величина остаточного напряжения £7°0Ст Рис. 3.18. Исследуемая схема и экспериментальные зависимости Кт, Ки = при Лк=1 МОм, /Б =50 нА. Рис. 3.19. Схема микромощного усилителя. Схема составного транзи- стора на биполярных структурах. сильно зависит от тока базы. Это позволяет использо- вать режим /к=0 в биполярном транзисторе для уси- ления напряжения. На рис. 3.19 приведена схема мик- ромощного усилителя, состоящая из биполярного и МОП-транзисторов. Такое сочетание транзисторов вы- брано в связи с тем, что, поскольку входное сопротивле- ние последнего велико, он практически не шунтирует 113
выходной сигнал, поступающий с биполярного транзи- стора. Биполярный транзистор работает без коллекторного питания в режиме малых токов базы (десятые доли мик- роампер). В отсутствие управляющего сигнала на вход биполярного транзистора подается постоянное напряже- ние, обеспечивающее необходимый ток базы (обычно середина участка CD). Это соответствует определенно- му выходному напряжению биполярного транзистора или входному напряжению МОП-транзистора U3. При подаче управляющего сигнала на биполярный транзи- стор будет изменяться и U3, что в конечном счете при- ведет к изменению выходного напряжения всего усили- теля. Коэффициент усиления по напряжению биполяр- ного транзистора в такой схеме может составить Ки=5... 10 при рассеиваемой мощности порядка 0,3 мкВт. Таким образом, подобное сочетание биполярного транзистора с полевым практически не увеличивает мощность, рассеиваемую всей схемой усилителя (мощ- ность, рассеиваемая полевым транзистором в микроре- жиме, составляет 30... 50 мкВт), но позволяет увели- чить коэффициент усиления по напряжению в 5... 10 раз. Из техники номинальных токов известен способ по- вышения коэффициента передачи за счет непосредствен- ного соединения двух транзисторных структур, которое принято называть составным транзистором (рис. 3.20). Нетрудно показать, что при Л21Э| и Л21Э2 > 10 коэффи- циент усиления составного транзистора по току Л21Э1 можно представить как ^21ЭЕ = ^2131 ^2132» (3.41) где Л21Э1, ^21Э2 — статические коэффициенты усиления по току первой и второй транзисторной структуры состав- ного транзистора. Рассмотрим зависимость Л21Э2. от выходного тока со- ставного транзистора в микрорежиме. Полагая, что со- ставной транзистор состоит из одинаковых структур, работающих в разных режимах, перепишем формулу (1.33) для первой структуры в виде ^2131 -^21311 (Ли/^Кп)”’ (3.42) 114
где т = (тб — тк)[тб; й21Э11 — статический коэффициент передачи первого транзистора по току при /К) = /К11. Для h2132 — f(IK2) может быть записано выражение, аналогичное (3.42). Поэтому формулу (3.41) можно пере- писать как ^21эх = (^21эп/ /%)* (3.43) Поскольку % IvJh',raf), можно записать • х\ 1 x\Z< I =lm 7К1—1 К111К2 /"21Э11* Теперь (3.43) нетрудно привести к виду ^21Э2 = ^21911 (^К2/^К11)гт • (3-44) Поскольку /кг^/кь то ток коллекторной цепи состав- ного транзистора /к^кг- С учетом последнего, раскрыв значение т, получим окончательно • /И» 1 й2,э,? -А • <3.45) Формула (3.45) дает возможность определить Л21Э5. составного транзистора в микрорежиме при любом зна- чении тока коллектора (рис. 3.21). Эти зависимости на- ряду с формулами (3.42) и (3.45) дают возможность заключить, что использование составного транзистора в микрорежиме позволяет значительно повысить стар- ческий коэффициент передачи тока. Дифференциальный коэффициент передачи тока составного транзистора A219S можно определить аналогичным образом, исполь- зуя соотношение (1.37): тб+тк т*б-тк I \ 6 к \ 6 21 эе тк 21Э11) I /ки I (3.46) Формула (3.46) показывает, что изложенное выше отно- сительно й21Э2 справедливо и относительно Л21э5. Таким образом, при одной и той же потребляемой мощности (одном и том же токе коллектора) примене- ние составного транзистора вместо одного биполярного 115
позволяет значительно увеличить коэффициент усиления по току микромощного усилителя. Кроме того, большие значения Л21эЕ при прочих рав- ных условиях позволяют за счет уменьшения тока покоя в цепи базы увеличить входное сопротивление усилителя приблизительно в h^3}X (/к//кп)0’2 раз. Следует заметить, что число транзисторных структур составного транзистора может быть и больше двух (три, четыре и т. д.). Однако применению таких составных Рис. 3.21. Экспериментальные зависимости ^21Э и ^21Э^ == /(^к) Для мало- мощных планарных кремниевых транзисторов. транзисторов в микрорежи- ме препятствуют значитель- ные величины неуправляе- мых токов. С этой точки зрения применение состав- ных транзисторов, состоящих Рис. 3.22. Включение моду- ляторного транзи- стора по схеме составного. даже из двух биполярных структур, целесообразно толь- ко в том случае, когда обратные токи р—/г-переходов имеют весьма малые величины. Для практики в качест- ве составного транзистора удобно использовать модуля- торный транзистор (рис. 3.22), выполненный по планар- ной технологии. Имея малый неуправляемый ток, моду- ляторные транзисторы, включенные по схеме составного транзистора, обладают достаточно хорошими эксплуата- ционными параметрами при работе как в микро-, так и в наноамперном диапазоне рабочих токов. Если необходимо большое входное сопротивление, то иногда используют составной транзистор, входной струк- турой которого является полевой транзистор (рис. 3.23). Для этой схемы можно записать dIc = dU3S-\-dU3Sh2A3 или Sy=dIJdU3=S-{-Sh2i3. При /г21э>Ю выражение для крутизны составного транзистора можно предста- 116
вить в виде 5е=5й21э. (3.47) Раскрыв значения S и Л21э в формуле (3.47), получим S =J25-S /г (Zci_yYAlV , (3.48) S тк И21эи^/спу ^/Kn I > НО, ПОСКОЛЬКУ 1С1 /К2М21Э, то /с. = 'и '«.Aar <3-«) Подставив (3.49) в (3.48) и положив /кп=/си; /к=/кг. после проведения преобразований получим , / /гл \тл—тт^т (3-50) В формуле (3.50) ток /к практически равен выход- ному току составного транзистора (току стока состав- ного транзистора), поэтому эта формула описывает за- висимость крутизны составного транзистора Ss от вы- ходного тока (будем обозначать его /с). Для работы при токах 1с и /к<1 мкА можно положить /п2=^1, ^0,5. В этом случае формулу (3.50) можно переписать как = 2Sn (/С//С11). (3.51) Из (3.51) следует, что использование составного транзистора с выходной МОП-структурой при микро- токах практически не позволяет увеличить крутизну от- носительно одиночного МОП-транзистора [46]. Прове- денные эксперименты показали, что крутизна составного транзистора имеет различимо большую величину, чем крутизна одиночного МОП-транзистора, лишь при вы- ходных токах /с> Ю мкА. Последнее позволяет сделать вывод, что преимущества составного транзистора (на полевой и биполярной структурах), имеющие место в номинальных режимах работы, утрачиваются при пе- реходе в микрорежим. Частотные свойства микромощных усилителей во многом определяются частотными параметрами транзи- сторов. Поскольку граничные частоты усиления транзи- сторов в микрорежиме не превышают единиц мегагерц, то можно заключить, что микромощные усилйтели в ос- новном могут быть пригодны лишь для усиления низкой частоты. 117
Если основным параметром, определяющим частот- ные свойства микромощных усилителей, является вы- ходная емкость устройства, то можно добиться некото- рого улучшения частотных свойств усилителя путем использования схемы с до- полнительной симметрией или каскодной схемы [23] (рис. 3.24). Эта схема позво- ляет значительно уменьшить общую емкость. При этом Рис. 3.24. Схема каскодного ми- кромощного усилителя. Рис. 3.23. Схема составного тран- зистора на МОП- и на биполярной структурах. обеспечивается значительно большая ширина полосы про- пускания при том же значении коэффициента усиления по мощности и лишь незначительное возрастание мощ- ности потребления в сравнении с каскадом ОЭ. Данную схему можно рассматривать в качестве общего вариан- та усилителя с общим эмиттером, рекомендуемого для применения в микромощных устройствах [23]. При конструировании микромощных усилителей низ- кой частоты основным требованием является макси- мальное уменьшение мощности, потребляемой и рассеи- ваемой усилителем, при заданном коэффициенте усиле- ния. Поскольку при уменьшении потребляемой мощно- сти ухудшаются усилительные свойства, увеличить коэф- фициент усиления микромощных усилителей следует, повысив либо рабочие токи, либо число каскадов в уси- лителе. Для выбора оптимального количества каскадов и режима их работы при минимальной потребляемой усилителем мощности Ру и заданном коэффициенте уси^ ления по напряжению КУи рассмотрим связь между па’ раметрами Р? и Куц. 118
Мощность Р, потребляемая каскадом мйкроМоЩйого усилителя, определяется как [23] Р = £к(/э+/см), (3.52) где /см — ток, иротекающий в цепи смещения усилителя. Положив /СМ=Л/Э (где Л — безразмерный коэффи- циент, зависящий от номиналов резисторов в цепи сме- щения), перепишем формулу (3.52) в виде Р = Ек7э(Л4-1). (3.53) Коэффициент усиления по напряжению каскада усили- теля (3.32) представим как ^ = A!19Q. (3.54) где Q = (РК || Ян)/(Яг+Л1э). а ’коэффициент Л21, (см. гл. 1) представим, положив /пк = 1, как h^ = DIma, (3.55) где Р=тбЛ2|Э1//'лЭ1; m = (mjn6— та)1тб. Подставляя (3.55) в (3.54), находим (3.56) Для усилителя, состоящего из п однотипных каска- дов, можно записать Ру = п£к/э(Л+1); (3.57а) KyU = DnQnl™. (3.576) Решая уравнение (3.576) относительно тока /э, получаем 4=^m7M1/m- (3-58) Подставив (3.58) в (3.57а), имеем <3-59> Полагая Q=const, продифференцируем выражение (3.59) по п, приравняем полученное выражение нулю и, решив его относительно п, получим оптимальное коли- чество каскадов nOpt, при котором микромощный усили- тель на биполярных транзисторах потребляет минималь- ную мощность: nopt=ln Кур/т. (3.60) Таким образом, при известном т (для маломощных планарных кремниевых транзисторов обычно /п=0,3... ...1) величина коэффициента усиления Куи ориентиро- 119
йочмо определяет йбЛйяёстйб бДйбТйййыя шщов в микромощном усилителе, при котором потребляемая мощность минимальна. Подставив (3.60) в (3.576), мож- но определить величину /э для каскада усилителя, а за- тем с помощью (3.57а) найти мощность, потребляемую усилителем. Следует заметить, что изложенное выше справедли- во лишь для НЧ усилителей, в которых ухудшение ча- стотных свойств транзисторов с уменьшением потреб- ляемой мощности не влияет на коэффициент усиления в рабочем диапазоне частот. Если микромощный усилитель выполнен на МОП- транзисторах, то, используя приведенную выше методи- ку и формулу (3.37), можно ориентировочно определить и оптимальное количество каскадов nOpt, при котором усилитель для заданного Куи потребляет минимально возможную мощность [47]. В этом случае /Суи/Ш4. (3.61) При работе в глубоком микрорежиме (/к и /с< <5 мкА), используя приведенную выше методику и формулы (3.34) и (3.39), можно получить ^opt^^lri /Cytr. (3.62) Формула (3.62) дает возможность ориентировочно определить количество каскадов низкочастотного микро- мощного усилителя (/к и /с<5 мкА) для заданного коэффициента усиления независимо от того, на каких транзисторах выполнен усилитель (биполярных, полевых с р—n-переходом или МОП-транзисторах). 3.4. Транзисторные повторители Во многих устройствах радиоэлектроники широкое распространение получили эмиттерные повторители. Они используются как согласующие промежуточные каска- ды, как выходные каскады, нагруженные на низкоом- ную нагрузку, как входные каскады с большими вход- ными сопротивлениями. Однако при переходе в микро- режим эксплуатационные свойства эмиттерного повто- рителя могут значительно измениться. Специфичность параметров и свойств микромощного эмиттерного повторителя (рис. 3.25) во многом опреде- ляется параметрами транзистора, на котором он выпол- 120
йей. Это йрёжде ficefo бтйоситсй к коэффициенту йерё- дачи тока Л21э, который довольно сильно уменьшается с падением тока, и сопротивлению эмиттерного перехо- да, которое, возрастая с уменьшением тока, имеет а) 6) Рис. 3.25. Принципиальная (а) и эквивалентная (б) схема эмиттерного повто- рителя. в микрорежиме достаточно большие величины (десятки килоом и больше). Входное сопротивление микромощного эмиттерного повторителя 7?Вх на небольших рабочих частотах (без учета влияния емкостей) можно представить исходя из эквивалентной схемы (рис. 3.25,6): = (Л21э+ 1) Гк II ('» +*э II Ян)]. (3.63) Если ПОЛОЖИТЬ, ЧТО и Г*кЗ>Гэ, ТО ^ВХя»(^21э + 1 ) (^э + -/?э) • (3.64) Раскрывая значения Л21э и Ъ для микрорежима, пос- ле преобразований получим при /пк=1 ^вх — отб^21Э1 т т^-т. э б э ^Э1 т6 m3fT тб-’пэтб+тэ Г б э +-ад тб у (3-65) Первое слагаемое в скобках выражения (3.65) возра- стает с уменьшением тока, а второе — уменьшается. Поэтому заключаем, что входное сопротивление при за- данном имеет минимум своего значения при опреде- ленном (критическом) токе эмиттера /э . Действительно, взяв первую производную по /э и приравняв полученное выражение нулю, после преобразований получим 9—232 121
f *Мт ("»б—+ Экр— /?9 (тботэ _ т3) (3.66) Таким образом, задавшись /?9, можно по формуле (3.66) определить ток эмиттера, при котором Rm будет мини- мальным, причем чем больше Т?9, тем меньше /Экр. Под- ставив в (З.бб) реальные значения параметров т для ма- ломощных планарных кремниевых транзисторов, получим, что Т?9 = 100 кОм /Экр = 0,1... 1 мкА. Подставляя (3.66) в (3.65), получаем выражение для определения минимального входного сопротивления при заданном R3 р _______ /хвх min тб^21Э\ I 6 7Э1 /ИэТг тб~тэтб^тэ тб "t3fT(m6 — m3m6+m3 1 «э («б^э — т3) J тэтб-тэ тб , Г т3чТ (тб— тэтб+т3)' э R9 (т^пэ — даэ) (3.67) Воспользовавшись эквивалентной схемой рис. 3.25,6, определим коэффициент передачи напряжения для мик- ромощного эмиттерного повторителя Ки- При выполне- нии условий г*к>га и формула для определения К.и запишется как (^21э 4* 0 Rs и= Яг+(А21Э+1) (Лэ + Гэ) (3.68) Из (3.68) следует, что когда Rr^ (Aaia+l) № + +гэ) и Ra^rg. При выполнении последнего неравенства и при /пк=>1 формула (3.64) примет вад т m^-tn э б э /?bx^^6A2131^(4/4i) 6 (3.69) С помощью эквивалентной схемы выходное сопро- тивление микромощного эмиттерного повторителя мож- но представить как 122
/?ВЫХ=[/'э + Лг/ (^21э+ 1)] 11^3. (3.70) При r^Rrl (й21э+1), раскрыв значения гэ, получим ^вых = 'Пэ?Л/(/Пэ?г + /Э/?э). (3.71) а при /?,> г, ^вых т,?г//э. (3.72) Из формул (3.71) и (3.72) следует, что выходное со- противление микромощного эмиттерного повторителя возрастает при уменьшении тока эмиттера. Для определения согласующих свойств микромощно- го эмиттерного повторителя рассмотрим зависимость Явх/#вых от тока эмиттера. Используя (3.69) и( 3.72), получаем т9тб~т9+тб ^вх_= AL тб , (3.73) АвыХ тэтб-тэ где Л=тбй2]Э|7?,/тэ<рг/Э1 тб —коэффициент, слабо за- висящий от тока. Из (3.73) следует, что согласующие свойства микро- мощного эмиттерного повторителя значительно ухудша- ются с падением тока эмиттера. При увеличении Ra согласующие свойства повторителя можно улучшить уве- личивая 7?вх. При этом будет повышаться и коэффициент передачи напряжения. Однако увеличение 7?Вх и Ки при- ведет к выигрышу лишь на достаточно низких частотах. Из сказанного выше следует, что в микромощном эмиттерном повторителе при уменьшении рабочих токов выходное сопротивление возрастает, а коэффициент передачи напряжения уменьшается. Следует заметить, что с уменьшением тока возрастает гк (1.53). Поэтому максимальное 7?Вх в микромощном эмиттерном повтори- теле с уменьшением рабочего тока можно получать большей величины (до десятков мегом). Основным требованием к микромощным усилителям является получение максимального коэффициента уси- ления при минимальной потребляемой мощности, а ис- пользование эмиттерных повторителей, хотя и несколько увеличит усиление, но повысит потребляемую мощность [48]. Поэтому применять эмиттерный повторитель в мно- 9* 123
гокаскадном микромощном усилителе при сохранении заданной потребляемой мощности не всегда рациональ- но, тем более, что согласующие -свойства микромощного эмиттерного повторителя, как было показано выше, рез- ко ухудшаются с падением рабочего тока. Некоторого увеличения коэффициента усиления в многокаскадном усилителе с эмиттерным повторите- лем можно достичь увеличивая Однако ухудшение согласующих свойств микромощного эмиттерного повто- рителя с уменьшением рабочих токов приводит к весьма ограниченному использованию этой возможности. Применение составных транзисторов для схем микро- мощных повторителей менее эффективно, чем для мик- ромощных усилителей. Хотя повторители на составных транзисторах и позволяют получать заданные входные сопротивления при меньших, чем в обычных микромощ- ных эмиттерных повторителях, сопротивлениях /?э, мак- симально возможное входное сопротивление у них ока- зывается меньшим, чем у обычных эмиттерных повтори- телей. Это определяется уменьшением эквивалентного сопротивления коллекторного перехода у составного транзистора по сравнению с сопротивлением коллектор- ного перехода эмиттерного повторителя на одном тран- зисторе. Для получения большого входного сопротивления можно использовать полевой транзистор. Изменение ре- жима работы истокового повторителя практически не будет влиять на величину входного сопротивления. Однако выходное сопротивление истокового повторителя во многом будет определяться величиной тока -стока. Для истокового повторителя можно записать ^вых= (Src+l)k + rc (3‘74) Подставив '(2.54) в (3.74), получим для микромощ- ного истокового повторителя ^вЫХ = (1/51)(/С1//сГ- (3-75) Из формулы (3.75) следует, что выходное сопротив- ление истокового повторителя возрастает с уменьше- нием тока -стока. Следовательно, в микромощном пото- ковом повторителе выходное сопротивление имеет боль- шие значения и, следовательно, согласующие свойства повторителя ухудшаются. 124
При /с<5 мкА формулу (3.75) можно переписать как [49] /?ВЫХ= (3.76) Формула (3.76) почти полностью повторяет выраже- ние (3.72), что позволяет сделать вывод о слабой зави- симости выходного сопротивления повторителя от вы- бора усилительного полупроводникового прибора. 3.5. Особенности использования оптронов в транзисторных устройствах Основой оптоэлектронных устройств является использование светового луча для передачи и обработки информации. Реализация оптической связи в электронных цепях позволяет по-новому, более эффективно решать многие вопросы электронной техники. Элемент- ную базу оптоэлектроники составляют источники света, оптические среды и фотоприемники [50]. Управляемый источник света и фото- цриемник, находящиеся в определенной связи друг с другом, обра- зуют оптоэлектронную пару, которая составляет основу элементар- ного оптрона. Характеристики и параметры оптоэлектронной пары определяют характеристики и параметры оптоэлектронных цепей в целом. Поэтому выбор подходящей пары является одним из ос- новных вопросов оптоэлектроники. Оптрон является структурным элементом цепей оптоэлектрони- ки, подобно тому, как транзистор является структурным элементом цепей транзисторной электроники. Элементарные оптроны в зави- симости от их структуры и выбранной оптоэлектронной пары раз- личаются своими характеристиками и параметрами, что позволяет собирать из них оптоэлектронные схемы и системы различной слож- ности и назначения. В качестве источников излучения в оптронах чаще всего ис- пользуются светодиоды (излучающие диоды). Наилучшими пара- метрами для работы на малых токах из серийных светодиодов об- ладают диоды, выполненные на основе арсенида галлия (GaAs), ко- торые имеют удовлетворительные характеристики при токах /сд^ ^=100 мкА [51]. В лабораторных образцах светодиодов на основе гетеропереходов удается получить стопроцентный внутренний кван- товый выход даже при плотностях токов примерно 5-10“4 к/см? [52], т. е. такие светодиоды являются работоспособными даже в наноамперном диапазоне токов. В качестве фотоприемников в оптронах могут быть использова- ны различные полупроводниковые фотоэлектрические приборы: фо- торезисторы, фотодиоды, фототранзисторы, фототиристоры и т. д. [50]. Наибольший интерес при работе на малых токах, на наш взгляд, представляет оптрон с фотоприемником в виде фотодиода [53]. Следует отметить, что различные фототранзисторы и фото- тиристоры можно представить комбинацией фотодиода в качестве одного из переходов и обычных транзисторов и тиристоров соот- ветственно, т. е. эффект фотоэлектрического преобразования здесь можно рассматривать основываясь на фотодиоде, а остальную структуру фотоприемника представить известными электрическими характеристиками. 125
Поскольку в рабочем состоянии светодиод всегда смещен в пря- мом направлении, режим работы оптрона светодиод — фотодиод обычно определяется режимом работы фотодиода. На выходной вольт-амперной характеристике оптрона (рис. 3.26) область, лежа- щая в квадранте ///, соответствует фотодиодному режиму работы оптрона (фотодиода); область, лежащая в квадранте /и —фото- гальваническому (вентильному) режиму, а область, лежащая в квадранте /, — фото диффузионному режиму [53]. Рис. 3.26. Выходная вольт-ам- перная характеристи- ка оптрона при раз- личных токах свето- диода /Сд; /о—темно- вой ток фотодиода. Наиболее широко используется фотодиодный режим оптрона [50]. В этом режиме на фотодиод подается напряжение обратной полярности, т. е. р—п-п&р&юц фотодиода смещается в обратном направлении. Малый коэффициент передачи такого оптрона (Кп= =0,01 ... 0,04) — основной его недостаток, поэтому на выходе оптро- на часто приходится использовать дополнительный усилитель. Фотодиффузионный режим оптрона характеризуется тем, что напряжение прямой полярности приложено не только к светодиоду, но и к фотодиоду. На выходной характеристике оптрона светодиод— фотодиод, работающего в фотодиффуз ионном режиме, в некоторых случаях удается получить участок отрицательного сопротивле- ния [53]. Наибольший интерес для микромощной электроники представ- ляет фотогальванический режим работы фотодиода в оптроне. При освещении р—n-перехода фотодиода возникает фото-э. д. с., кото- рую принято называть вентильной. Основным преимуществом фото- диодов, работающих в фотогальваническом режиме, является отсут- ствие обязательных источников питания (режим работы фотодиода без внешнего источника питания). Вентильное напряжение на фо- тодиоде может достигать десятых долей вольта. Это напряжение возрастает при увеличении тока светодиода и уменьшается при увеличении тока нагрузки фотодиода. Передаточная характеристика для такого режима, т. е. зависи- мость вентильного напряжения UB на выходе оптрона от входного тока (тока светодиода) /Вх описывается следующим выражением: 126
Ув = «Ф?т In [(Хп/вх+ /.)//.]. (3-^) где /Пф=1...1,5 — безразмерный коэффициент; /о — темновой ток фотодиода. Зависимость Кп=/(/вх) можно представить в виде Kn»Xni(W/«i)e’\ (3.78) где Kni—коэффициент передачи оптрона при /bx=/bxi; k— без- размерный коэффициент, равный 1... 3 для оптрона GaAs — Si. Из формул (3.77) и (3.78) следует, что с уменьшением вход- ного тока передаточные характеристики оптрона ухудшаются. Оптроны светодиод — фотодиод, работающие в фотогальвани- ческом режиме, можно использовать для идеальной развязки микро- мощного усилителя как по цепи управления, так и по цепи пита- ния [53], причем расчетные формулы для определения микромощ- ного усилителя с оптроном в цепи управления практически повто- ряют (3.34) и (3.39), что позволяет сделать вывод о слабом влия- нии параметров оптронов на характеристики усилителя, как и пара- метров транзистора, В некоторых случаях бывает необходимо получить два напря- жения, равных по величине относительно корпуса, но противополож- ных по фазе. Обычный фазоинверсный усилитель на одном тран- зисторе всегда имеет коэффициент усиления по напряжению меньше единицы, потому что по истоковому выходу всегда Кц<1 (за счет отрицательной обратной связи), а коэффициенты усиления по обо- им выходам должны быть равны по абсолютной величине. При использовании оптронов можно построить на одном тран- зисторе фазоинверсный усилитель с Air>l по обоим выходам. На рис. 3.27 приведена схема фазоинверсного усилителя на МОП-тран- зисторе с оптроном на выходе. Аналогичная схема может быть вы- полнена и на микромощном биполярном транзисторе. Для получе- ния одинаковых коэффициентов усиления по обоим выходам не- обходимо, чтобы R\=Ri. Для улучшения стабильности усилителя можно между истоком транзистора и вых. II поставить дополни- тельный резистор. Таким образом, использование оптрона в фазо- инверсном каскаде позволяет без значительного усложнения схемы получить по обоим выходам Ки^> 1. С помощью оптронов, работающих в фотогальваническом режи- ме, в ряде случаев стало возможным улучшить параметры суще- ствующих импульсных устройств, а также разработать новые. В ка- честве примера на рис. 3.28 приведена схема оптоэлектронного клю- ча на биполярных транзисторах и оптронах, которая может явиться основой целого ряда логических устройств. При запертом транзисторе Т1 на базу транзистора Т2 подается положительный потенциал через резистор R1, светодиод ДС1 и фо- тодиод Дфг, в результате чего транзистор Т2 находится в открытом (насыщенном) состоянии. При открытом (насыщенном) транзисторе Т1 по цепи R1, Деи Т1 протекает ток, вызывающий генерацию квантов света в светодиоде Деи Эти кванты света, попадая на фо- тодиод Дф2, генерируют в нем фото-э. д. с. Получаемое при этом вентильное напряжение на Дф2 знаком минус 'приложено к базе транзистора Т2, в результате чего транзистор Т2 будет заперт. Необходимое вентильное напряжение на фотодиоде Дф2 удобно 127
уегайайлйшь резистором R1, соиротиалеиие которого при задан- ном Ек определяет ток светодиода Дсь Таким образом, рассмотренная схема оптоэлектронного ключа характеризуется надежным запиранием транзистора и может явить- Рис. 3.27. Схема оптоэлектронно- го фазоинверсного уси- лителя. Рис. 3.28. Схема оптоэлектронного ключа. ся основным элементом целого ряда импульсных устройств (логи- ческие ячейки, триггер и т. д.). При практической реализации дан- ной схемы в цепях коллекторов может быть включено несколько светодиодов. 3.6. Особенности использования пьезоэлектрических трансформаторов в транзисторных устройствах Растущий интерес к использованию пьезоэлектрических транс- форматоров (ПЭТ) в различных радиоэлектронных устройствах во многом определяется их малыми габаритами и относительной про- стотой изготовления [55]. Пьезоэлектрические трансформаторы по- зволяют осуществить преобразование электрического сигнала одного уровня в сигнал другого (обычно более высокий). Частотная ха- рактеристика трансформатора обладает ярко выраженными изби- рательными свойствами, и значительный коэффициент трансформа- ции удается получить только в резонансном режиме работы. Резо- нансная частота для современных ПЭТ обычно может лежать в пре- делах 10 кГц... 10 мГц. Чаще всего ПЭТ представляет собой моно- литную керамическую пластину, состоящую из двух секций: вход- ной— секции возбуждения и выходной — генераторной секции. Обе секции поляризованы и, следовательно, обладают пьезоактивностью. Направление поляризации может быть выбрано совпадающим в сек- циях или взаимно перпендикулярным. В первом случае трансфор- матор называется ПЭТ кольцевого типа, во втором — поперечного типа. Поскольку работа ПЭТ характеризуется потреблением весьма малых токов как во входной, так и в выходной цепи, то определен- ный интерес может представлять использование таких трансформа- торов в микромощных устройствах. 128
Применение ПЭТ в различных радиоэлектронных устройствах может дать наибольший эффект при работе со структурами, об- ладающими большими входными сопротивлениями. К таким струк- турам прежде всего относятся МОП-транзисторы. Однако и бипо- лярные транзисторы могут быть достаточно хорошо согласованы с ПЭТ при работе в микрорежиме. Рис. 3.29. Экспериментальные зависимости ^твых, ф°> fp ОТ Всм ДЛЯ ПЭТ. Одной из наиболее важных характеристик ПЭТ является на- грузочная характеристика. При постоянной амплитуде входного напряжения ПЭТ амплитуда вы- ходного напряжения Urn вых будет ГЕп f % Вых CZZJ-t- —r-Kh—* Рис. 3.30. Схема усилителя на ПЭТ. уменьшаться при возрастании тока нагрузки /н. Для практических расчетов эту зависимость можно представить в виде Um вых=Ет вых[|(Лр—/н)/7тР], (3.79) где Ет вых — амплитуда выходного напряжения ПЭТ в режиме холостого хода; /тр — максимальный ток, который ПЭТ может от- дать в нагрузку. Определенный практический интерес могут представлять зави- симости параметров ПЭТ от постоянного напряжения смещения Uсм на входной секции ПЭТ. На рис. 3.29 приведены эксперимен- тальные зависимости Um вых, фазы выходного сигнала (р° и резо- нансной частоты ПЭТ fp от напряженности поля £См, создаваемого Uсм для ПЭТ на основе ЦТС-керамики. Поскольку напряжение на выходе ПЭТ зависит от ЕСм (от UCm при £/Bx=const), то появ- ляется возможность получить усиление сигнала на ПЭТ. Токи в цепи смещения практически равны токам утечки. В таком усилителе на- пряжение резонансной частоты на его входной секции является напряжением питания, a UCm— напряжением входного сигнала. Таким образом, ПЭТ является функциональным прибором, выпол- няющим функции низкочастотного усилителя. Поскольку резонансная частота ПЭТ зависит от Есм, то ПЭТ можно использовать в качестве перестраиваемого монолитного фильтра. Изменение фазы выходного сигнала на ПЭТ под влиянием Есм позволяет применять ПЭТ в качестве управляемой фазосдви- гающей цепи, причем в зависимости от частоты входного напряже- ния (в пределах полосы пропускания ПЭТ) фаза на выходе ПЭТ может либо отставать, либо опережать фазу входного сигнала. Кроме того, если питание ПЭТ осуществлять напряжением не резонансной, а несколько меньшей частоты (в пределах полосы про- пускания ПЭТ), то, подключив на выходе ПЭТ амплитудный детек- 129
тор и соединив выход последнего с целью смещения входной сек- ции, получим устройство с двумя устойчивыми состояниями (триг- гер). Наиболее широко в устройствах с малой потребляемой мощно- стью ПЭТ используется для построения резонансных усилителей. Однако на его основе можно выполнить также усилители низких частот и постоянного напряжения. Рис. 3.31. Схема усилителя низкой частоты. Рис. 3.32. Схема генератора на ПЭТ. Одним из вариантов микромощного усилителя с использовани- ем ПЭТ является устройство, принципиальная схема которого при- ведена на рис. 3.30. Источником напряжения питания коллектора транзистора в этой схеме является ПЭТ, а диод Д1 служит для того, чтобы на коллектор транзистора поступала лишь отрицатель- ная полуволна напряжения с выхода ПЭТ. Диод Д2 и емкость С преобразуют пульсирующее напряжение в постоянное. Следует отметить, что в рассматриваемом усилителе отсутствует традицион- ное сопротивление .в цепи коллектора (функции этого сопротивле- ния выполняет выходное сопротивление ПЭТ). Коэффициент усиления Ки, для рассматриваемого усилителя можно представить, использовав (1.24) и (3.79) в виде =(Ет Вых//Икфг) (/к//Тр). При /к^тР получим для максималь- ного коэффициента усиления К и max вы*/ткЧт* (3.80) Проведенные эксперименты подтвердили выводы, которые следуют из (3.80), о слабой зависимости Ku max от параметров транзи- стора. Другим вариантом микромощного усилителя низкой частоты на ПЭТ может явиться устройство, принципиальная схема которого приведена на рис. 3.31. Питание транзистора в этой схеме осу- ществляется переменным напряжением резонансной частоты ПЭТ. Диоды Д/, Д2 и емкость С выполняют функцию детектора. Изме- нение напряжения на затворе транзистора будет изменять сопро- тивление канала, т. е. будет меняться напряжение, приложенное ко входу ПЭТ. При использовании в рассматриваемой схеме ПЭТ из ЦТС-ке- рамики можно получить К^ЗООО для напряжения питания Ет п= =0,5 В. Следует отметить, что если в схеме рис. 3.31 соединить 130
выход со входом, то можно реализовать микромощное бистабиль- ное устройство (триггер). Особый интерес представляет использование ПЭТ в микромощ- ных автогенераторах (из-за отсутствия традиционных колебатель- ных контуров и из-за возможности получения высокостабильного по частоте напряжения). На рис. 3.32 приведена принципиальная Рис. 3.33. Схема микромощного ге- нератора (а) и экспери- ментальные зависимости £/твых, Р=/(£п) (б). ff) схема генератора на ПЭТ и биполярном транзисторе. Для такого генератора выходное напряжение довольно слабо зависит от £к [56]. Если заменить биполярный транзистор МОП-структурой (со встроенным каналом), то упрощается реализация простых и эконо- мичных схем автогенераторов, в которых улучшение согласования ПЭТ с активным прибором позволяет получать большое выходное напряжение при низких напряжениях источника питания. Используя ПЭТ, можно построить микромощный генератор лишь на одном МОП-транзисторе (без традиционных пассивных элемен- тов-резисторов). На рис. 3.33,а приведена принципиальная схема микромощного генератора на ПЭТ и МОП-транзисторе со встроен- ным n-каналом. Функцию резистора в этой схеме выполняет р—п- переход исток — подложка МОП-транзистора. Питание генератора осуществляется напряжением отрицательной полярности, т. е. р—п- переходы МОП-транзистора смещены в прямом направлении. Пере- ход исток — подложка шунтирует вход ПЭТ и изменяет амплитуду напряжения на его входе в зависимости от величины напряжения на затворе. Таким образом, соблюдаются необходимые условия для возникновения автоколебаний. На рис. 3.33,6 приведены экспериментальные зависимости (/твых и потребляемой мощности Р от Еп для рассматриваемого генератора. Микромощный генератор хорошо работает при £п, близком к напряжению «пятки» р—n-переходов МОП-транзистора. При увеличении Ёп уменьшается Um вых и даже может произойти срыв колебаний, так как переход исток — подложка оказывается сильно смещенным в прямом направлении, а его сопротивление рез- ко уменьшается и шунтирует цепь положительной обратной связи. Рассмотренный генератор может работать лишь при малых потреб- ляемых мощностях. 131
Заключение Мы рассмотрели особенности работы транзисторов в микрорежиме и получили инженерные формулы для определения их характеристик и эксплуатационных па- раметров. Дальнейшее развитие микромощной электроники, на наш взгляд, связано с функциональной электроникой. Одним из микромощных функциональных приборов можно считать МОП-транзистор. Как показано во вто- рой главе книги, при подаче питающего напряжения не- большой величины на подложку МОП-транзистор мож- но представить как микромощный прибор, способный выполнять функции инвертора и усилителя без наличия каких-либо дополнительных элементов. Развитие функциональной электроники связано с ис- пользованием не только чисто электрических цепей, но и комбинированных функциональных цепей, в основе построения которых лежат оптические, акустические, хи- мические и другие явления. Так, для получения эконо- мичных и малогабаритных источников питания обычные (силовые) диоды в выпрямителях могут быть заменены светодиодами. В светодиодах с большой эффектив- ностью инжектированные носители заряда рекомбини- руют, излучая кванты света в отличие от обычных (си- ловых) диодов, где рекомбинация сопровождается вы- делением тепла. Поэтому использование -светодиодов позволяет уменьшить паразитную, разогревающую мощ- ность, а следовательно, уменьшить габариты теплоотво- да (радиатора), повысить надежность источников пита- ния и т. д. Кроме того, излучение светодиода можно использовать для создания дополнительного источника напряжения (без увеличения мощности, отбираемой от сети) с помощью фотодиода, работающего в фотогаль- ваническом режиме. Особый интерес, на наш взгляд, для развития мик- ромощной функциональной электроники может пред- ставлять акустоэлектроника. Типичным примером элек- троакустического прибора является пьезоэлектрический трансформатор. Он имеет коэффициент полезного дей- ствия как минимум на порядок более высокий, чем оптоэлектронный, и может выполнять функции усилите- лей, перестраиваемых фильтров, фазосдвигающих цепей, запоминающих устройств, излучателей акустических и электромагнитных волн и т. д.
Список литературы 1. Стильбанс Л. С. Физика полупроводников. М., «Сов. радио», 1967. 2. Пикус Г. Е. Основы теории полупроводниковых приборов. М., «Наука», 1965. 3. Зи С. И. Физика полупроводниковых приборов. М., «Энергия», 1973. 4. Sah С. Т., Noyce R. N., Shockley W. Carrier generation and re- combination in p—n junctions and p—n junction characteristics.— «Proc. IRE», 1957, v. 45, № 9. 5. Shockley W., Read W. T. Statistics of recombinations of holes and electrons. — «Phys. Rev.», 1952. v. 85, September. 6. Juliana M. N., Me Loushi R. M., Leinkram C. Z., Goins E. W. High-gain micropower transistors. — «Proc. IEEE», 1964, v. 52, № 6. 7- Sah С. T. Effect of surface recombination and channel on p—n junction and transistor characteristics. — «IRE Trans.», 1962, v. ED-9, № 1. 8. Бражник В. А., Викторов А. А., Тихонюк В. И. Исследование зависимости структуры базового тока от способа обработки поверхности кремниевых транзисторов. — «Электронная техника. Микроэлектроника», 1972, № 3. 9. Игумнов Д. В., Громов И. С. Уменьшение рекомбинации носи- телей в микромощных р—п-переходах. — В кн.: Материалы ра- диоэлектроники. Вып. 73. МИРЭА, 1975. 10. Лебедев В. И. Особенности транзисторных схем в микрорежи- ме.— «Радиотехника и электроника», 1965, т. 10, № 5. 11. Смит Р. Полупроводники. М., ИЛ, 1963. 12. Иоффе А. Ф. Физика полупроводников. М., Изд-во АН СССР, 1957. 13. Холл Г., Бардин Д., Пирсон Г. Влияние давления и температу- ры на сопротивление р—n-переходов в германии. — В кн.: По- лупроводниковые приборы. Под ред. А. В. Ржанова. М., ИЛ, 1953. 14. Зеликман Г. А., Мазель Е. 3., Пресс Ф. П., Фронк С. В. Полу- проводниковые кремниевые диоды и триоды. М., «Энергия», 1964. 15. Николаевский И. Ф., Игумнов Д. В. Параметры и предельные режимы работы транзисторов. М., «Сов. радио», 1971. 16. Игумнов Д. В. Усилительные свойства транзистора в режиме насыщения для микроамперного диапазона токов. В кн.: По- лупроводниковые приборы и их применение. Под ред. Я. А. Фе- дотова. Вып. 22., М., «Сов. радио», 1969. 17. Анисимов В. И., Голубев А. П. Транзисторные модуляторы. М., «Энергия», 1964. 18. Wertheim G. К. Electron bombardment demage in silicon.— «Phys. Rev.», 1958, v. 110, p. 1272—1279. 19. Степаненко И. П. Основы теории транзисторов и транзисторных схем. М., «Энергия», 1967. 20. Игумнов Д. В. Малосигнальные параметры транзистора в ин- 133
версном включении. — Ё кн.: Полупроводниковые приборы И й* применение. Под ред. Я. А. Федотова. Вып. 17. М., «Сов. ра- дио», 1967. 21. Адирович Э. И., Кузнецова Е. М. О емкости и электрическом пробое р—п-переходов. — «Радиотехника и электроника», 1959, т. 4, № 10. 22. Федотов Я. А., Матсон Э. А. Полупроводниковые приборы с ге- теропереходами. В кн.: Полупроводниковые приборы и их при- менение. Под ред. Я. А. Федотова. Вып. 17. М., «Сов. радио», 1967. 23. Микромощная электроника. Под ред. Е. И. Гальперина. М., «Сов. радио», 1967. 24. De Witt D., Rossoff A. Transistor electronics. McGraw-Hill Co, 1957. 25. Thornley R. F. M., Sun T. Electron beam exposure of photore- sists.— «J. Electrochemical Soc.», 1965, v. 112, № 11. 26. Микроэлектроника и большие системы. М., «Мир», 1967. 27. Игумнов Д. В., Кораблев Л. В., Сетюков А. И. Анализ харак- теристик р—л-переходов с точечным омическим контактом.— В кн.: Полупроводниковые приборы и их применение. Под ред. Я. А. Федотова. Вып. 21. М., «Сов. радио», 1969. 28. High-gain transistors. — «Electronics», 1968, v. 41, № 23, p. 54, 55. 29. Игумнов Д. В., Сетюков А. И. О микромощном лавинном тран- зисторе.— «Труды МИРЭА», 1972, вып. 60. 30. Richer I., Middlebrook R. Power-low nature of FET experimental characteristics. — «Proc. IEEE», 1963, v. 51, № 6. 31. Малин Б. В., Сонин M. С. Параметры и свойства полевых тран- зисторов. М., «Энергия», 1967. 32. Evans L. The case for low pinch-off voltages in FET’s. — «Elec- tronic Design», 1963, v. 11, № 21. 33. Рябинкин Ю. С. Теория полевых транзисторов на основе теории эффекта поля. — «Радиотехника и электроника», 1968, т. 13, № 3. 34. Игумнов Д. В., Курносова В. М., Рябинкин Ю. С. Вольт-ампер- ные характеристики МОП-транзисторов в микромощных инте- гральных схемах. — «Микроэлектроника», 1972, № 1. 35. Кроуфорд Р. Схемные применения МОП-транзисторов. М., «Мир», 1970. 36. Macdougall I., Manchester К., Palmer R. В. Ion implantation offers a bagful of benefits for MOS. — «Electronics», 1970, v. 43, № 13. 37. Полевые транзисторы. Под ред. С. А. Майорова. М., «Сов. ра- дио», 1971. 38. Воздействие ядерных излучений на полупроводниковые материа- лы, приборы и схемы. — «Радиоэлектроника за рубежом», 1973, вып. 13. 39. Зимин В. Н., Мингазин Т. А., Патрикеев Л. Н., Попов В. Д. Об- разование заряда в диэлектрике МДП структуры при воздей- ствии различных видов радиации. — «Электронная техника. Ми- кроэлектроника», (1972, № 2. 40. Игумнов Д. В., Громов И. С., Дугина В. А. Об одном режиме работы МОП-транзистора в области микротоков. — «Микроэлек- троника», 1975, № 5. 134
41. Агаханян Т. М. Электронные ключи и нелинейные импульсное усилители. М., «Сов. радио», 1966. 42. Наумов Ю. Е. Сравнение различных типов транзисторных ин- тегральных логических схем. — В кн.: Микроэлектроника. Под ред. Ф. В. Лукина. Вып. 1. М., «Сов. радио», 1967. 43. Валиев К. А., Кармазинский А. Н., Королев М. А. Цифровые интегральные схемы на МДП-транзисторах. М., «Сов. радио», 1971. 44. Титов В. А., Гершензон Г. С., Громов И. С., Игумнов Д. В. Динамические многостабильные запоминающие устройства. — «Информационные материалы по гидрометеорологическим при- борам», 1966, вып. 27. 1 45. Игумнов Д. В., Шведов А. Н. О стабильности рабочей точки микромощного транзисторного усилителя. — «Электронная тех- ника. Полупроводниковые приборы», 1971, № 2. 46. Игумнов Д. В., Громов И. С. Применение составных транзисто- ров в микромощных усилителях. — В кн.: Полупроводниковые приборы в технике электросвязи. Под ред. И. Ф. Николаевского. Вып. 10. М., «Связь», 1972. 47. Игумнов Д. В. О выборе числа каскадов микромощного тран- зисторного усилителя. — «Радиотехника», 1971, № 9. 48. Игумнов Д. В. Некоторые особенности микромощных повторите- лей на транзисторах. —• В кн.: Полупроводниковые приборы в технике электросвязи. Под ред. И. Ф. Николаевского. Вып. 7. М., «Связь», 1971. 49. Игумнов Д. В. Основы микромощной электроники. МИРЭА, 1974. 50. Свечников С. В. Элементы оптоэлектроники. М., «Сов. радио», 1971. 51. Игумнов Д. В. Характеристики GaAs-светодиодов в режиме ма- лых токов. — В кн.: Полупроводниковые приборы и их приме- нение. Под ред. Я. А. Федотова. Вып. 28. М., «Сов. радио», 1974. 52. Бекирев У. А., Емельянов А. В., Лаврищев В. П., Полторац- кий Э. А. Излучательный диод на основе гетероструктуры в си- стеме GaAs—Al As для оптоэлектронных устройств. — «Микро- электроника», 1974, № 5. 53. Игумнов Д. В., Громов И. С. Режимы работы оптрона свето- диод — фотодиод. — В кн.: Полупроводниковые приборы в тех- нике электросвязи. Под ред. И. Ф. Николаевского. Вып. 12. М., «Связь», 1973. 54. Гершензон Г. С., Титов В. А., Златин А. Л. Цифровые схемы на диодно-емкостных ячейках, питаемые переменным током. — В кн.: Новые бесконтактные устройства. Ч. 1, МДНТП, 1966. 55. Плужников В. М., Семенов В. С. Пьезокерамические твердые схемы. М., «Энергия», 1971. 56. Фролов В. Н. Пьезополуп'роводниковые генераторы. — В кн.: Полупроводниковые приборы в технике электросвязи. Под ред. И. Ф. Николаевского. Вып. 17. М., «Связь», 1976. 57. Игумнов Д. В., Соломатова А. И. Экспериментальные исследо- вания влияния протонного облучения на параметры транзисто- ров в микрорежиме. — «Труды МИРЭА», 1975, вып. 78.
Оглавление Предисловие ................................................. 3 Глава 1. Биполярные транзисторы.................... 6 1.1. Вольт-амперные характеристики............. 6 1.2. Коэффициент передачи тока.................16 1.3. Малосигнальные параметры..................29 4.4. Статическое входное сопротивление.........31 1.5. Емкость эмиттерного перехода .....................35 1.6. Граничная частота усиления .........................40 1.7. Коэффициент шума..........................45 1.8. Особенности микромощных транзисторов .... 50 Глава 2. Полевые транзисторы.......................54 2.1. Полевые транзисторы с р—л-переходом .... 54 2.2. МОП-транзисторы...........................67 Глава 3. Особенности применения транзисторов .... 85 3.1. Особенности транзисторного ключа..................86 3.2. Разновидности транзисторных ключей................97 3.3. Транзисторные усилители..........................107 3.4. Транзисторные повторители........................120 3.5. Особенности использования оптронов в транзисторных устройствах...........................................125 3.6. Особенности использования пьезоэлектрических транс- форматоров в транзисторных устройствах . . . . 128 Заключение................................................132 Список литературы.........................................133
ЦЕНА 35 коп.