Текст
                    В. С. СОБОЛЕВ
Ю. М. ШКАРЛЕТ
НАКЛАДНЫЕ
и ЭКРАННЫЕ
ДАТЧИКИ
ИЗДАТЕЛЬСТВО «НАУКА»
СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ

АКАДЕМИЯ НАУК СССР СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТ АВТОМАТИКИ И ЭЛЕКТРОМЕТРИИ В. С. СОБОЛЕВ, Ю. М. ШКАРЛЕТ НАКЛАДНЫЕ И ЭКРАННЫЕ ДАТЧИКИ (для контроля методом вихревых токов) Ответ ред. член-корр. АН СССР К. Б. Карандеев ИЗДАТЕЛЬСТВО «НАУКА» СИБИРСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ НОВОСИБИРСК 1967 Scan AAW
3-3-12 1390-66 Монография посвящена вопросам теории и практичес- кого применения накладных и экранных датчиков, исполь- зуемых при неразрушающем контроле качества материалов и изделий методом вихревых токов. Кроме дефектоскопии трещин, раковин, прижогов и т. п. эти датчики с успехом могут применяться для бесконтактных измерений электронрс- водности металлов и полупроводников, измерения толщин листов, проводящих и непроводящих покрытий, измерения вибраций, зазоров, для контроля термической обработки изделий, структуры материалов и т. д. В работе получены и исследованы выражения, опреде- ляющие воздействие на датчик проводящих слоистых сред различной структуры. Найдены оптимальные условия кон- троля параметров исследуемых материалов и изделий с точки зрения получения максимальной чувствительности и устранения влияния мешающих факторов, даны рекоменда- ции по расчету датчиков. Наряду с известными классичес- кими датчиками рассмотрены новые типы датчиков, обла- дающие рядом весьма перспективных особенностей. Монография рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, занятых в области создания и эксплуатации средств измерения и контроля.
ВВЕДЕНИЕ Развитие современного производства в значительной мере определяется состоянием методов и средств измерения и конт- роля. При высоких требованиях к качеству продукции и ее надежности наиболее перспективными оказываются нераз- рушающие методы контроля, так как они дают возможность контролировать все 100% выпускаемых изделий или мате- риалов. Среди методов, позволяющих производить такой бескон- тактный высокопроизводительный контроль качества продук- ции, важное место занимает метод вихревых токов (МВТ) [1]. Известно, что при внесении проводящего тела в электро- магнитное поле искажается первоначальная картина послед- него, а в самом теле наводятся вихревые токи. Распределение вихревых токов и возмущенного поля зависит от электро- физических параметров тела, его геометрической формы и раз- меров, наличия разного рода дефектов (трещин, раковин и т. п.). Существо контроля качества материалов и изделий с помощью МВТ заключается в том, что при известном харак- тере указанной выше зависимости можно, измеряя возму- щенное поле или величину реакции, испытываемой источником поля, судить о свойствах исследуемого образца. МВТ широко применяется для неразрушающей дефектоскопии, бесконтакт- ного измерения электропроводности металлов и полупровод- ников, измерения толщин листов, проводящих и непроводящих покрытий, диаметров прутков и труб, измерения вибраций и в ряде других областей контроля и измерений. Для возбуждения вихревых токов и регистрации возму- щенного поля применяются индукционные датчики, представляющие собой обычно катушки индуктивности раз- нообразных форм и взаимного расположения. В технике конт- роля МВТ получили применение так называемые проходные, внутренние, погружные, накладные и экранные датчики и соответствующие им способы контроля. Наиболее широкое 3
применение, однако, нашли способы контроля с ис пользой а нием проходных и накладных датчиков. Метод вихревых токов как метод контроля качества мате- риалов и изделий стал активно ^развиваться в последние 10— 15 лет. За это время появилось большое количество публи- каций, посвященных его теории, расчету основных узлов приборов и методике проведения экспериментальных иссле- дований. Учитывая относительно небольшую длительность активного развития МВТ, можно понять, почему к настоя- щему времени еще пе установилась терминология МВТ, а ряд достаточно общих вопросов этого метода еще окончательно пе решен. Одним из таких важных вопросов является классификация индукционных датчиков, применяемых при контроле МВТ. Классификация поможет более четко очертить круг вопросов, которому посвящается настоящая работа, и показать место не известных ранее датчиков, названных авторами некласси- ческими. В связи с тем, что одни и те же датчики могут с успехом использоваться для решения самых разнообразных задач контроля качества материалов и изделий (контроль электро- физических свойств, размеров и т. п.), целесообразно клас- сифицировать датчики независимо от задач контроля. Все датчики, применяемые при контроле МВТ, создают первичное магнитное поле, в которое помещаются контроли- руемые изделия или материалы. В зависимости от того, каким образом и в какие величины преобразуется результирующее поле, несущее полезную информацию, датчики можно раз- делить на две группы. Одни датчики преобразуют результи- рующее поле в параметры, однородные своим собственным, т. е. в индуктивность и активное сопротивление, поэтому их будем называть параметрическими. Другие преобра- зуют это поле в э.д.с. специальной, так называемой измери- тельной катушки. Наличие у этой группы датчиков отдельно катушки, создающей первичное поле (ее часто называют токо- вой или возбуждающей), и измерительной (или нескольких измерительных) позволяет назвать их трансформаторными. Оба типа датчиков имеют широкое распространение в аппара- туре, основанной на МВТ. По способу расположения катушек следует ризличать проходные, погружные, накладные и экран- ные датчики (см. рисунок). Проходными называют такие датчики, которые охваты- вают контролируемое изделие, расположенное соосно с ка- тушками датчика. Они применяются для контроля тел протя- женной формы (прутки, трубы и т. п.). В отличие от проходных, 4
погружные датчики с целью контроля погружаются внутрь изделия, например, внутрь трубы или контролируемой жидкости. Накладные датчики применяются для контроля тел любой формы. Оси катушек накладных датчиков направлены нор- мально к поверхности контролируемого изделия, причем все катушки располагаются по одну сторону последнего. Датчики для контроля материалов и изделий методом вихревых токов. 1 — обмотка; 2 — каркас; 3 — контролируемый образен; а — прокод ной, б — погругкной, в — накладной, г — экрипый. Хотя название «накладной» вызывает ассоциацию с необхо- димостью осуществления непосредственного механического контакта датчика с изделием, следует иметь в виду, что очень часто с целью бесконтактного контроля датчик располагают вблизи поверхности с некоторым, небольшим по сравнению с диаметром его катушек, зазором. Проходные, погружные и накладные датчики могут быть как параметрическими, так и трансформаторными. Экранные — могут быть только датчиками трансформаторного типа, поскольку их катушки располагаются по разные стороны контролируемого изделия, играющего роль экрана. 5
В зависимости от типа преобразования параметров контро- лируемых изделий в параметры сигналов следует различать абсолютные и дифференциальные датчики. Абсолютные дат- чики реагируют на абсолютное значение параметров изделия и их изменения. Дифференциальные — только на изменения параметров изделия от участка к участку. Дифференциальные датчики обычно применяют для контроля нарушения сплош- ности, однородности структуры изделий, т. е. для целей не- разрушающей дефектоскопии. Не следует путать дифферен- циальные датчики с дифференциальной схемой включения абсолютных датчиков, в которой выходное напряжение зави- сит от разности значений параметров контролируемого и образцового изделий. Ниже приведена схема классификации датчиков. 6
Изменения сопротивления или э.д.с. датчика, вызванные присутствием образца, будем называть соответственно вносимым сопротивлением или вносимой э.д.с. Существенной особен- ностью этих величин является то, что они комплексные, причем действительная и мнимая части линейно независимы. При изменении параметров изделия, датчика или частоты питающего тока конец вектора вносимого сопротивления или э.д.с. описывает определенные кривые — годографы на комплексной плоскости. Семейства этих кривых называют диаграммами вносимых величин. Все до сих пор известные датчики и их диаграммы будем называть классическими. Дат- чики, позволяющие получать принципиально иного вида годографы и диаграммы, а также сами эти диаграммы, будем называть неклассическими. Как уже упоминалось, к настоящему времени МВТ получил значительное теоретическое и практическое развитие. Однако детально разработана и подробно освещена в литературе лишь теория проходного датчика [2—6]. Что же касается более перспективного, на наш взгляд, способа контроля с помощью накладного датчика, то сколько-нибудь удовлетворительной теории его до сих пор не создано. Такое положение можно объяснить, по-видимому, значительными математическими трудностями, связанными с неоднородностью поля датчика. Отсутствие такой теории затрудняет применение и дальнейшее развитие МВТ. Фундаментальной в теории накладного и экранного дат- чиков является задача определения поля витка, обтекаемого переменным током и помещенного над проводящей слоистой средой. Решение этой задачи играет большую роль также в теории распространения электромагнитных волн, в геофи- зических исследованиях и в теории электромагнитного экра- нирования. Для целей этих последних областей науки и тех- ники она весьма подробно исследована, а полученные резуль- таты достаточно хорошо интерпретированы для широкого круга конкретных условий. К сожалению, этот материал не может быть непосредственно использован в теории датчиков МВТ, так как в большей части работ, посвященных этому вопросу виток (или катушка) заменяется магнитным диполем. Это упрощение, вполне закономерное в упомянутых исследо- ваниях, для теории накладного и экранного датчиков непри- емлемо, так как в данном случае нас интересует распределение поля в непосредственной близости к датчику, когда заменить катушку-датчик диполем нельзя. В ряде работ, посвященных вопросам экранирования [7—9], такой замены не делается. Однако решения даны лишь для частных случаев и то в квад- 7
ратурах. Никакой интерпретации результатов при этом не про- водится. Среди работ, посвященных рассматриваемой задаче, наиболее интересны статья С. Леви [10], в которой найдена величина воздействия на датчик очень тонкой проводящей пластины, и статья Г. Л. Бюллера [11], в которой путем табу- лирования полученных автором интегралов найдено распреде- ление плотности вихревых токов в проводящем полупространст- ве над которым помещен виток, обтекаемый переменным током. Отсутствие теории накладного датчика заставило раз- работчиков аппаратуры неразрушающего контроля провести большой объем исследований по экспериментальному опре- делению основных закономерностей его работы. Эти исследо- вания дали определенные результаты, и полученные материалы были до настоящего времени единственной основой для раз- работки приборов с использованием накладного датчика. Особенно много сделали в этом направлении Ф. Ферстер [12| и А. Дорофеев [13]. Однако такой подход, естественно, не позволил обобщить все особенности работы накладных дат- чиков. Как отмечает, например, в книге «Неразрушающие испытания методом вихревых токов» А. Дорофеев: «Экспери- ментальный путь разработки теории метода накладной катушки широко используется... Но к сожалению использовать резуль- таты большинства исследований не удается, так как представ- ленные зависимости невозможно привязать к катушкам с конкретными геометрическими размерами». Необходимость в теоретическом обобщении накопленного экспериментального материала, с одной стороны, и анали- тические трудности — с другой, привели к тому,что некото- рые авторы [14, 15] в своих исследованиях базируются на яв- лениях, происходящих в металлах при падении на них пло- ской электромагнитной волны. Полученные при таком под- ходе результаты отражают существо дела только для области высоких частот и электропроводностей и могут иметь лишь ограниченное применение. Настоящая монография является попыткой восполнить имеющийся пробел и создать достаточно общую теорию накладных и экранных датчиков, применяемых для контроля качества материалов и изделий МВТ. Необходимо отметить, что приведенные материалы могут иметь значение не только для целей контроля параметров изделий, но и при проектирова- нии экранирующих устройств в радиоэлектронике, решении задач разведки полезных ископаемых в геофизике, в теории и практике индукционного нагрева и т. п. Материал книги обобщает работы авторов за период 1962-1965 г.
ГЛАВА I ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЕ ПОЛЕ ВИТКА, РАСПОЛОЖЕННОГО НАД СЛОИСТОЙ ПРОВОДЯЩЕЙ СРЕДОЙ § 1.1. Уравнение Гельмгольца для вектор-потенциала электромагнитного поля. Квазистационарное поле Как уже указывалось, МВТ основывается на взаимодействии электромагнитного поля и исследуемого изделия или материала. Учитывая это, можно сказать, что теоретическую основу метода должны составить решения обширного класса электро- динамических задач определения поля датчика и величин, характеризующих взаимодействие между ним и исследуемым телом. Поэтому исходными уравнениями в теории МВТ, есте- ственно, являются классические уравнения электродинамики Максвелла. Традиционным в решении подобного рода задач является использование вектор-потенциала электромагнитного поля Л, определяемого следующим образом: rot А = В = [10р,Я, (1.1) и уравнения Гельмгольца. В целях последовательности из- ложения приведем здесь известный переход от уравнений Максвелла к уравнению Гельмгольца для вектор-потенциала поля. Уравнения Максвелла при использовании международной системы единиц СИ запишем так: го1Я = + 4-/ст; (1.2) 77 rot Е = — , 9
где 7ст — плотность сторонних, т. е. заданных внешним источ- ником, токов. Поскольку далее будем рассматривать изотропные среды, параметры которых не зависят от напряженности полей, при синусоидальных воздействиях, то уравнения (1.2) можно пе- реписать так: rot Н = (а + /о) + /ст; (1.3) rot Ё = — /о) Подставляя равенство (1.1) во второе уравнение Максвелла, получим rot (Ё + /соЛ) = 0. Поскольку ротор градиента любого скаляра тождественно ра- вен нулю, величину в скобках можно приравнять градиенту некоторого скаляра ф, играющего роль скалярного потенциала электрического поля, тогда Ё = —(gradxp + /(о Л). (1.4) Заменяя Н и Е в первом уравнении (1.3) через (1.1) и (1.4), после элементарных преобразований получим ?2Л + к2А = grad [(цоца + 7^8оФо.ц)Ф + divyi ] — Ц0Н7ст, (1-5) где к2 =~- ОТ — 7’(ОЦоЦб. Поскольку вектор-потенциал Л задан с точностью до градиента некоторого скаляра, а потенциал ф с точностью до постоянной величины, имеется возможность [16] положить (цоцб + /(оеоеЦоН) Ф + div Л = 0. Учитывая последнее равенство и выражение (1.5), получим искомое уравнение Гельмгольца для вектор-потенциала элект- ромагнитного поля + к2А - — ц0Ц7'сг. (1.6) В дальнейшем будем считать поле датчика квазистационар- ным в том смысле, что волновыми процессами в воздухе можно пренебречь. Зто упрощение вполне оправдано, так как размеры датчиков и исследуемых образцов обычно много меньше длины волны в воздухе, а потери на излучение по сравнению с потеря- 10
ми в датчике и в исследуемом образце малы. В проводящем теле будем рассматривать только те волновые процессы, которые обусловлены наличием проводимости и магнитной проницае- мости, т. е. так же, как и в воздухе, токами смещения (пропор- циональными а) £ог) пренебрегаем. Для металлов такое упроще- ние не вызывает сомнений. Легко показать, что это предполо- жение справедливо также и для широко применяемых в настоя- щее время полупроводниковых материалов с удельным сопро- тивлением до 50 ом-см. Так, например, величина тока смещения по отношению к току проводимости для кремния (s — 14) с указанным выше удельным сопротивлением на частоте 50 мггц составляет менее 2%. Таким образом, пренебрегая величиной (D280ep0p по сравне- нию со)ЦоЦСГ в выражении для Л2, получим /с2 = —7И0|Ш. (1.7) Естественно, что для воздуха к = 0. Обратный переход от вектор-потенциала к напряженностям электрических и магнитных полей делается по известным фор- мулам [17]. Например, в цилиндрических координатах, кото- рыми мы будем пользоваться в дальнейшем, формулы перехода имеют следующий вид: е _ /юл —'“.АГА (AAi _l AS + 1 р р к2 др L р \ др 1 дф dz / J ’ е. ₽ - мл. - £. 4 ц 44.+4+44, ф J ф к2 рдф L Р \ dp дер dz / \ Е - _ д Г1 (дрАр 4-Мф + 'П • Lz- 4---+— , ( (1.8) JJ _ 1 . дАг_ р ixop \ Р ’ дф dz } ’ н. = ± (АА _ ф РоР \ dz др / ’ и 1 Гд / Л ч дЛР 1 2 РоРР [др (Р дф J § 1.2. Поле витка, расположенного над многослойной проводящей средой В теории накладных и экранных датчиков достаточно общей является задача о поле катушки, обтекаемой переменным током и расположенной над проводящей многослойной средой, так как И
эта задача охватывает большую часть встречающихся в прак- тике контроля МВТ структур изделий и материалов. Весьма полезной идеализацией этой задачи для первого этапа решения является замена катушки единичным витком. Итак, пусть виток радиуса R± расположен горизонтально на высоте h над проводящей слоистой средой с постоянными Рис. 1.1. Виток, расположенный над многослойной средой. параметрами, как показано на рис. 1.1. Электрическую проводимость р-го слоя обо- значим ор, относительную магнитную проницаемость — Цр, толщину слоя — dp. Пусть виток обтекается переменным током I скруговойчастотойсо: / =-= Для решения задачи восполь- зуемся цилиндрической си- стемой координат р, ср, z с осью 2, направленной нор- мально к поверхностям слоев и совпадающей с осью витка. Начало координат поместим на поверхности среды. Будем считать диаметр сечения вит- ка очень малым по сравне- нию с т. е. ток — теку- щим вдоль линии с коорди- натами р = Rr, z ~ h. Ис- пользуя дельта-функцию Ди- рака, выражение для плот- ности тока можно тогда записать так: /ст — /д (z — h) s (р — 7?i). В силу осевой симметрии задачи вектор-потенциал имеет только ф-ю компоненту и от угла ф не зависит, т. е. А В цилиндрических координатах уравнение (1.6) с учетом этого обстоятельства примет следующий вид: 1 д ( дА\ . 0М /1 7О\ , ~ к') А = ~wwCT. Й-9) 12
Это уравнение второго порядка в частных производных. В со- ответствии с методикой, изложенной в [18], его можно решить, применяя интегральное преобразование Фурье — Бесселя с ядром в виде функции Бесселя первого порядка. Формула преобразования имеет вид: Л* = рЛ (Хр) А (р, z) dp, (1.10) где X — параметр преобразования. Применив это преобразование к обеим частям уравнения (1.9), получим преобразованное уравнение - — |xg0/‘r, (1.11) где Л* является уже функцией только координаты z. Здесь q2 = X2 Ц- к2, а 7*г — преобразованная плотность тока. Уравнение (1.11) является обыкновенным дифференциаль- ным уравнением второго порядка. Общее решение этого урав- нения известно и может быть представлено в следующем виде: (в - (с + J , (1.12) — переменная интегрирования вдоль направления z; В и С — величины, не зависящие от z и определяемые из граничных ус- ловий. Граничные условия для вектор-потенциала известны [18] и выражаются так: Ар (р> z) 1г==гр ~ Лр->1 (Р’ z) ’ £ . дЛр I 1 . 4+1 Рр dz и=гр Ррн 1 (1.13) Эти условия остаются справедливыми и для преобразованных величин Л*. Используя общее решение (1.12), запишем выражения для вектор-потенциала в каждом слое. 1. Для верхнего полупространства z 0, учитывая, что Hi = Ио, а1 — 0, т. е. q± ~ X, получим =(Ci+$ <1Л4) 13
2. Для каждого слоя (р = 2, 3,..., п — 1), учитывая, что плотность сторонних токов в области z <f 0 равна нулю, полу- чим 4 = 1^(5^ V + (1.15) 3. Для нижнего полупространства ^ = ^nB)ieV (1.16) ^Чп Сп =- 0, так как поле при z —> — оо должно быть ограничено. Теперь перейдем к отысканию постоянных интегрирования. Вначале найдем Вг При z —> оо поле должно быть ограничен- ным. Это возможно при условии (см. выражение (1.14);, что со в,- 5 = О, О откуда следует ^1=5 /сгб О Учитывая, что со со /ст = § р/1 (Ь р) /ст (р, z) dp = t pJi(Xp) d (р — /?,) 6 (z — h) dp =-- о 0 - /7?1/1(Х7?1)6(2— получим оо 5x = IRJ^R,) $ e^d1-i>(l-h) dl = IR1J1(KRJe-м. 0 Для отыскания постоянных Bn, Сп, используя граничны условия (1.13), получим следующие 2п — 2 уравнений, * ♦ дД* 1 дА* =• А2, - = — • —- при Z = 0. х 4 dz |i2 $z г 4* А 1 1 7 /Л л- А^--=А^ П₽И г = -^2’ (1Л/ п—1 = л;., а. Нп-1 дЛп-1 1 дАп V Z? — = iTn-^7 п₽и 2 = р=2 14
Подставляя выражения (1.14) н- (1.16) в уравнения (1.17), по- лучим 4-(В1 + С1) = ^(В2 + С2); B1-C'i = B2-C2; Л 7 2 — (B2e~q2d2 + С^е^2) = — (B3e~q-dz + Сз^36*2), 72 v 7з B2e~qzd2 — C2&qzdz = B%e~q3d2 — C3eq3d2, (n—i n—i \ n—i 2 “p ’n-1 2 dp I -qn S dp r> p P=2 I Г p p==2 I _ Hn о _ p=2 &т1-Ле ~V^n-le / — — L>ne J Qn n—1 n—1 . n—1 I -'in-lSS 9n-lSdp] ~4n Sdp JI„- VW p=2 -W P=2 )=^Bne ”=2 . (1.18) Решая последнюю систему уравнений, можем выразить все неизвестные через Вг в виде: Вр = Bvfp (X; Hl, Н2, •••, Р-п! 91, 9г, •••, 9n! <?i, <4, •••, t?n_i); (1.19) СР = Bv(fp (X; Hi, Н2, •••, Щ; 9i, 92 ,•••, 9-й <?i, d^). Учитывая, что „z [0 при z<CJi \ /ст (X, |) e~udl == j. o’5 ЧВ^^И^е-^ при z>h', (1.20) с2 * [0 при z^>h ) /ст = 1/BxJi (XT?!) при z < h, можем следующим образом переписать выражение (1.14) для вектор-потенциала в верхнем полупространстве Ai = (е~х _|_ ф1е-А (Л«)) (XBi) при z < h; 4,’ = (е~х + <pie~x <г+/‘>) TBjJi (X/?i) при z > /г. Объединив оба результата, получим л; = g (^ 1;-'I + ф!^ <z+'O iRrjx (XT?!). (1.21) 15
Используя (1.15) и (1.16), получим выражение для преобразо- ванного вектор-потенциала р-го слоя 4 = + 4V’V) (Х7?х) (1.22) и аналогично для нижнего полупространства X = (XT?!). (1.23) ^Чп Истинные значения поля для каждого слоя найдем теперь с помощью обратного преобразования Фурье — Бесселя А -- J А*(Х, 7?1)./1(Хр)Х<?Х. О 1. Для верхнего полупространства . ОО 4 71 (X/?,) Л (Хр) е-х l-MdX + О + /1 (X7?1) J1 (Хр) <2+Л> с?Х ]. (1.24) О 2. Для каждого слоя . ОО 4 = ^A(U?i)/i(Xp) {fpeV + (1.25) О 3. Для нижнего полупространства Л„ = ЦоИр/?1/ ГЛ (X/?,)./, (Хр) - fnennZ~lhdk. (1.26) 2 J (ln о Напряженности электрического и магнитного полей можем найти, воспользовавшись выражениями (1.8) и помня, что век- тор-потенциал имеет только ф-ю компоненту и от угла ф не зависит = — ]соЛф; Ё9 = 0; Ёг = 0
§ 1.3. Поле витка в свободном пространстве Картина распределения поля витка в свободном пространст- ве, т. е. в отсутствии проводящих сред, представляет опреде- ленный интерес, так как позволяет в некоторой мере оценить возможность использования накладного или экранного дат- чиков для тех или иных целей контроля с помощью вихревых токов. Анализ выражения (1.24) для поля витка над проводя- щей слоистой средой показывает, что его первый член есть не что иное, как интересующее нас выражение для поля витка в свободном пространстве. Если начало координат перенести в центр витка, оно примет следующий вид: А = §/i(U?1)71(Xp)e-xl-’ld%. (1.28) О Как известно, этот интеграл выражается через полные эллип- тические интегралы первого Е и второго К рода, подробные таблицы которых имеются в работе [23] Е где L.2 _ 42?1р (/?1+ р)2-Н2’ В соответствии с формулами (1.8) компоненты магнитного и электрического поля витка в свободном пространстве выража- ются так [16]: lz + р2 + z2 ~~ 2лр /(7?i + p)2 + z2 L & (^i — р)2 + z2 I Г — Р*2 — Z2 I Я, = -----г - - ...- К + /о Y„ 2 Е ’ 2л V+ р)2 + z2 L (Я1 — р) + z2 J Ev = - j {(^+рЧ.г2И_[(7?1+р)г+ z4 Е]} 2лр у (/?1+р)2-^22 (1.29) Из выражения (1.29) следует, что напряженность электрическо- го поля направлена вдоль координаты ф и пропорциональна вектор-потенциалу магнитного поля А. Э. д. с., наводимая током витка в любом соосном с ним контуре, равная цирку- ляции вектора Е по этому контуру, также оказывается про- порциональной вектор-потенциалу А. Таким образом, величи- 2 Заказ № 1315
на Л, оказывается удобной характеристикой поля витка. На рис. 1.2 (а) приведены кривые зависимости вектор-потенциала (при = 2) от обобщенной координаты p/Rl на различных плоскостях, отстоящих от плоскости витка на расстояниях z/Rr = 0; 0,2; 0,4 и 0,6. Как следует из рисунка, наибольших значений вектор-потенциал достигает в плоскости z — 0, т. е. в плоскости витка. Чем дальше от этой плоскости находится Рис. 1.2. Поле витка в свободном пространстве. плоскость наблюдения, тем меньше величина поля. Это поло- жение хорошо иллюстрирует рис. 1.2 (б). Отметим интересную особенность рассматриваемого поля: чем дальше плоскость наблюдения от плоскости витка, тем дальше смещается макси- мум вектор-потенциала от оси витка. Это означает, что если, например, виток лежит на исследуемом образце, то контур с максимальной наводимой в образце э. д. с. (и, следовательно, с максимальной плотностью вихревых токов) лежит непосредст- венно под проводом витка; если же виток поднять над образ- цом, например, на расстояние z[Rr = 0,6, то контур с макси- мальной э. д. с. будет иметь радиус, в 2 раза превышающий радиус витка. § 1.4. Поле витка над двуслойной средой, пластиной и полупространством В § 1.2 приведено решение задачи определения поля витка, помещенного над проводящей слоистой средой. Для получения окончательных выражений поля необходимо лишь явно выра- 18
зить постоянные интегрирования. Сделаем это для достаточно общего случая, когда виток расположен над слоем толщиной d с параметрами 02, |Л2, лежащим на полупространстве с парамет- рами о3, |13. Поскольку п = 3, то необходимо определить только /2, ф2 и /3, для чего потребуются четыре уравнения системы (1.18): В1 + С1 = ^(В2 + С2); Bi — Ci В2 — С^\ Вге-^ + Сгв™1 =-- № B2e_Q2d — C2e^d -- B3e~q-id. (1.30) Решив эту систему относительно неизвестных коэффициентов, с учетом соотношений (1.19) можно записать: ______(ХН2 — 9г) 0М2 + Рз9з) edr‘2 — (Хщ f- <?2) (|1;7з — е d,‘2 ф1 _ л-------------------------------------------------------------- . = gdq2. ф2 = 2g 2 (Цздг - Цз9з) e_d<h. Г 49211293 /3 Д ’ где ; (1.31) (1-32) (1.33) (1.34) Л = (Х|12 + <?2) (1Мз -4- Нз?2) fd<12 — (Хр2 — (?г) (|Мз — Нз?2) ?~dq2- (1.35) Напомним, что q-i = У\2 — к% = VV + /шОгНоНг,’ 7з = /V — $ = /X2 + /(ОбзНоНз- . (1.36) В дальнейшем будем рассматривать в основном поле в верхнем полупространстве. Анализ выражения (1.24) для этой области, проведенный в предыдущем параграфе, показал, что первый член этого выражения есть не что иное как поле витка в свободном пространстве. Это поле уже рассмотрено выше, поэтому запишем выражение лишь для возмущенного поля: ОО Аг= О,5цоЯ1/ $ Л (X7?i) Л (Хр) е~х <г+/>) о (Лр.2 — д2) (1М2 Ч- Р-29з) eaq‘ — (Хц2 -f- д2) (р,2д3 — Нз?а) e~dCh ,, (. 2* 19
Если положить в этом выражении ц3 = 1, п3 = 0, т. е. 7з “ легко получить выражение вектор-потенциала поля в верхнем полупространстве, наведенного вихревыми токами проводящей пластины толщиной d Лг = — 0,5ц„7?1/ Л (?ф)е-х<г+ъ’ - V)(* e29d) dk. % (? - X)2 - e2Qd (? + X)2 (1.38) Если d устремить в бесконечность, получим выражение для поля, наведенного вихревыми токами полупространства: А\ = — О,5но7?1/Гл(иШ1(^Р)е~Х(г+^Чп^- С-39) J Q "г А» о
ГЛАВА П ПРИБЛИЖЕННЫЕ МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧИ О ПОЛЕ ВИТКА, РАСПОЛОЖЕННОГО НАД СЛОИСТОЙ СРЕДОЙ Полученные в предыдущей главе решения задачи о поле витка, расположенного над слоистой средой, чрезвычайно труд- но интерпретировать численно или графически, так как ин- тегралы, входящие в них, не выражаются через известные эле- ментарные или специальные табулированные функции. Эти трудности, однако, могут быть преодолены, если воспользо- ваться приближенными решениями [19, 20], методика получе- ния которых приведена ниже. § 2.1. Разложение полученных интегралов в ряд Интегралы в выражениях, описывающих поле витка в при- сутствии слоистой среды, имеют вид: оо J = FP(X)FO(Z, X)dX, о (2-1) где Ф1 (М в (Х) = X ,, -« z - (fve р + Фре р ) в Чр яР 7"е (1.24),' (1.25), . в (1.26) (2.2) Fo (Z, %) = J, (Х7?,)/, (Хр)е (2.3) Переменное Z обозначает | z — h\ или (z + h) в (1.24) и h в выражениях (1.25), (1.26). 21
Представим функцию Fp (X) в виде ряда Маклорена = (2.4) v=0 Подставив ряд (2.4) в выражение (2.1) и изменив последова- тельность интегрирования и суммирования, получим °° /?(v) /о) j? J = 2 (2.5) v=0 ’ „ Легко проверить, что J X'Fn (Z, к) d\ = (—1)VOW (Z), (2.6) О где Ф (Z) = 5 (^)Л (Xp)e-xzdX. (2.7) О Подставив выражение (2.6) в (2.5), получим оо / = 2(^HWW(Z). v=0 (2.8) Таким образом, получено точное выражение интересующего нас несобственного интеграла в виде бесконечной суммы. К со- жалению, непосредственное использование этого ряда для прак- тических расчетов затруднительно. Даже при быстрой его сходимости необходимо взять для обеспечения удовлетворитель- ной точности несколько первых членов. Это приводит к необ- ходимости вычислять несколько производных от функций Fp (X) и Ф, что даже в случаях простой структуры сред весьма затруднительно. Однако полученные результаты помогут нам в дальнейшем. Анализируя функции Ф и Fp (X), замечаем, что одна из них зависит только от пространственных координат, а вторая от параметров среды и координаты z, Одним из путей получе- ния приближенных решений, которым воспользуемся в даль- нейшем, является аппроксимация функций Ф и Fp (%) (или некоторых функций от них) экспоненциальным рядом или экспоненциальной функцией. 22
§ 2.2. Первое приближенное решение Анализ функции Fp (X) показывает, что она является ком- плексной и, следовательно, может быть представлена в виде Fp (%) = Re Fp (X) + 7 Im Fp (X). (2.9) Как показало исследование графиков этой функции, в ряде случаев (для сравнительно простой структуры образцов) ее действительную часть можно довольно точно аппроксимиро- вать экспонентой (или конечной суммой экспонент), т. е. Re Fp (X) - Be (2.10) Мнимую часть также можно аппроксимировать либо алгебраи- ческой суммой экспонент, либо в виде Im Fp (X) = СКе -%?, (2.11) где В, С, т и а2 — аппроксимирующие коэффициенты. Далее покажем, что такая аппроксимация приводит к ре- шению поставленной задачи, т. е. получению приближенных выражений для расчета поля. Интересующий нас интеграл имеет вид J= Jfp(X)F0(Z, Х)<?Х. (2.12) О Заменяя Fo и Fp (X) в соответствии с (2.3), (2.10) и (2.11), получим Be 7 = В 57i(X7?i)A(^p)e-x<z+a->dA,; (2.13) О Im J = С 5 Л (X7?x)Л (Хр) Х7Х. (2.14) О Рассмотрим интеграл 2.13. Как известно [21, формула (6.612.3)], этот интеграл выражается через функции Лежандра второго рода полуцелого порядка 9^ \ л (R2 п- 1 ct2\ $ м & (-ЧягН) <2Л5> 23
Таким образом, с учетом (2.15) выражение (2.13) будет иметь вид Re/ — В Г^1 + р2 + (^4-а1)21 1<2l J (2.16) Дифференцируя выражение (2.15) поаь получим формулу для определения мнимой части интересующего нас интеграла 1 ! /?2 1 J- г/2 \ Д = <?'( ‘Л. LU-»> П Г* следовательно, 1т/ C(Z + a2)zy Г^1 л/?1/2р3'2 v J/'2 L + p2+(Z + a2)2 2Р7?! (2.18) Функции Qi/2 и Qi/2 табулированы в зависимости от ch и = /?1 ' I-?7 [22] и сведены в табл. 1 приложения. Кроме 2р7?1 того, обе функции(X 2 и выражаются через полные эллип- тичексие интегралы первого Е и второго К рода [(2 —7^)JC —22?]; (2.19) = (2.20) где £2^_______4Д‘Р (flj + p^ + a2 Подробные таблицы полных эллиптических интегралов имеют- ся, например, в работе [23]. Таким образом, с помощью предложенной аппроксимации удалось получить приближенные выражения для интересую- щих нас интегралов. В качестве примера использования изло- женной методики покажем, как найти аппроксимирующие коэф- фициенты для случая, когда виток расположен над немагнит- ным проводящим полупространством. Выше, формула (1.39), было показано, что поле вихревых токов в этом случае выражается следующим образом: А - О,5цо7?17 (л (Ш) Ji (Хр) е-("» * T/2+/<ogggdX. (2.21) •) Л + у V + /(05|10 24
Если разделить действительную и мнимую части, произвести замену переменных А, = У V сооно и с целью упрощения окончательных выражений ввести следую- щие обобщенные параметры системы виток — образец а = ; Р = 7?! У Р₽ = р V ®ор.(), получим . ОО ВеЛ = - Щ Лфу) Jl фру) (4=~yV УТТТ- yAdy, (2.22) . ОО Im А = - фу) Л фру) е~^(уУ /F+Т+72~У2 /2) dy. (2.23) Рассмотрим реальную часть вектор-потенциала. Подынтеграль- ная функция f(y) = у= — У К? У4 + 1 ~ У2 в точке у = 0 составляет 1/]/2, а затем непрерывно убывает. Анализ показывает, что с некоторым приближением ее можно аппроксимировать следующим образом: f(y) = ±=e~^. (2.24) V * Подставляя (2.24) в (2.22), с учетом (2.15) получим Re Л = . _ Г^ + р2-! + -2^ Но/ -1 / Л1 п \ V <0<зр.о 2л V р V"2L 2/fjp (2-25) Из (1.28) и (2.15) следует, что поле витка в свободном прост- ранстве (при помещении начала координат на границу разде- ла сред) выражается формулой, аналогичной (2.15) R\ + Р2 + (z - Л)2 2fijp Сравнивая эту формулу и (2:25), можно сделать вывод о том, что реальная часть вектор-потенциала магнитного поля, созда- ваемого вихревыми токами полупространства, эквивалентна 25
вектор-потенциалу поля, создаваемого изображением витка с током — 7, расположенного от возбуждающего витка на рас- стоянии 2h + ]/2б, где б = *|/ ---глубина проникновения поля плоской волны в материал полупространства. Рассмотрим теперь мнимую часть вектор-потенциала. Как показывает анализ, подынтегральная функция уУУу* + 1 + у2 — у2/2 в точке у = 0,423 имеет максимум, равный 0,212. Вблизи нуля эта функция растет пропорционально у, а при больших аргу- ментах убывает, как ]/ 2/8у2. Эту функцию можно было бы аппроксимировать в виде разности двух экспонент. В этом случае путь получения приближенного решения был бы ана- логичен только что рассмотренному, однако окончательное выражение было бы более громоздким. Эту же функцию можно аппроксимировать и проще в виде выражения (2.11). Прирав- няв рассматриваемую функцию и выражение (2.11) в точке максимума, получим следующее приближение: У Т^Уу* + 1 + ?/2 — У2 К2 це~2''. (2.26) Подставляя (2.26) в (2.23) с учетом (2.17), получаем г--- . Г Л? -I- Р3 + ( —2 -У1 Т.Н 4 — /<*?Р-о+21 (1<7 (), ______\_____У <05(10 I . /2 \^p3/Wo '2L 2/?’Р J (2.27) Значения этих выражений сравнивались с результатами, полу- ченными с помощью электронной цифровой вычислительной машины (ЭЦВМ) по точным формулам (2.22), (2.23) прир = Rr, h = z. Оказалось, что максимальная погрешность (для этого случая) при 2 > р 0,6 составляет около 10%, а при Р 2 не превышает 6%. Эти результаты вполне приемлемы для инженерных расчетов и качественного анализа поля. При пользовании таблицей 1 приложения для определения и Qi/2 величину chu можно найти по формуле ch и + Р2 + [ 2 + + г - \ У(О5|1о/
§ 2.3. Второе приближенное решение Как видно из предыдущего параграфа, расчет поля с по- мощью первого приближенного решения требует экспоненци- альной аппроксимации функции Fp (%) для каждой структуры исследуемого образца, т. е. полученное решение не является достаточно общим. Рассмотрим второе более универсальное решение задачи. Анализ функции Ф (Z) показывает, что она весьма близка к экспоненте и может быть аппроксимирована конечным экспоненциальным рядом: р <D(Z) =3 Cie~xiz, (2.28) i=l где и at — коэффициенты, не зависящие от Z. Производная функции Ф (Z) по Z будет иметь тогда следующий вид: р Фм(Z) = 2 (- (2.29) г=1 Подставив выражение (2.29) в формулу (2.8) и изменив порядок суммирования, получим Р со J 3 Cie-*iz 3 (- < F™ (0); (2.30) v=0 поскольку (см. выражение (2.4)) 3 (- ЦР1 W (0) = 2 а• F? (°) = F? v—О то р j(2-31) 1=1 Итак, интеграл, выражающий значение вектор-потенциала поля витка, расположенного над слоистой средой, разложен в ряд. Однако в отличие от (2.8) полученный ряд имеет конеч- ное число членов и не содержит производных функции Fv (X), на трудность вычисления которых уже было указано. Как будет показано ниже, для инженерных расчетов полей и сигналов, получаемых от датчиков, удовлетворительная точ- ность получается при Р — 1 или Р = 2. 27
Если Р = 1, т. е. Ф (Z) = cie~x‘z, (2.32) ТО J = Fp(ai)O(Z). (2.33) Таким образом, приближенное значение интеграла определя- ется произведением функций Fp (А)Ф (Z) при условии, что X — ос-^. Теперь найдем коэффициенты аппроксимирующих экспо- нент. Обратимся снова к выражению (2.7) Ф (Z) = Л (%7?i) Д (Лр) e~*zd%. О Известно [21, формула (6.612.3)] и [22], что этот интеграл вы- ражается через присоединенные функции Лежандра второго рода или через полные эллиптические интегралы первого Е и второго К рода (2'34) где k 2 /7^ (Лх ч-р)2 Известно также, что если в выражении (2.34) полагать р = 7? 2, гдеТ?2 радиус некоторого коаксиального с первым витка, то зна- чение этого выражения будет пропорционально коэффициенту взаимной индуктивности М между этими витками [16] М = (2-35) Выражение в скобках, умноженное на 4л, обозначено F (тп) и подробно табулировано в работе [24]. Тогда коэффициент взаимной индукции выражается так: M = (2.36) где 28
Функцию Ф (Z) легко определить через/7 (т), если обозна- чить р = Т?2, 4 л2 У 7?1 /?2 (2.38) Наличие таблиц функции F (т) значительно облегчает аппрок- симацию функции Ф (Z). Графики функции F (т), построенные по этим таблицам в зави- симости от нормированных переменных х и g, пока- заны на рис. 2.1. Fi 7? 2 Л при ж<1; X = • 7?г £1 < Т?2 при /с С1 (2.39) Z 27?1 II. при X 1 = ' Z (2.40) 27?2 при X R> ’ Из рисунка видно, что функция F (т) действи- тельно близка к экспонен- те. Для случая Р — 1 (см. формулы (2.28), (2.32)) аппроксимирующую экспо- ненциальную функцию F* Рис. 2.1. Семейство кривых функций будем подбирать так, что- F (т). бы она точно совпадала с функцией F (тп) в двух точках и ^2, лежащих близко к кон- цам отрезка наиболее употребительных значений g. Если обозначить F - ае~Ь^ (2.41) то для определения значений а и Ъ получим систему уравне- ний: FUL) = | (2.42) Величины, характеризующие электромагнитное поле, интере- суют нас в непосредственной близости к датчику, поэтому 29
будем считать, что наиболее употребительные значения % лежат в пределах 0,2—0,8, а х в пределах 0,5—1. В этом случае показатель экспоненты можно считать постоянным и равным 3, а величину а — линейной функцией х: а = 34 х - 10. (2.43) Погрешность аппроксимации при этом ие превышает 3%. С учетом формул (2.38) и (2.41) функцию Ф (Z) и коэффи- циенты и можно представить в виде: Ф (Z) = 34х~22_ е--% ' 4л2/ (2-44) с _ 34% — 10 (2-45) 1 ” 4л2 VlhRi ’ 3 0(1 2R ' (2-46) где R большее из Rr и Яг. Таким образом, получены достаточно простые выражения для функции Ф (Z) и коэффициентов С± и а г Теперь найдем значения этих коэффициентов при аппрок- симации функции F (т) двумя экспонентами. Для случая Р = 2 функция F* должна иметь вид: F* = 4- а2е~ь^. (2.47) Для отыскания четырех неизвестных коэффициентов а17 аг, и 6г необходимо иметь четыре уравнения. Их можно полу- чить из условия совпадения функций F (тп) и F в четырех точках 11, ?2, g3, g4. Для определения значений искомых коэффициентов полу- чим систему трансцендентных уравнений: arc~b^ + а2е~ь^ -- Я(£г); -j- a2e~b^z — F (£2); 4. а2е~ь^3 = Я(|3); aie~b^ + a2e~b^ = F (|4). (2.48) В общем виде решить эту систему весьма трудно. Прибли- женное решение показало, что при х = 1 с погрешностью не 30
более 5%, функцию F* можно выразить следующим образом: F * = 24е~«5 + 10ег3Ч (2.49) С учетом соотношений записать (2.28) и (2.38) для этого случая можем O(Z) — 4л2/? е 4л2/? е ’ (2.50) С' = WR > <2’51) » 4“, , (2.М) = = 4;. Ъ = (2.53) При Р 2 зависимость F. и Ф (Z) от х получается более сложной, чем при аппроксимации одной экспонентой (формулы (2.44) и (2.45)). Однако, как показал численный анализ, с до- статочной для практики точностью в диапазоне 0,5 х 1,0 для F* можно сохранить прежнюю зависимость от х и записать ее в виде F* = (34х — 10) (^ + 0,42^). (2.54) Соответственно выражения (2.44) —(2.46) перепишем так: ф (Z) = .34и (е-в' _|. 0,42-2’); v ’ W\fRxR^ ' 34х - io (2.55) Сг - ----- z________ 4л2 V Jh — С„ = 0,42 34у'~£1 4л2 //?j/?; (2.56) 3 1 а1 = -7Г’ а* = 1Г’ где R — большее из и 7?2. Имея теперь формулы (2.44)—(2.46) и (2.55), (2.56), можем записать приближенные значения несобственных интегралов, выражающих общие решения задачи о поле витка, располо- женного над слоистой средой, в первом и втором приближе- ниях. Первое приближение Подставив выражение (2.44) в (2.33), получим значение интеграла в виде J = 34х-10 е_,-р х (2.57) 31
С учетом обозначения (2.1) выражения (1.24)—(1.26) для вектор-потенциалов поля в первом приближении теперь можно переписать так: 1. Для верхнего полупространства л • 34х —1U пf -3(z+/?^ /о -q\ 2. Для каждого слоя \ j 34х — 10 /" --X / . q z . —г/ z \ 4„ = poHpf 8Л2 У п~е ы ~ (/^ р + р ) , А • UJb F -*12 7р ^~2R (2.59) 3. Для нижнего полупространства Д^РорД34^ 1/±fneV (2.60) ОЛ Г 112 Чп * = 2R Второе приближение Подставив (2.55) в (2.31), с учетом Р — 2, получим интеграл J в виде 34\21- [e^Fp (%) I Л + 0,42е-2Лр (К) L=J_’. 4л2 у Я^г v v ’ I 2R 1 v 71 R J (2-61) С учетом обозначения (2.2) выражения (1.24) -н (1.26) для вектор-потенциалов поля во втором приближении можно за- писать так: 1. Для верхнего полупространства л _ у34х —10 1//?! I _3J_£=±_L гп 12=М 41 — р</ 8Я2 V я2 \е R + °>Z12e R + __ 3 (zH-h) + «? н фх(X)I _з_ + 0,42е R Ф1(1)|х=2_ Л~ Н R 2. Для каждого слоя L г 34х — 10 , /ЯХ Г _L - а 7 7 I Д- 4р - РоНД —8^2 У ъ [ qp е R (fpeqp + фре чр ) | х= + ___h_ + (fp&V + ^e-V) | х- 4-1. (2.63) Чр ii J 32
3. Для нижнего полупространства ро|хп7 34% — 10 (2.64) § 2.4. Сводка формул второго приближенного решения задачи о поле витка, расположенного над двуслойным полупространством Простейшей слоистой структурой является двуслойное по- лупространство. Задача определения поля витка, расположен- ного над двуслойным полупространством, представляет интерес при разработке датчиков и аппаратуры для контроля толщин гальванических покрытий или электрофизических параметров двуслойных изделий. Кроме того, решения этой задачи дают возможность легко получить выражения для поля витка в присутствии проводящей пластины или полупространства. Итак, пусть виток расположен на высоте h над двуслойным полупространством с параметрами слоя а2, Н2, d и параметра- ми полупространства о3, pt3. Окончательные выражения для поля получим, подставляя равенства (1.31) -н (1.34) в (2.58)-н н- (2.64) и введя обозначения р2 == Л Рз = R /(ОбзНоНз- 1. Для верхнего полупространства 3 Заказ № 1315 33
2. Для слоя Л =№(34«-4°)7 <‘д//'1+/|-°ьц^)1//Т+7Ф+________> |Л + 7¥(н.+ у 1 + 7^) ch “ [/1+< + + ^|/1+/^°ь^|/1 + ; j _ + |/‘ + /? + Ц1 +> ¥) Ь S |/1 +1 ¥ (2.G6) 3. Для нижнего полупространства ^“S(34«-1O)?/i7r«“SX Формулы второго приближения получаются слишком громозд- кими и поэтому здесь не приводятся.
ГЛАВА III ТЕОРИЯ НАКЛАДНЫХ ПАРАМЕТРИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ Основу теории накладных параметрических датчиков со- ставляют закономерности воздействия проводящих образцов различной структуры на катушку, обтекаемую переменным током. Определению основных из этих закономерностей и по- священа настоящая глава. Вначале рассматривается воздействие проводящей среды на катушку с пренебрежимо малым попе- речным сечением, маловитковую катушку (соленоид), тонко- стенную катушку произвольной длины, а затем полученные результаты обобщаются для катушки-датчика прямоугольного сечения. § 3.1. Воздействие проводящего нсферромагнитного полупространства на датчик с пренебрежимо малым сечением обмотки Пусть тонкостенная и очень короткая катушка расположена на высоте h над проводящей слоистой средой, как показано на рис. 1.3. Если размеры ее сечения много меньше радиуса, то для решения задачи о взаимодействии такой катушки и слои- стой среды можно воспользоваться материалом предыдущих глав. В главе I было показано, что присутствие вблизи витка с переменным током проводящей среды приводит к изменению его первоначального поля. Естественно, что изменение конфи- гурации и величины поля влечет за собой изменение электри- ческих параметров витка, т. е. его активного и реактивного сопротивлений. Ясно, что воздействие проводящей среды на катушку с током проявится аналогично. Для определения величины этого воздействия достаточно знать выражение для вектор-потенциала поля в верхнем полупространстве. 3* 35
Напряженность электрического поля в верхнем полу- пространстве на основании выражения (1.27) определится так: E^—jaWA^ (3.1) где W — число витков датчика. Наводимую в последнем э.д.с. определим как циркуляцию вектора напряженности поля по контуру его обмотки ^ = ^Etdl. (3.2) Поскольку вследствие круговой симметрии задачи напряжен- ность поля на этом контуре постоянна ё = 2лП WE± = — j2n^BW2A1, (3.3) где R — радиус обмотки датчика. Деля выражение (3.3) на ток обмотки, получим ее полный импеданс ч $ .2tu&RW2Ax /о /\ Z = — у = 7-----j— . (3.4) Таким образом, используя выражения для вектор-потенциа- ла А19 полученные в предыдущих главах, можно определить Z датчика в присутствии проводящих сред слоистой структуры. Поле в верхнем полупространстве представляется суммой первоначального поля датчика и поля вихревых токов прово- дящей среды. В свете этого полный импеданс выражается в виде = ^0 ^вй) где Zo — его начальный импеданс, a ZBH — вносимый. В даль- нейшем нас будет интересовать последний. Импеданс, вноси- мый в датчик неферромагнитным полупространством, легко получить, используя выражение (1.39) при р, = 1, р = Д, z = h\ ОО -------- Z„.= (3'5) Вводя новую переменную интегрирования 36
и обобщенные параметры н Р = 7?Уй)<зр0, (3.6) (3.7) а также разделяя действительную и мнимую части, получим окончательные выражения для активного и реактивного вно- симых сопротивлений -V^dy- вн = — /ГжфоЯННЗJ - (3-8) (3-9) К сожалению, полученные несобственные интегралы не вы- ражаются через известные функции. Однако их значения могут быть найдены численными методами или с помощью прибли- женных выражений, приведенных в главе II. В приложении (табл. 2 и 3) даны значения этих интегралов в зависимости от параметров а и (3, полученные с помощью ЭЦВМ по методу Симпсона с относительной погрешностью, н!е превышающей 2%. Таким образом, зная удельную электропроводность мате- риала полупространства, над которым помещен датчик, его радиус, число витков и высоту над образцом, легко, пользуясь табл. 2 и 3, рассчитать вносимый в датчик импеданс по форму- лам 7?вн = yincoHoflTVVJa, р), (3.10) Хвн = — /2 шфп7?1Г272 (а, 0), (3.11) где Л(а,Р) значение интеграла, определяемого по табл. 2, a I2 (а, Р) — по табл. 3. На рис. 3.1 на комплексной плоскости приведены обобщен- ные кривые полного относительного сопротивления витка (Zo + в присутствии проводящего полупространства, рассчитанные по формулам (3.10) и (3.11). По осям координат 37
отложены активная и реактивная компоненты полного сопро- тивления витка, отнесенные к его индуктивному сопротивле- нию в отсутствии образца. Собственная начальная индуктив- Рис. 3.1. Годографы пол- ного сопротивления витка, расположенного над про- водящим неферромагнитным полупространством. ность витка рассчитана по известной формуле [24] £п = ЦоЯ(1п-^—1,75) (3.12) при ~ = 50, где г — радиус прово- да витка. Вид приведенных кривых совпа- дает с хорошо известными экспери- ментальными кривыми импедансов катушек, помещенных над проводя- щим неферромагнитным телом. При увеличении р относительное актив- ное сопротивление растет, достигает максимума, и затем падает. Значе- ние р, при котором наступает макси- мум, зависит от того, насколько ви- ток удален от образца (т. е. от вели- чины параметра а), и может изменять- ся в пределах от 5 до 2. При неболь- ших зазорах можно считать, что эта величина составляет приблизитель- но 3. Вносимая индуктивность отрица- тельна и с увеличением р непрерывно растет, достигая своего максималь- ного значения при р—> оо. Величину максимального вносимого реактивного сопротивления можно определить, если в выражении (3.5) положить а —> ос, тогда оо ZBH = 4 (ЬЯ) e~2h\lX. О (3.13) Полученный интеграл можно выразить через полные эллипти- ческие интегралы Е и К, таблицы которых имеются в работе [23]. Тогда максимальное вносимое сопротивление 38
4ш. макс -- — /copto/?i I " |/ ос- 4- 4 К E~\^ , (3.14) j К ii E — функции —_-- • — . V 1 +т Эту же задачу отыскания максимального вносимого импеданса можно решить с помощью теории цепей, используя метод зер- кального изображения, так как в этом случае поле в верхнем полупространстве имеет такой же характер, как если бы оно было создано двумя одинаковыми соосными витками (с равны- ми, но противоположно направленными токами), расположен- ными на расстоянии 2h один от другого. Вносимое сопротив- ление в этом случае Zbh. макс — J(oAf 9 где М — коэффициент взаимоиндукции между витком и его зеркальным изображением. В ряде случаев при решении задач контроля с помощью накладного датчика необходимо иметь удобные аналитические выражения для расчета вносимого импенданса. Такие выраже- ния можно получить, используя материал главы II. Если подставить выражения (2.25) и (2.27) в (3.4) при условии z = h, получим приближенные выражения, определяющие вносимые сопротивления через присоединенные функции Ле- жандра 77ви = _ 1,41Щ)О>Я(аЗ + 2) W2 & Г(а3 4-2)2-|- 2В2~| , Д5) Р2 /2|_ 232 J хв„ = - н . (3.16) При определении (?i/2, по табл. 1 приложения величина chu определяется так: гЬ7, „ 2£2 + (аМ-2)2 СП 232 * Погрешность вычисления сопротивлений по этим формулам, как уже отмечалось в § 2.2, не превышает 6—10% по сравне- нию с результатами, полученными с помощью точного решения задачи. Если учесть выражения (2.19) и (2.20), то эти же величины можно выразить через полные эллиптические интегралы пер- вого и второго рода, 39
Более простые формулы, выраженные через элементарные функции, можно получить при использовании результатов второго приближенного решения (§ 2.3, 2.4). Рассмотрим вы- ражение (2.58). Второй член суммы описывает вектор-потен- циал поля вихревых токов, наведенных в образце .__ 3 (Z + М (3-17) 2Н Подставляя его в (3.4) при условии R Rl Rz, z h, получим выражение для импеданса, вносимого в датчик образ- цом любой слоистой структуры _ 3/1 I ZBH^/24.10-7(o7?IV^ « <Р1(М1 з . (3.18) Iх 2R Полагая в выражении (1.31) (52 — 63—6, Р-2 — Рз ~ 1 » $ —00 и вводя обобщенные параметры а = и р R )Л(О(5ро, получим равенство, определяющее значение функции (fj для проводящего неферромагнитного полупространства: Ф1 . „ ,(3-K9 + /W . (3.19) Эта функция табулирована в виде <Р1 = и результаты помещены в приложении табл. 10. Подставляя (3.19) в (3.18), получаем полное выражение для расчета вносимого импеданса qk 2 Zbh = -^^.-^(3-/9+74F • р / Разделяя действительную и мнимую части, получаем Лвн = 18-ю-^я е - f« (у2 У у 81 + 16р4 4-9-6), (3.20) Хвн = — 6'1-0~>Ж27? е~Т 8 (4р2 — ЗУ^УУ 81 + 16р4 — 9 ). (3-21) 40
Из изложенного следует, что величина вносимого в датчик неферромагнитным полупространством импеданса определяется 2h ____ двумя обобщенными параметрами а = и Р = 7?]/<оогр,0. Из этого можно сделать весьма важный вывод о том, что удельная электропроводность образца и частота тока датчика одинаково влияют на величину относительного вносимого импеданса (Zbh/co^o), изменение же радиуса датчика влияет как квадрат аналогичных относительных изменений частоты или электро- проводности (при а = const). В заключение приведем примеры расчета активного вноси- мого сопротивления с использованием формул, выведенных в настоящем параграфе. Пусть очень короткая катушка со сред- ним радиусом R = 5 мм, имеющая 50 витков, помещена на расстоянии h = 0,75 мм от поверхности массивного свинцового образца с удельным сопротивлением 0,2 ом*мм2/м. Частота питающего катушку тока равна 50 кгц. Вначале определим величины обобщенных параметров а и Р, имея в виду, что размерности всех входящих в формулы величин должны соответствовать международной системе еди- ниц— СИ. 2h 2.0,75Л0-з nQ а--7Г= 5-Ю-з -0,3; ₽ = н = н -5-ю-з j/2jt'501j4;iy;10~7 = 7. 1. Расчет по формуле (3.10). Находим значение интеграла Д (а, Р). В табл. 2 приложе- ния для а = 0,3 имеются значения Д (а, Р) при Р = 3 и р = 8. Проводя линейную интерполяцию этих значений, получаем, что при Р = 7 Д (а, Р) = 0,0657. Подставив теперь значения всех входящих в формулу (3.10) величин, получим 7?вн = manoRWUi (а, 3) = = /Гл-2л-104-5-4л-IO'7-5-IO"3-502-0,0657 = 1,45 ом. 2. Расчет по формуле (3.15). Вначале определяем eh» =i2'i,+g + 2>1- - + 1,17. По таблицам гиперболических функций находим значение и = 0,58. Теперь, линейно интерполируя соседние значения, 41
находим величину = —2,3. Подставляя значения всех величин, входящих в формулу (3.15), получаем: „ l,41.p0co/?(a3 + 2)^z/ 7YBH —-------------£2------- V72 = 1,41 • 4л • 10-7.2л.5 • 104.5. ю-з. (0,3 • 7 + 2) 502. (—2,3) =--------------------------!— -------------------—- = 1,36 ом. 49 ’ 3. Расчет по формуле (3.20) ;/П1( = ~ v (/2 V/81 +1634 + 9 — 6) = 18-10’7-2л-5-104-502-5-1П~3 „„s/i/oW ' ' -------------- р. =--------------49----------ео^(У2у /81 + 16.74+ 9—6) = = 1,3 ом. Как видно из приведенных примеров, значение вносимого со- противления, рассчитанное по приближенным формулам (3.15) и (3.20), отличается от полученного по точной формуле (3.10) на величину порядка 10%. § 3.2. Воздействие проводящего неферромагнитного полупространства на соленоид Определение воздействия проводящего образца на соленоид представляет интерес при использовании его в качестве датчика для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, когда применяются достаточно высокие частоты (до десятков мегагерц). В целях упрощения задачи заменим соленоид системой коаксиальных витков, как показано на рис. 3.2. Вектор-потенциал в верхнем полупространстве на контуре тп-го витка от вихревых токов в образце, наводимых током п-го витка, в соответствии с (1.39) будет Атп = 0,5ц>7?(Л(Х7?т)Л (U?n)e-^+hn> J X + у V+ /O)cspo (3.22) Если величина электропроводности не зависит от напряженно- сти поля, то применим принцип суперпозиции. Выражение для вектор-потенциала на этом же контуре, наведенного вихре- 42
выми токами от всех N витков, определится так: Ат—^Атп. (3.23) п=1 В соответствии с (3.4) вносимый в zn-й виток импеданс выразит- ся следующим образом: Zu„.m = j2™*mAm. (3.24) 1 т Если все витки включены после- довательно и согласованно, то пол- ное вносимое в катушку сопротив- ление определится так: ^вп‘— S ^вн. w (3.25) 772=1 Рис. 3.3. Годографы полного сопротивления двухвитковой катушки, расположенной над проводящим полупространст- вом. Рис. 3.2. Система витков над проводящим полупростран- ством. Осуществляя замену переменных, вводя обобщенные парамет- ры а и |3 и разделяя активную и реактивную компоненты, получим Rw = /2 Jl (jty) (у 2е 2 х О 71=1 х(|/ |/1+А-+1-у2)^; (3.26) оо N 2 Xbh = -/2Wo7?^/?(&/)( 3 е 2)х о П=1 43
Численные значения этих выражений можно получить, пользуясь табл. 2 и 3 приложения. Интегралы расписываются в виде суммы, и величина каждого слагаемого отыскивается по таблицам отдельно. Если для некоторых значений ап или ап + величины интегралов в таблицах отсутствуют, следует применить интерполирование соседних значений. На рис. 3.3 показаны кривые изменения полного сопротивления наклад- ного двухвиткового датчика, полученные описанным способом. Характер изменения сопротивления остался практически таким же, как и для одиночного витка. § 3.3. Воздействие проводящего неферромагнитного полупространства на тонкостенную цилиндрическую катушку Пусть катушка, изображенная на рис. 3.4, имеет радиус R, длину I и расположена на расстоянии h от проводящего полу- Рис. 3.4. Тонкостенная цилин- дрическая катушка над про- водящим полупространством. наведенных в ней токами пространства. Выделим участок катушки в виде кольца длиной dz на расстоянии zm от полупростран- ства и такой же участок на рас- стоянии zn. Пренебрегая толщи- ной катушки по сравнению с ее радиусом, в соответствии с выра- жением (1.39) можно следующим образом записать выражение для вектор-потенциала магнитного по- ля на контуре m-го кольца от вих- ревых токов проводящей области, и-го кольца ОО Апт = О,5цоR1W ? J\ {KR} e~(zm+zn>*d’K. (3.28) 4 J + ? 0 Здесь Wdzjl — число витков на участке dzn. Вектор-потенциал на контуре тп-го кольца от вихревых токов проводящей области, наведенных током всей катушки, будет равен интегралу от выражения (3.28) по ее длине. Меняя порядок интегрирования по % и и интегрируя по ип, получаем ОО Ат = - О,5цоЯ/ (KR) e-(zm+h* (e~tK- 1) .^=^dK. (3.29) 4 J । Я) о 44
Вносимый в т-е кольцо импеданс в соответствии с (3.4) выра- зится так: ^внт — 1 г j • л mL Интегрируя (3.30) по длине катушки, получаем выражение для вносимого проводящим полупространством импеданса оо _______ z = . л<ор.оЯ2Ж2 С j 1Л <е_;х _ 1)2 X - J z J v 7 %2(x + V^+T^Ho) (3.31) Разделяя действительную и мнимую компоненты и вводя обоб- щенный параметр т=4’ <3-32) получаем соответственно активную и реактивную компоненты вносимого импеданса /?вн = /2 \ - I)2 X Pl V О х(|/ У1 + Д. + 1-/2-)^, (3.33) оо Хвн =----/2 \ Л2 (Ру) е-^У (е-^У - I)2 ( - PT J \ у 2 у- - ]/ ]/1 +-^- 1 ) dy. (3.34) Как и в случае витка, эти интегралы не удалось выразить через известные функции. Табулирование их даже с помощью ЭЦВМ оказалось делом трудоемким, поэтому были табулированы род- ственные им интегралы вида = A2(py)e-^(|/ )/1+^+1 - Vsjdy, (3.35) О К (3.36) Таблицы этих интегралов, вычисленные с погрешностью поряд- ка 2%, приведены в приложении к настоящей работе за номе- рами 4 и 5. 45
Расчет вносимых в катушку сопротивлений производится следующим образом. Вначале раскрывается квадрат разности под знаком интеграла в выраже- ниях (3.33) и (3.34). Затем эти вы- ражения представляются в виде суммы трех интегралов. Значения каждого из них находятся по упомянутым выше таблицам и суммируются. При этом под вели- чиной v в таблицах следует пони- мать а + 2у, а + Y и просто а в зависимости от того, значение какого из трех интегралов суммы отыскивается. Полученные значе- ния затем суммируются. Кривые изменения полного от- носительного сопротивления ка- тушки, полученные описанным спо- собом, приведены на рис. 3.5. Соб- ственная индуктивность катушки определялась по известной фор- муле n^W'2 К а, (3.37) где Ка — функция, табулирован- ная в [24]. Рис. 3.5.- Годографы полного сопротив- ления тонкостенной цилиндрической катушки, расположенной над проводя- щим неферромагнитным полупростран- ством (у = 1). Отметим, что при а — 0 вносимое сопротивление можно рассчитать более просто по формулам следующего параграфа, выведенным для случая, когда катушка расположена над проводящей пластиной. Параметр, характеризующий толщину пластины, следует брать при этом наибольшим. § 3.4. Воздействие проводящей неферромагнитной пластины на накладной параметрический датчик Следующей важной задачей теории метода вихревых токов является определение связи между вносимыми в датчик сопро- тивлениями и параметрами образца в виде проводящей нефер- 46
ромагнитной пластины. Выражение для вектор-потенциала вихревых токов пластины, возбуждаемых витком,Jb соответст- вии с (1.38) имеет вид А = — 0,5цеЯ/ Г Л (Х7?) Л (Хр) • (д2 ~ --—dk , r J v v' (q — k)2 — (q + X)2 (3.38) где ___________ g = ]/ V + /соор,,. Используя методику § 3.1, получим следующее выражение для импеданса, вносимого пластиной в датчик с пренебрежимо малым поперечным сечением обмотки со , 2qd Zbh = - ( Л2 (кН) е~2'1Х dk. (3.39) Вводя известные обобщенные параметры а и Р и новый : = , (3.40) заменяя переменную к в соответствии с равенством х = KR (3.41) и разделяя действительную и мнимую части, получаем актив- ную и реактивную компоненты вносимого импеданса 7?вн = 0,5n|WW2 J Л2 (*КМХ о х (х — т) е~2^т — 2хе~^т (х cos £ п — п sin £д) + х (х + т) д т2 (т — х)е~2^т — 2п2е~^т \2пх sin + (и2 — х2) cos £/г] -|-7п2 (х-^-т)2 ’ (3.42) хвн = — 0,5np00)7?₽2r2^ х О п(п — х) е~^,т — 2е~^т т (х sin -]-п cos £и) п (х — т) , Х т2 (т — r)e-2!;m— 2n2e-(;m [2na:sin £«+ (re2 — ®2) cos £n] -|- m2 (ж + m)2 X' _____________ ___________________________(3-43) 47
Полученные интегралы не выражаются через известные функ- ции и табулированы с помощью ЭЦВМ с погрешностью прибли- зительно 2%. Табл. 6 и 7 содержат значения интегралов, умноженные на параметр (J, и помещены в приложении. На рис. 3.6 показана рассчитанная таким образом зависи- мость полного относительного сопротивления витка, располо- женного на высоте h = 0,051? над проводящей неферромаг- нитной пластиной. Сплошной жирной линией показан ход полного сопротивления при бесконечно большой толщине пластины, сплошными тонкими линиями — при ее изменении от нуля до бесконечности, а штриховыми — при изменении электропроводности или частоты, когда толщина остается постоянной. По аналогии с описанным в § 3.2 легко получить выражения для сопротивлений, вносимых проводящей неферромагнитной пластиной в катушку, содержащую небольшое число N витков ~ N 1?вн = О,5л|10(о1?р2 j Fi (a, [J, £, х) ( 2 е % ) dx\ (3.44) О n—1 °? N апж 2 ХВн = —0,5np.ft(o7?p5 jj F2 (а, ₽, £, х) ( 2 е % } dx (3.45) О п=1 и тонкостенную катушку с отношением длины к радиусу, рав- ному у ОО 7?вн =. 0,5 С (e~Lx-J)2Fi(а,р,С,х)dx\ (3.46) Т J х о 00 Хвн = _ O^tiioyW2 (а, р, dx> (3.47) Т J х о Fi и Fz — соответственно подынтегральные функции выраже- ний (3.42) и (3.43). Численные значения выражений (3.44), (3.45) можно опре- делить аналогично описанному в § 3.2, воспользовавшись табл. 6 и 7 приложения. Что касается выражений (3.46) и (3.47), то, как и ранее, входящие в них интегралы табулированы на ЭЦВМ с погреш- ностью порядка 2% при условии, что а = 0, и результаты приведены в табл. 8, 9 приложения. Рассчитанные с помощью выражений (3.46) и (3.47) кривые изменения полного относи- тельного сопротивления катушки, стоящей на проводящей пластине, показаны на рис. 3.7. Кроме того, на рис. 3.8 отдель- 48
4 Заказ № 1315 Рис. J3.6. Годографы полного сопротивле- ния витка, расположенного над проводя- щей неферромагнптной пластиной. 49
Рис. 3.7. Годографы полного сопротивления тонкостенной цилин- дрической катушки, расположенной над проводящей неферромаг- нитной пластиной (у — 1).
но показаны кривые изменения активной и реактивной компо- ненты относительного вносимого сопротивления от толщины. Приближенные, но выраженные явно через элементарные функции выражения, определяющие сопротивления, вносимые в накладной датчик неферромагнитной проводящей пластиной, можно получить, воспользовавшись материалами главы II. Рис. 3.8. Зависимость активного (а) и реактивного (б) вносимого в^ дат- чик сопротивления от толщины контролируемой пластины (у — 1). Выражение (3.4) для импеданса, вносимого в датчик проводя- щей средой любой структуры с учетом формулы (2.58), имеет вид _ 3/t ZBH- /24.10-7<oW2e я Ф1(Х) 3. (3.48) х=«г Функцию Ф1 для проводящей пластины можно получить, пола- гая в выражении (1.31) бз = О, |Х2 = Цз = 1; % ~ . В этом случае 2^2 th-j- /9+7^ Фх (РЛ) = - j-----------------------z----------. (3.49) з /9 + + (9 + /2₽г) th К9 + 7< В приложении приведена табл. И этой функции в виде Ф1(₽Л)=/Ф1(РЛ). 4* 51
Подставляя (3.49) в (3.48), получим полное выражение для приближенного определения импеданса, вносимого пластиной в накладной датчик _ За рз th 4- /9 +/432 ZBa = j48 • 10-’ 2 ------------------------=----------. 3 /9 + 7432 + (9 + 7232) th -f- /9 + /432 (3.50) Анализируя выражения (3.39) и (3.50), можно сделать вывод о том, что при постоянном расстоянии между датчиком и пла- стиной величина вносимого импеданса зависит только от пара- метров (3 и £ = В общем случае в упомянутые выражения эти параметры функционально входят по-разному. Это значит, что на комплексной плоскости вносимых сопротивлений конец вектора будет описывать разные кривые при изменении толщины и электропроводности пластины (см. рис. 3.6, 3.7), т. е. имеется принципиальная возможность раздельных измерений толщины и электропроводности. Представляет интерес получить формулы для расчета импе- данса, вносимого в датчик при условии £ = ^-<1; = |/йфо<Г, т. е. при малой толщине пластины по сравнению с диаметром датчика и глубиной проникновения плоской волны. В этом случае выражение (3.49) принимает следующий вид: Ф1 (3,0 = - / 6Т/И = ~—7 • <3-51) /?б/(0С5|Л0 Z Основной переменной в этом выражении является произведе- ние Р2£, пропорциональное произведению ad. Следовательно, в этом предельном случае очень тонкой пластины эффекты от изменений толщины или электропроводности не различаются. Разделив действительную и мнимую части выражения (3.51) и подставив их в (3.48), получим следующие приближенные формулы для активного и реактивного сопротивлений, вноси- мых в датчик очень тонкой пластиной: = 721(3.52) Х„ = - 24.10-’ »ЛИ-е- ,, ' (3.53) 52
Заметим, что они близки к формулам Леви [10], полученным другим путем. Некоторое расхождение численных величин можно отнести за счет существенно заниженного в работе [10] значения показателя экспоненты. Таким образом, формулы Леви являются частным случаем формул второго приближен- ного решения (§ 2.3 настоящей работы). Семейство кривых, Рис. 3.9. Семейство кривых функций <pi для проводя- щей неферромагнитной ~ пл астины. 53
изображающее поведение функции на комплексной плоскости, приведено на рис. 3.9. Кривая, построенная по формуле (3.51), представляет собой дугу полуокружности с центром в точке —/0,5. Параметром этой кривой является р2£ — 27?б?собц<(. Действительная часть функции фг ([3, £) принимает максималь- ное значение при условии р£ = 6. Все кривые, построенные по формуле (3.49), укладываются меж- ду полуокружностью и кривой, соответствующей полупростран- ству. Как и ранее, тонкие сплошные линии показывают, как изменяется функция в зависимости от отношения а штри- ховые — ее изменения в зависимости от параметра 2р, пропор- ционального корню квадратному из электропроводности пла- стины. Если накладной датчик расположен над немагнитным по- крытием на немагнитном основании (цз = р3 = 1), то функция срг в соответствии с (1.31) имеет вид /9 + 74$ (3 - УЭ + ЛФ!) + 44 = > /9+/ф22(3 + ]/ 9 +/4р2) + + (3 |/ 9 + /ф2 - 9 - /4₽|) th У9 + /М (°'54) + (3 Уэ + /4|3| + 9 + /4р2) th У9+/432 Обобщенными переменными в этой формуле являются ₽2 = R У®б2|*0. ₽3 = R У СОбзЦо, £ = . Поскольку все эти параметры входят в формулу функционально по-разному, то соответствующие им годографы вектора вноси- мого сопротивления в общем случае не совпадают, что, в свою очередь, означает возможность раздельного измерения толщины покрытия и электропроводностей покрытия и основания. § 3.5. Основные закономерности работы накладного параметрического датчика при контроле неферромагнитных образцов В предыдущих параграфах были получены основные соот- ношения, связывающие величину вносимого импеданса с изме- ряемыми и мешающими параметрами системы датчик — обра- 54
зец. Используя этот материал, можно охарактеризовать основ- ные закономерности работы накладного параметрического дат- чика. Сделаем это для случая контроля неферромагнитных материалов или изделий. Взаимодействие накладного датчика и ферромагнитных образцов будет проанализировано в следую- щем параграфе. Рассмотрим воздействие на датчик проводящего образца достаточно больших размеров, эквивалентного полупростран- Рпс. 3.10. Зависимости активной (а) и реактивной (б) компонент отно- сительного вносимого сопротивления от параметра (3 при у = 1, а = 0. ству. Как уже упоминалось, с ростом параметра Р, пропорцио- нального радиусу датчика, электропроводности образца и ча- стоте питающего датчик тока, относительное вносимое активное сопротивление вначале растет, при Р 3 достигает максимума и затем падает до нуля. Вносимое реактивное относительное сопротивление — отрицательно и с ростом упомянутых величин непрерывно растет, достигая максимума при р —> оо. Кривые указанной зависимости показаны на рис. 3.10. Такой характер изменения ZBH можно объяснить следующим образом. При малой электропроводности образца ее рост приводит к увели- чению плотности вихревых токов, наведенных током датчика в толще образца. Вследствие этого растут потери мощности в образце и соответственно (т. е. прямо пропорционально элект- ропроводности образца) растет активное вносимое в датчик сопротивление. При дальнейшем увеличении электропроводно- сти образца плотность вихревых токов увеличивается. Магнит- ное поле этих токов действует навстречу магнитному полю датчика, и в результате его индуктивность уменьшается. Начи- ная с некоторого значения электропроводности, индуктивное сопротивление образца вихревым токам становится равным 55
активному сопротивлению и вносимое активное сопротивление перестает расти. Явления поверхностного эффекта, обусловлен- ные полем вихревых токов, вытесняют поле и токи к поверхно- сти образца и также способствуют развитию указанных явлений. Чем больше электропроводность образца, тем сильнее проявля- ется поверхностный эффект и тем больше искажается первона- чальное поле датчика. Это приводит к дальнейшему уменьше- нию индуктивности последнего. При воздействии на датчик сверхпроводящего образца поле совершенно не проникает в него и вносимая отрицательная индуктивность становится мак- симальной. Анализ выражений (3.8), (3.9), (3.20), (3.21), (3.26), (3.27), полученных ранее, показывает, что в общем случае основными обобщенными параметрами системы датчик — образец явля- ются a = 2fe//?, P=/?Kg)^|li0 и у = 1/R. Легко видеть, что при поддержании параметров а и у постоянными электропровод- ность1 образца действует на относительный вносимый в датчик импеданс так же, как частота питающего тока, а величина радиуса датчика действует в квадрат раз сильнее. Рассмотрим теперь, как на величину вносимых сопротивле- ний влияет изменение зазора между датчиком и образцом. Знание этой зависимости весьма важно, так как метод вихре- вых токов часто применяется для измерения зазоров и толщин непроводящих покрытий на проводящих основаниях. В первом приближении, как это было показано в § 3.1, зависимость вно- симого импеданса от величины зазора можно считать экспо- ненциальной, з ------------------------------------а ZBH = const- е 2 . Более точные результаты, полученные с помощью ЭЦВМ, по- казывают, что эта зависимость действительно близка к экспо- ненте, особенно в области высоких частот и больших значений электропроводности. В общем же случае она носит более слож- ный характер. Кроме параметра а, некоторое влияние оказыва- ют на нее параметры § и у. На рис. 3.11 приведены кривые зависимости активной и реактивной компонент относительного вносимого сопротивления от параметра а, построенные по ре- зультатам, полученным с помощью ЭЦВМ. Кривые показывают, что активная компонента сильнее всего зависит от зазора при [3^:3, а реактивная — при |3 —> ос. Эту особенность следует иметь в виду при разработке приборов для измерения зазоров и толщин непроводящих покрытий, так как она характеризует чувствительность датчика к изменениям измеряемых в данном случае величин. Здесь же следует отметить, что при больших 56
значениях Р величина электропроводности практически пере- стает влиять на величину и характер изменения вносимого импеданса. Остановимся еще на одной важной особенности влияния величины зазора на вносимое в датчик сопротивление. Как показывает рис. 3.5, линии удаления датчика, т. е. линии на Рис. 3.11. Зависимости активного (а) и реактивного (б) вносимого сопро- тивления от расстояния между датчиком и образцом (у = 1). комплексной плоскости, по которым перемещается конец век- тора вносимого сопротивления при изменении зазора, весьма близки к прямым. Это означает, что в данном случае меняется лишь модуль вносимого сопротивления, в то время как его фаза практически остается неизменной. Это значит, что кривые вносимого сопротивления при разных зазорах приблизительно подобны. Фазовый угол вносимого сопротивления меняется только при изменении электропроводности образца. Таким об- разом, если измерять значение этого угла, можно исключить влияние зазора на результаты бесконтактных измерений элект- ропроводности. На рис. 3.12 изображены кривые полного относительного сопротивления нагруженных датчиков разной длины. Из рис. 3.12 следует, что чем длиннее датчик, тем меньше вносимый 57
в него относительный импеданс. Это естественно, так как при значительной длине датчика его верхние витки оказываются слабо связанными с образцом, и дальнейшее увеличение длины приводит к незначительному росту абсолютного значения вно- симого импеданса. В то же время собственное полное сопротив- (jALq ление датчика с увеличением длины быстро растет, что и приводит к умень- шению величины относительного вно- симого импенданса. Абсолютное значе- ние вносимого импеданса при увеличе- нии длины датчика и при условии, что плотность намотки остается постоян- ной, непрерывно растет, достигая мак- симума при у —> оо. Учитывая сказанное, можно сделать вывод о том, что для получения макси- мальной величины относительного сиг- нала, пропорционального длину обмотки датчика следует выбирать по возможности малой. Как видно из рис. 3.12, кривые полного относительного сопротивления датчиков различной дли- ны имеют максимум активного вносимого сопротивления при Р ж 3, т. е. эти кривые так же, как и при различных Рис. 3.12. Годографы полного сопротивления датчиков различной длины, расположенных над проводящим неферромагнитным полу- пространством (а = 0). зазорах, приблизительно подобны. Учитывая изложенное, мож- но сформулировать следующее правило подобия для накладного датчика: «Кривые полного относительного сопротивления на- груженного накладного датчика при изменении его параметров или зазора между ним и образцом приблизительно подобны». Это правило позволяет установить однозначное соответствие между геометрическими размерами датчика, рабочей частотой и электропроводностью образца, с одной стороны, и границами характерных участков на кривых полного сопротивления на- груженного датчика, с другой. Первый участок, отличающийся быстрым ростом активного вносимого сопротивления, определя- ется значениями 0,1 <Г [3 <Г 2, второй участок, на котором бы- стро изменяется в основном реактивное вносимое сонротивле- 58
ние, определяется значениями 2 < р < 5, третий участок, на котором активное вносимое сопротивление уменьшается, за- нимает область р 5. До настоящего времени при определе- нии параметров датчика и рабочей частоты, соответствующих выбранному для работы участку кривых полного сопротивле- ния, требовались длительные экспериментальные работы. Ис- Рис. 3.13. Зависимости активной и реактивной компонент вносимого сопротивления от частоты. пользуя указанные выше границы и задаваясь средним на выбранном участке значением параметра Р, можно легко опре- делить требуемое соотношение между диаметром датчика и рабочей частотой питающего его тока. Таким образом, правило подобия позволяет распространить результаты, полученные при анализе работы накладного датчика вполне определенной геометрии, на большую часть применяемых на практике дат- чиков. При использовании накладного датчика для измерения электропроводности материалов важйо знать не только значе- ния вносимых в датчик сопротивлений. Наибольший интерес представляет величина чувствительности датчика к изменениям электропроводности, характеризуемая соответствующими про- изводными 7?вн и Хвн по электропроводности. Кривые этих производных, полученные графическим дифференцированием основных кривых, приведенных на рис. 3.10, показывают, что максимум производной активного вносимого сопротивления получается при Р 1,3, а реактивного — при р 3. При разработке измерительных устройств, основанных на использовании вихревых токов, весьма важно знать зависи- мости вносимого импеданса от частоты тока, питающего датчик, 59
и величины радиуса обмотки последнего. Эти зависимости, рассчитанные по формулам (3.8), (3.9), для случая, когда обмотка датчика расположена над поверхностью массивного медного (о = 5,7-107 ом"1 м"1) образца, представлены на рис. 3.13. Расстояние между серединой длины обмотки датчика и поверхностью образца составляет 1 мм. Анализ этих кривых (при учете логарифмического масштаба) показывает, что при низких частотах активное вносимое сопротивление изменяется пропорционально квадрату частоты, а при высоких — про- порционально корню квадратному последней. Реактивное вно- Рис. 3.14. Эквивалентная схема датчика, расположенного над проводящей пластиной. симое сопротивление при высоких частотах изменяется прямо про- порционально частоте. Рассмотрим теперь подробнее воздействие на датчик неферромаг- нитной проводящей пластины. С ростом толщины (см. рис. 3.8, а) активное вносимое сопротивление сначала растет, достигает макси- мума и затем падает. Чем больше при этом электропроводность материала, тем раньше наступает максимум и тем больше его величина. Как уже указывалось в § 3.4, предельная кривая полного сопротивления на комплексной плоскости является полуокружностью. Это значит, что макси- мально возможная величина вносимого в датчик активного сопротивления равна половине максимального реактивного. Наличие максимума у кривых рис. 3.8, а можно объяснить, заменив воздействующую пластину вторичной замкнутой на- коротко катушкой с активным сопротивлением Т?2 (опреде- ляемым удельным сопротивлением материала пластины и ее толщиной) и реактивным сопротивлением Х2, как показано на рис. 3.14. Как известно, при такой замене вносимое в датчик сопротивление (СОМ)2 Я2 Лвн ~ R\ + ’ (3.55) где М — коэффициент взаимной индукции между датчиком и эквивалентной катушкой. Можно считать, что велчины М и Х2 при изменении толщи- ны меняются слабо, так как расстояние между датчиком и об- разцом остается постоянным. При малых толщинах пластины эквивалентное сопротивление Т?2 будет очень большим и ве- личиной Х2 в знаменателе по сравнению с ним можно будет пренебречь. Тогда 2?вн будет обратно пропорционально Ri, 60
и, следовательно, с увеличением толщины будет увеличивать- ся. С ростом толщины пластины активное сопротивление эквивалентной катушки будет уменьшаться и, наконец, сравня- ется с ее реактивным сопротивлением. Это равенство будет соответствовать максимуму кривых (см. рис. 3.7). Дальнейшее увеличение толщины приведет к еще большему уменьшению Д2, что, в свою очередь, приведет к уменьшению 7?вн. Когда толщина пластины станет больше глубины проникновения поля датчика, вносимое сопротивление перестанет изменяться. Изменение вносимого реактивного сопротивления (см. рис. 3.8), носит иной характер. Его максимум лишь незначительно превышает Хвн для бесконечно большой толщины. Это можно объяснить следующим образом. Вносимое реактивное сопро- тивление в соответствии с рис. 3.14 определяется так: вн Для очень тонких пластин активное сопротивление эквивалент- ной катушки велико, и именно оно определяет рост Хвн, с ро- стом толщины. Когда же с ростом последней Т?2 перестает изме- няться, рост Хвн прекращается. Кривые (см. рис. 3.8) позволяют для каждого значения элек- тропроводности материала пластины, рабочей частоты или диа- метра датчика определить ту наименьшую толщину, при которой ее дальнейшее увеличение не сказывается на величине вно- симых сопротивлений. Эта величина толщины является практи- чески глубиной проникновения поля в образец. Анализ кривых (см. рис. 3.7, 3.8, 3.9) показывает, что при малых значениях па- раметра р поле проникает в образец на 2 ~ 2,5 длины радиуса При увеличении параметра р глубина проникновения поля по отношению к радиусу уменьшается и, например, при Р — 10 составляет всего 0,25 длины радиуса. Толщина пластины прак- тически перестает влиять на величину вносимого сопротивле- ния при где 6 — глубина проникновения в образец поля плоской волны. Для раздельного контроля толщины и электропроводности пластин параметры Р и £ следует выбирать такими, чтобы была достаточно высокой чувствительность датчика к изменениям контролируемых параметров, а соответствующие им годографы на комплексной плоскости пересекались под достаточно больши- ми углами. 61
В заключение отметим, что хотя весь изложенный в главе III материал получен для датчиков с пренебрежимо малыми линей- ными размерами обмоток или датчиков в виде тонкостенных ци- линдрических катушек, полученные результаты и выводы мож- но распространить на реальные датчики с обмотками прямо- угольного сечения. При этом эквивалентный диаметр катушки [24] можно определить по следующей формуле: Рэ-/)ср (3.57) где Dt — внутренний, a De — внешний диаметры катушки. Экви- валентное расстояние между датчиком и образцом ha = h + 4- • (3-58) где I — длина катушки. При анализе работы длинных катушек-датчиков следует поль- зоваться формулами и таблицами для тонкостенных цилиндри- ческих катушек (§ 3.3, 3.4), вводя эквивалентный радиус в со- ответствии с выражением (3.57). § 3.6. Воздействие проводящего ферромагнитного образца на накладной параметрический датчик Задача о взаимодействии накладного датчика и ферромаг- нитного образца в теории контроля методом вихревых токов имеет весьма большое значение, так как сплавы железа и дру- гих ферромагнитных металлов являются основным сырьем для машиностроительной промышленности. Однако в силу значи- тельных математических трудностей эта задача до настоящего времени не решена. В общем случае магнитная проницаемость является функцией напряженности магнитного поля, и вслед- ствие этого уравнение (1.6), описывающее поле в присутствии ферромагнитной среды, оказывается нелинейным, что в значи- тельной мере затрудняет решение поставленной задачи. Учи- тывая, однако, что при контроле с помощью накладного датчи- ка напряженности полей в силу слабой связи между ним и об- разцом обычно невелики, можно с некоторым приближением считать магнитную проницаемость постоянной величиной. 62
В этом случае, используя выражение (1.37) и методику, изложен- ную в § 3.3, получаем следующее выражение для импеданса, вносимого в катушку проводящим ферромагнитным полупро- странством 09 __________ ZBH = j Г 72(ХД)е-2Лх (ечх_ 1)2 . Z J Р% + уХ2 + /(0<5Щ10 Входящий в это выражение интеграл не берется, хотя и может быть протабулирован на ЭЦВМ. Задачу определения ZBII в этом случае можно решить, воспользовавшись приближенным выра- жением для поля накладного датчика в соответствии с материа- лом главы II. Функция <рх для проводящего ферромагнитного полупространства в соответствии с (1.31) при ц2 = Нз =’ Ц, d^> оо имеет вид — . . Зц — У"9 4- /432 /о Ф1 = 7Ф1 = 7 ----, (3.59) 3|1 + /9 + № V ’ где Р = В ]/ соо|10Н = ₽о /Й- Подставляя (3.59) в (3.48), получаем следующее выражение для вносимого импеданса За 1------ ZBH= /24• 10-7• й)7?Ж2<Г+ . (3.60) Зц + Г9 + /432 ’ Значения функции фх приведены в табл. 12 приложения. Для случая неэлектропроводящего (о = 0) магнитного полу- пространства формула (3.59) принимает вид (3.61) Из этого следует, что вносимое сопротивление положительно и имеет чисто реактивный характер. Из выражений (3.59) и (3.61) следует также, что максималь- ное значение модуля функции <рх равно единице при ц —> ос. Это значит, в частности, что плоская катушка, лежащая на поверх- ности ферромагнитного полупространства, может иметь мак- симальную индуктивность лишь в два раза большую, чем ее индуктивность в свободном пространстве. 63
Рис. 3.15. Годографы функции ф! для про- водящего ферромаг- нитного полупрост- ранства. При достаточно больших значениях параметра [3 и относительной магнитной проницаемости, т. е. при ₽>1, н>1 формула (3.59) принимает вид 3 — <р‘ = '—ж—• <3'62> у р где ₽о = R V СОбЦо . В этом случае параметром функции <рх является отношение Ро/’Кн» т- е- на комплексной плоскости при изменении а или ц функция будет выражена одной кривой, и раздельный контроль этих величин будет затруднен. На рис. 3.15 приведено семейство кривых, построенных по формулам (3.59), (3.62) для различных значений параметров [3 и ц. Эти кривые харак- теризуют величину вносимого в датчик проводящим ферромагнитным полупро- странством импеданса, отнесенного к величине Zo - 24 • 10~7(0 W2e“ (3.63) пропорциональной начальному сопротивлению датчика. Из рис. 3.15 следует, что в общем случае проводящего полупрост- ранства вносимая индуктивность может принимать как поло- жительные так и отрицательные значения. Если материал по- лупространства ферромагнитен, то при любой электропровод- ности можно так подобрать частоту питающего датчик тока, что вносимое сопротивление будет чисто активным. Наибольшие углы между направлениями изменения вноси- мого сопротивления при изменении магнитной проницаемости и электропроводности получаются в области малых значений параметров Риц. Это значит, что при необходимости раздель- 64
пых измерений а и ц необходимо работать именно в этих областях. Приближенные выражения для импеданса, вносимого про- водящими ферромагнитной пластиной или двуслойной средой, можно получить, подставив соответствующие параметры в вы- ражение (1.31) и использовав затем выражение (3.48). Для дву- слойной ферромагнитной среды с параметрами слоя «2, сг2, Ц2 и нижнего полупространства о3, р,3 функция имеет вид ц2 /9 +/4^ (Зц3 - /9 4- /43«) + Ф1 = 7 ----г - -------------г----— •-> Нз У 9-1-7431(3^+ ]/9 4 -/4^) {- + [Зц* V9 + /43з - Нз (9 + /4₽|)] th /9 + (3,64) -|- [Зц2 /9 4/'Фз + Из (9 4- /4322)1 th У 9 4-7'43^ Как и ранее, параметры среды вх дят в эту формулу функцио- нально по-разному. Это означает, что и в случае ферромагнит- ной двуслойной среды имеется возможность раздельного много- параметрового контроля. Рис. Г3.16. "Вариант кон- струкции накладного пара- метрического датчика с маг- нитопроводом. § 3.7. Теория параметрического накладного датчика с магнитопроводом В технике, использующей метод вихревых токов, часто при- меняются накладные датчики с магнитодиэлектрическим магни- топроводом (рис. 3.16). Литературных источников, посвящен- ных анализу таких датчиков, весьма мало. Единственной работой, непо- средственно связанной с указанным вопросом, является, по-видимому, статья [25]. В ней на основе решения задачи о поле датчика с магнитопро- водом (в присутствии проводящего образца) выведена формула для рас- чета вносимой в датчик проводимо- сти. Однако авторы не приводят пол- ных таблиц полученных функций, и поэтому использовать результаты этой статьи практически невозможно. Приведенная ниже теория накладного параметрического дат- чика с магнитопроводом основана на несколько ином подходе к указанной проблеме, дающем, однако, результаты, вполне приемлемые для инженерных расчетов. Этот подход основан на втором приближенном решении задачи о поле датчика (§ 2.3). 5 Заказ № 1315
Как будет показано подробно в главе IV, реакция проводящей слоистой среды на катушку с током I эквивалентна (прибли- женно) воздействию зеркального изображения этой же катушки с током ^ф1(^)| 3 7 где — эквивалентный радиус катушки. Используя это по- ложение, можем записать выражение для полного напряжения на катушке с магнитопроводом в присутствии проводящей сло- истой среды. и - ип + С7ВН - ZH[ + jaMi^ (Ь) I з , (3.65) где Z7H и Z7BH — соответственно начальное и вносимое напря- жения, а М — коэффициент взаимной индукции между катуш- кой с магнитопроводом и ее зеркальным отображением. Выра- жение (3.65) получено в предположении, что ось датчика пер- пендикулярна поверхности проводящей среды. Разделив равенство (3.65) на ток /, получим выражение для полного сопротивления датчика с магнитопроводом, располо- женного над проводящей слоистой средой Z — Zn + ZBII = Zn + coMcpi(?i) | з , (3.66) где 2ВИ = ЙВД| _з_. (3.67) I 2НЭ Как и ранее (§ 2.3), считаем, что М является экспоненциально" функцией зазора h. За величину h в данном случае будем при- нимать расстояние от торца магнитопровода до поверхности про водящей среды. Тогда _ З/г Мпе R3. (3.68) Итак, из формул (3.67), (3.68) следует, что для расчета вно- симого в датчик с магнитопроводом сопротивления необходимо знать значение коэффициента взаимной индукции MQ датчика и его зеркального изображения при нулевом зазоре и величину эквивалентного радиуса 7?э. Значение Мо может быть определено экспериментальным пу- тем с помощью основного и идентичного ему вспомогательного 66
датчика. Сомкнув оба датчика рабочими торцами (чтобы зазор равнялся нулю) и измеряя высокоомным вольтметром напряже- ние UQ на одном из них при известном токе /, питающем другой, легко определить ЛГ0 = -^. (3.69) Эквивалентный радиус датчика для ориентировочных расче- тов можно определить как средний радиус его катушки (3.70) где ^-толщина катушки. Более точно величину эквивалентного радиуса можно най- ти экспериментально, исходя из уравнения (3.68). Если расстоя- ние между торцами датчика h устано- а вить таким образом, чтобы М = т. е. чтобы показатель экспоненты вы- ражения (3.68) стал равен 1, получим /?э - 3h. Указанные пути для определения величин Мо и Rq не являются един- ственными — могут быть использованы и дру гие, например аналитические. Итак, учитывая изложенное, можем записать окончательное выражение для полного сопротивления датчика с маг- нитопроводом, расположенного на .рас- стоянии h от поверхности проводящей среды, ЗП I z = Z„4- й* Ф1.(Х)1Х = 2?ГЭ • (3-71) 50 L 5 10 R, ом Рис. 3.17. Годограф полного сопротивления датчика с магнитол ров одом (а = 0). Для подтверждения и уточнения полученных выражений проведем сравнение теоретических результатов с эксперимен- том. На рис. 3.17 приведена полученная экспериментальным пу- тем кривая изменения полного сопротивления датчика, с магни- топроводом, имеющего следующие параметры: 2а — 4,8 мм; 2Ь = 10,2 мм; 2с = 2,5 мм; I — 10,4 мм, число витков медной проволоки W = 125. Значения удельной электропроводности металлов, с которыми проводился эксперимент, приведены в 5* 67
таблице 12.'»]. С помощью формулы (3.71) и таблицы функции <рт для проводящего полупространства вычислены значения полного сопротивления датчика и соответствующие материалам из таб- лицы точки обозначены на рис. 3.16 буквами В', С', D', F'. Эквивалентный радиус определен по формуле (3.70) 7?э =1,2 + 2,55 - 3,75 мм. Как видно из рис. 3.17, рассчитанные теоретически точ- ки ложатся на кривую, но несколько выше, чем соответству- ющие им экспериментальные точки. Такое небольшое рас- хождение теоретических и экспериментальных данных вполне допустимо для большинства Таблица значении электропровод- инжрнрпньтх пясчртов ности образцов инженерных расчетов. В результате проведенного Наимено- вание точки рисунка Проводник Значения электропро- водности (олгЧм-МО- анализа можно сделать сле- б) дующие выводы. Годографы А В G D Е F G Н I личение ров КОН! Воздух Нерж, сталь Цирконий Свинец Олово Латунь А л юм. сплав Алюминий Медь его абсолюта ?ролируемых 0 метрического датчика с маг- 1,4 нитопроводом и без него ана- 2,0 логичны по форме. Однако величины сопротивлений, 14’ вносимых в датчик с магнито- 23 проводом, значительно боль- 35 ше. Это весьма важное пре- i 57 имущество рассматриваемого датчика, так как означает уве- [ой чувствительности к изменению парамет- образцов. Существенно при этом отметить, что с увеличением длины катушки датчика не происходит умень- шения относительной чувствительности AZBH/ZH, как это полу- чается у датчиков без магнитопровода. Это объясняется тем. что магнитопровод обеспечивает практически одинаковую связь с образцом любого витка катушки, в то время как у обычных дат- чиков верхние витки имеют с ним весьма слабую связь. Недостатком датчиков с магнитопроводом является большая температурная нестабильность, поскольку применяемые для магнитопроводов магнитодиэлектрики .еще весьма несовершен- ны в этом отношении. § 3.8. Распределение плотности вихревых токов в образце Вопрос о распределении вектора плотности вихревых токов в образце при использовании МВТ для целей дефектоскопии или бесконтактных измерений электрофизических параметров ве- 68
ществ представляет большой интерес. Это связано с тем, что выявление трещин и других дефектов наиболее эффективно в том случае, когда направление их наибольшей протяженности перпендикулярно направлению вектора плотности вихревых токов. При измерениях электропроводности или магнитной проницаемости веществ знание распределения плотности токов в образце позволяет судить о характере усреднения получен- ных результатов по его объему. Если пренебречь токами смещения, то, как известно, плот- ность тока в проводящем теле определяется следующим выраже- нием: Т=бЁ. (3.72) Напряженность электрического поля, создаваемая током витка или обмотки накладного датчика, расположенных так, что их ось перпендикулярна поверхности проводящего тела, в соответ- ствии с выражением (1.27) определится так: Ё=: (3.73) Подставляя (3.73) в (3.72), получаем выражение для плотности вихревых токов / = —/сооЛф. (3.74) Отсюда следует важный вывод: плотность вихревых токов в об- разце имеет только <р-ю компоненту и так же, как и вектор-по- тенциал магнитного поля, от координаты <р не зависит, т. е. то- ки, наведенные полем датчика в слоистой среде, текут по кон- центрическим окружностям, соосным с витками датчика. Воспользовавшись соотношениями (1.25)-4-(1.26) для век- тор-потенциала поля, можно легко найти общие выражения для плотности вихревых токов в любом слое слоистой среды и под- стилающем полупространстве qpz । + Ъе . h = — jO.Swp.UpCpffJW ™ Л ‘о р Xe~Xh (Х/?)Л(^р)с?Х; (3.75) ОО Tn = -jO,b<d^n<5nRjW\ fn.e4^h (3.76) где qp = X2 + ](£>вр МоНр? а — эквивалентный радиус дат- чика. 69
Интегралы в полученных формулах не выражаются через из- вестные функции, однако их значения могут быть получены численными методами, например, с помощью электронных вы- числительных машин. Приближенные, но вполне пригодные для инженерных расчетов выражения для плотности вихревых токов в слоистой среде могут быть получены при использовании материалов главы II, и, в частности, § 2.3. Подставив равенства (2.59), (2.60) в (3.74), запишем искомые приближенные выра- жения для плотности вихревых токов в любом слое слоистой среды и подстилающем полупространстве соответственно “ • TW7 34% — Ю -> ]Р = — 7®бр ~ У 7 Х __ __ 3h +4VV)« <3-77’ x=5r .__ 3h т . vIV7 34% — 10 / 7?i X / V 2R /о пах J — У “7"' fne - з • (3.78) Здесь R — большее из Rlt p. В частном случае, когда образец имеет форму пластины выражения для функций fp и фр, кото- рые теперь следует обозначить как /2 и ф2, можно получить из равенств (1.32), (1.33), выведенных для двуслойной среды, по- лагая о3 = 0, |13 = 1, т. е. q3 = к j __ %я {я И- e<l . /Q 7о\ /2“ + ( j Ф-2 -----2? 9) . (3.80) (И% + ?)2 - (цХ — <72)e~9d ' Подставляя равенства [3.79], [3.80] в [3.77], получим прибли- женное выражение для расчета плотности тока в ферромагнит- ной пластине, толщиной J, электропроводностью о и относитель- ной магнитной проницаемостью ц. .__3h 7 = _/(оДИоИ/Г^(^я71О1 У аНХ v + <?) gg(d+2) + (их - ?) (<Ж) I ,38n (HX + g)2e9d- (их- яге-** |х » ’ v • Если в последнем равенстве толщину пластины устремить в бесконечность, получим приближенное выражение для плотно- сти вихревых токов, наведенных полем датчика в проводящем 70
полупространстве (3.82) Если полупространство неферромагнитно, то i = — 4^2 IWK (34х — 10) у ( /V + /софэ — Z ^+>014- 3h » (3.83) 1Л=’5в R — большее из 7?1? р. Кривые изменения модуля плотности вихревых токов в этом последнем случае при условии, что виток или короткая катушка наложены непосредственно на образец Рис. 3.19. Кривые изменения модуля плотности вихревых токов, возбуждаемых наклад- ным датчиком в проводящем неферромагнитном полупро- странстве при р = Ri и h = 0. Рис. 3.18. Кривые изменения модуля плотности вихревых токов, возбуждае- мых накладным датчиком в проводящем неферромагнитном полупространстве (h --= 0). приведены на рис. 3.18. Они построены в соответствии с выра- жением (3.83). Для получения обобщенных кривых плотность вихревых токов, отнесена к величине IWIR\* Как видно из рис. 3.18, в точках на оси датчика плотность вихревых токов 71
равна нулю. С увеличением координаты р она растет и достигает максимума непосредственно под витками обмотки датчика. При дальнейшем увеличении координаты р плотность тока непре- рывно падает. При изменении координаты z (z — отрицательно) в направ- лении образца плотность тока также падает. В соответствии с выражением (3.83) закон убывания модуля плотности тока опре- деляется экспонентой --1/ У 81+16^4 (<Wo)2 1-9 Г 1 На рис. 3.19 показана зависимость модуля плотности тока о г обобщенной координаты z/R-^ при р = Rv Естественно, что при больших значениях электропроводности образца или частоты питающего датчик тока (т. е. при больших значениях парамет- ра Р —-Ri ]/cocf|1oL как и в случае плоской волны, плотность тока убывает быстрее. Как показывает анализ выражения (3.83), в плоскости z — = const при р Rr фаза плотности тока остается неизменной, а при р R± — меняется в соответствии с экспонентой где а ₽Р = р У wo- При изменении координаты z фаза плотности тока изменяется линейно.
ГЛАВА IV ТЕОРИЯ НАКЛАДНЫХ ТРАНСФОРМАТОРНЫХ ДАТЧИКОВ Трансформаторные датчики, как об этом уже упоминалось во введении, являются многообмоточными, имеющими одну токо- вую и одну или несколько измерительных обмоток. Эти датчики имеют ряд преимуществ перед обычными однообмоточными дат- чиками. Одно из этих преимуществ — более высокая стабиль- ность получаемых сигналов. При использовании однообмоточ- ных (параметрических) датчиков собственное сопротивление об- мотки суммируется с полезным вносимым сопротивлением, и температурная и другие нестабильности собственного сопро- тивления оказываются прямыми, трудно устранимыми погреш- ностями измерения тех или иных параметров исследуемых об- разцов. Двухобмоточные датчики можно сделать принципиаль- но свободными от этого недостатка. Для этого токовую обмотку необходимо питать током постоянной амплитуды, а напряжение на измерительной обмотке измерять вольтметром с очень высо- ким входным сопротивлением. Повышенная температурная стабильность наряду с другими преимуществами, например отсутствием гальванической свя- зи между измерительными и питающими датчик цепями, делает трансформаторные датчики весьма перспективными, хотя, ко- нечно, большая простота однокатушечных датчиков и более широкий частотный диапазон оставляют за ними право на су- ществование. § 4.1. Воздействие проводящего образца на датчик с пренебрежимо малым поперечным сечением обмоток Основной задачей исследования трансформаторных датчи- ков является получение и анализ выражений для э.д.с. или на- пряжения измерительных обмоток в присутствии сред различ- ной структуры. 73
Рассмотрим вначале датчики с пренебрежимо малым попе- речным сечением обмоток, а затем распространим полученные результаты на реальные датчики. Взаимное расположение об- моток в этом случае показано на рис. 4.1. В соответствии с выражением (1.27) напряженность элект- рического поля можно записать так: Ё — —/(0РИ1Л1, (4.1) где Л1— вектор-потенциал суммарного поля в верхнем полу- пространстве, определяемый выражениями (1.24), (1.37), (1.38), Рис. 4.1. Расположение обмо- ток классического трансфор- (1.39) в зависимости от структуры среды, над которой размещается датчик, a W± — число витков токо- вой обмотки. Э.д.с. измерительной обмотки определится как циркуляция на- пряженности электрического поля Ё, по контуру измерительной об- мотки радиуса R 2 %2=-. $ Edp, (4.2) О маторного датчика. где р — контур интегрирования. В силу того, что напряженность Е постоянна на любом со- осном с токовой обмоткой контуре - 2л/?2ТУ2£, (4.3) где W2 — число витков измерительной обмотки датчика. Под- ставляя равенство (4.1) в выражение (4.3), получим £2 ~~j2n^W1W2R2A1. (4.4) Подставляя в (4.4) выражения (1.24), (1.37), (1.38), (1.39), мож- но получить соответственно точные выражения э.д.с. измери- тельной обмотки для сред различной структуры. Однако интер- претация этих выражений даже с помощью ЭЦВМ весьма затруднительна. Учитывая это, в дальнейшем используем при- ближенные решения для поля в верхнем полупространстве, полученные в главе II. Более общим из этих решений является второе, поэтому применим именно его. 74
С помощью выражений (2.58) и (4.4), получим следующую формулу для э.д.с. измерительной обмотки в первом прибли- жении: (34х —10) Г 2 е~ ** I — — 3 — /^®(34х — ItyWiWtyRjTte 2R /Ф1(Х)| 3 . (4.5) 4П 1 2R Здесь с = |fe2 — fex|, R — радиус большей обмотки датчика. Подставляя в выражение (4.5) р0 = 4л • 10~7 гн)м, получим _ Зс >34-10-Чх—03) 2R 1~ __3 Ч~ ^2 —/со 34 • 10’7 (х — 0,3)UZ1UZ2yO^e 2Й /<Р1(М х=_з. • (4-6> 2R В соответствии с этой формулой можно построить эквивалент- ную схему замещения датчика над средой, изображенную на рис. 4.2, считая, что первое слагаемое выражения (4.6) является В соответствии с этой схемой замещения, выражение (4.6) можно переписать в виде Йг — — — ]^М32.1 ф1 (X/) | х_з_ , (4.7) 2R где м12 34 • 10-7 (х — 0,3) «7/^2 (4.8) 75
— взаимная индуктивность между токовой и измерительной об- мотками, а — 3 + Z'2 М32 = 34-10~7(z — VllJbe 2R (4.9) — взаимная индуктивность между изображением токовой об- мотки и измерительной обмоткой. Первая часть формул (4.5) ч- (4.7) дает выражение для на- чальной э.д.с. датчика $0 яри отсутствии проводящей среды, вторая часть — э.д.с., наводимую вихревыми токами проводя- щей среды, т. е. вносимую э.д.с. $вн. Во втором приближении такой простой интерпретации не получается. Поступая анало- гично предыдущему, т. е. подставляя выражение (2.62) в (4.4), после простых преобразований получаем %2 — /и34 • 10-’ (% — 0,3) (Г + 0,42 Г в ); _ — /со34 • 10-’ (% — 0,3) 17х172 Ф1 (X) | 3 + х=в _-М±. I Л . + 0,42е * Ф1(Х)1 (4.10) X=R~ Вторая часть полученного выражения определяет вносимую э.д.с. Введем следующие обозначения для падений напряжения: U = ~$, U. = (0-34- 10“7(х — 0,3) И\Ж2 УТЩЦI. (4.11) С учетом этих обозначений выражения для напряжений на из- мерительной обмотке в первом и втором приближениях соот- ветственно можно записать так: / __ Зе 3 (/h+h2) \ I й2==]йп[е 2Rе з, (4.12) Х~ 2R / Зс , с \ / /г 1+^2 I + 0,42е~ * ) + jU0 U” -Ф1 (X) | з + х=я + 0,42е в“ф1(Х)| !. (4.13) х=я Итак, получены окончательные выражения, определяющие на- пряжение на измерительной обмотке датчика, расположенного 76
Рис. 4.3. Годографы нормиро- ванного напряжения, вноси- мого неферромагнитным по- лупространством в измеритель- ную обмотку трансформатор- ного датчика (первое прибли- жение). ванного напряжения, вноси- мого неферромагнитным полу- пространством в измеритель- ную обмотку трансформатор- ного датчика (второе прибли- жение). вад слоистой средой с любыми параметрами. Расчет этого вы- ражения для каждой конкретной структуры проводящей среды легко осуществить, если в формулы (4.12) или (4.13) подставить соответствующие выражения для функции <рх (X), полученные в 77
главах II, III. Основные закономерности изменения напряже- ния на измерительной обмотке трансформаторного датчика в за- висимости от параметров исследуемых сред (образцов) имеют такой же характер, как и подробно рассмотренные в главе III закономерности изменения полного сопротивления парамет- рического датчика. Изменение нормированного напряжения измерительной об- мотки (£72вн/£Л)) при воздействии неферромагнитного полупро- странства в первом и втором приближениях показано соответ- ственно на рис. 4.3, 4.4. Табл. 13 значений этого отношения приведена в приложении. Воздействие па датчик проводящей неферромагнитной пластины пропорционально функции Ф1((3, rf/2Z?). Ход этой функции был показан на рис. 3.9. Ис- пользуя (3.59), (3.64) и (4.12), (4.13), легко получить выра- жения, определяющие напряжения на измерительной обмотке в присутствии ферромагнитной среды. Общие закономерности изменения t/BH при воздействии ферромагнитного полупрост- ранства весьма близки рассмотренным в § 3.6 закономерностям изменения ZBH. § 4.2. Сравнение датчиков с различным расположением обмоток Накладные трансформаторные датчики могут быть выпол- нены двумя способами — с разнесенными токовой и измеритель- ной обмотками или «в два провода», когда обмотки наматывают- ся сразу жгутом из двух проводов. При намотке первым способом возможны два варианта размещения обмоток: первый — когда ближе к исследуемому образцу размещается токовая обмотка, второй — измерительная. Вначале рассмотрим вопрос о том, какой из этих вариантов предпочесть, а затем проанализируем способ намотки «в два про- вода». Оперируем формулами первого приближения (§ 2.3), поскольку они более просты. Разделив обе части равенства (4.12), определяющего напряжения измерительной обмотки дат- чика с разнесенными обмотками, на величину начального на- Зс пряжения С7Н — UQ е 2R при отсутствии проводящего образ- ца, получим f/0TH-/+^ 2R <Р1 (М L з. (4.14) Если токовая обмотка расположена ближе к поверхности образ- ца. то с - h2 - hv (4.15) 78
а выражение (4.14) принимает вид З/ii ' | U0Tn = i+je 1Гф1(М1 з- (4.16) X=2R Если же вблизи поверхности образца располагается измери- тельная обмотка, то с = h± - h2 (4.17) и _3/ь I UoTit=i+ie <Р1 (X) I 3. (4.18) А 2R Если обозначить теперь расстояние от поверхности проводя- щей среды до ближайшей обмотки датчика через Я1? то форму- лы (4.16) и (4.18) можно объединить в одну: 3Hi I UoTn- j + je «Ф1(М1_ з. (4.19) *~2R Таким образом, с точки зрения функциональных зависимостей оба случая взаимного расположения обмоток накладного пара- метрического датчика равнозначны. Необходимо отметить толь- ко одно существенное обстоятельство. Когда токовая обмотка расположена ближе к поверхности проводящей среды, воздей- ствие последней на нее существенно больше, чем на измеритель- ную обмотку, особенно при малых зазорах. Изменение сопротив- ления токовой обмотки, вызванное воздействием среды, может оказать нежелательное влияние на режим питающего эту обмот- ку генератора. Чтобы избежать это, токовую обмотку следует располагать дальше от поверхности образца, чем измерительную. Для сравнения двухобмоточного датчика этого типа с други- ми датчиками определим величину максимально возможного сигнала на его измерительной обмотке. Как известно из преды- дущей главы, функция Ф1 максимальна при Р —> ос, и ее предел в этом случае ИтФ1 = — 1. (4.20) 3->ОО Подставив этот предел в выражение (4.19) при Нг = 0, получим в результате, что полное относительное напряжение на изме- рительной обмотке датчика равно нулю, т. е. максимальное вно- 79
симое образцом напряжение по модулю равно начальному на- пряжению, наводимому токовой обмоткой в отсутствии образца, а по фазе противоположно ему. Это значит, что относитель- ная чувствительность датчика рассматриваемого типа, равная отношению С7ВН/ Z7H, может достигать 1. Рассмотрим теперь особенности датчика, намотанного спо- собом «в два провода». В соответствии с принятой эквивалент- ной схемой напряжение на измерительной обмотке в этом слу- чае определяется выражением (4.7). Однако при таком способе намотки формулы (4.8) и (4.9) для расчета коэффициентов взаим- ной индукции уже не справедливы. Для определения этих ве- личин необходимо воспользоваться соответствующими форму- лами работы [24]. Разделив обе части равенства (4.7) на напряжение измери- тельной обмотки в отсутствие образца Uh. == /(071/12/ч получим выражение для относительного напряжения этой об- мотки tfoTH = 1 + Ф1 (М I з. (4.21) Коэффициент взаимной индукции двух индуктивностей Lr и Л2 можно, как известно, следующим образом выразить через коэффициент связи: М - к (4.22) Для катушек, намотанных «в два провода», коэффициент связи близок к 1, a L± = L, (так как размеры обмоток и количество витков совпадают). Следовательно, Коэффициент связи Л2з измерительной обмотки и зеркального изображения токовой всегда меньше единицы, поэтому второй член равенства (4.21), определяющий относительное вносимое образцом напряжение, будет всегда меньше единицы. Действи- тельно, Таким образом, с точки зрения относительной чувствительно- сти датчик, намотанный способом «в два провода», уступает дат- чику с разнесенными короткими обмотками. 80
Проведем теперь сравнение трансформаторного и парамет- рического датчиков по относительной чувствительности. Полное сопротивление нагруженного параметрического датчика можно выразить следующим образом: Z = ZH + ZBH, (4.24) где ZH — начальное, a ZBH — вносимое сопротивление датчика. В соответствии с эквивалентной схемой С7ВН = /(оМ7Ф1 (X), (4.25) где М — коэффициент взаимной индукции между обмоткой дат- чика и ее зеркальным изображением. Деля равенство (4.25) на ток I и полученное ZBH на ZH = 4- получаем = (4.26) Если даже коэффициент связи между обмоткой датчика и ее зер- кальным изображением станет равным единице, т. е. М = LH, то присутствие в знаменателе активного сопротивления 7?н приводит к тому, что выражение (4.26) будет меньше единицы. Следовательно, относительная чувствительность параметри- ческого датчика, определяемая как отношение ZBH/ZH, меньше, чем трансформаторного. §4.3. Обобщение полученных результатов на датчики с прямоугольным сечением обмоток и выбор их оптимальной геометрии Применяемые на практике датчики имеют обычно прямо- угольное сечение обмоток (рис. 4.5). Поскольку параметры про- водящих сред полагаем не зависящими от напряженностей элект- рического и магнитного поля, то в данном случае применим принцип суперпозиции полей витков токовой катушки. Следо- вательно, эквивалентная схема, изображенная на рис. 4.6, и выражение (4.7) справедливы и для обмоток прямоугольного сечения. Таким образом, можем считать, что поле в верхнем полупространстве (где расположен датчик) образовано токовой обмоткой с током I и ее зеркальным изображением с током /Ф1(Х). Коэффициенты взаимной индукции М12 и М32, входящие в выражение (4.7), можно определить любым из известных мето- дов. Воспользовавшись, например, методом эквивалентных кон- 6 Заказ № 1313
туров [24], можно рассматриваемую задачу привести к случаю обмоток с пренебрежимо малым поперечным сечением. Тогда М12, М32 можно рассчитывать по формулам (4.8), (4.9). Схема замещения датчика в этом случае будет иметь вид, приведенный на рис. 4.7. В соответствии с работой [24] эквивалентные пара- метры датчика определяются следующим образом: — £\ср fl + % j » \ 6Z>icp. / 1>2Э = ср ( 1 + ' Ь^2 Ср. ' где D1 ср ^2 ср __Dii + 2 __ &2i + &2е 2 (4.27) (4.28) (4.29) (4.30) Л28 = Я + 4. (4-31) A Л1Э = Я + 4- + ^ + т. (4.32) Все обозначения в выражениях (4.29) -j- (4.32) ясны из рисун- ков 4.6, 4.8. Часто — <1,' тогда можно считать, что Рэ = Z)cp. В общем случае функция <рх зависит от величины радиуса каждого витка обмотки, имею- щей больший диаметр, но учет этой зависимости приведет к не- оправданным усложнениям расчетных формул. Поэтому будем ^считать, что <рх, определяется, наряду с параметрами образца, средним радиусом большей обмотки. Таким образом, расчетные формулы, выведенные в предположении малости размеров се- чения обмоток, могут быть использованы и для датчиков с об- мотками прямоугольного сечения. . Теперь перейдем к определению оптимальной конструкции датчика. Эквивалентный диаметр большей обмотки выбирает- ся исходя, с одной стороны, из требований локальности изме- рений, т. е. допустимого усреднения величины измеряемого па- раметра по некоторому объему образца (см. § 3.8), а с другой — наряду с частотой питающего тока, из условий оптимальности 82
Рис. 4.5. Трансформатор- ный датчик с обмотками прямоугольного сечения. Рис. 4.6. Схема замещения датчика с обмотками прямоугольного сечения, расположенного над контролируемым образцом: I, 2 — обмотки датчика; 3 —фиктивна обмотка. Рис. 4.7. Эквивалентная схема датчика с прямоугольными сечениями обмоток. 6* 83
контроля того или иного параметра образца (т. е. исходя'из оптимального значения параметра р, определяющего наивыгод- нейшую рабочую область напряжений измерительной обмотки на комплексной плоскости с точки зрения получения наиболь- шей чувствительности датчика или возможности отстройки от мешающих факторов). Радиальные размеры сечения обмоток следует выбирать по возможности большими, так как это означает увеличение числа витков и, следовательно, увеличение полезного сигнала. Ес- тественно, что это увеличение не должно идти в ущерб требованиям локальности измерений. Получаемый сигнал тем больше, чем меньше расстояния между обмотками и по- верхностью контролируемого образца, поэтому, если специаль- ные требования к величине этого расстояния отсутствуют, его следует выбирать минимальным. Осталось выяснить теперь вопрос о влиянии длин обмоток датчика на величину абсолютного и относительного полезного сигнала. На основании равенств (4.6) и (4.29) (4.32) можем за- писать выражение для вносимого напряжения измерительной обмотки датчика с прямоугольным сечением обмоток _й П1э+П23 С/В[[ = /о)-34.10-7(х-0,3)1У11У2/Я^^7е 2йэ /Ф1 (X). (4.33) Связь размеров сечений обмоток с числом витков можно выра- зить так: W-, - 1 ’ % где d± и g72 — диаметры проводов обмоток. Подставив последние выражения в (4.33) и выбрав для определенности /?2Э > 2?1э, получим окончательно / /? \ 7 z - 3(4Н+^+3/2+2т) [/вн = /о)34-10-’к1-э-0,3)^2//?1эЛ2эе 4R23 /Ф1(Х). (4.34) Рассмотрим теперь влияние длин обмоток для двух наиболее целесообразных случаев расположения обмоток. Пусть в первом 84
случае обе обмотки расположены на одном расстоянии от по- верхности образца, т. е. == ^2э, Т — 0. Тогда выражение (4.34) можно переписать так: ( R х j ,____________3 (4Н+?Ж2) tZBII =/(0.34.Ю-7 _18-о,з !^ру;?187?2эе /Ф1(Х)- (4.35) Исследуя это выражение на максимум при изменении 1± или/г, получим условие ^ОПТ = -^2Э* (4.36) о Полученный результат носит приближенный характер не толь- ко потому, что для анализа использовали приближенное реше- ние задачи о поле датчика, но и потому, что обмотки заменили витками с некоторыми эквивалентными расстояниями до по- верхности образца 1/2. На самом деле с увеличением длин об- моток вносимое напряжение непрерывно растет и максимума не имеет. Вначале этот рост значителен, а затем он замедляет- ся, так как верхние витки оказываются слабо связанными с об- разцом. Учитывая это, можно сказать, что слишком длинные датчики применять нецелесообразно, и выражение (4.36) дает ориентировочный размер оптимальной длины датчика. Поскольку длины обмоток Z2 входят в выражение (4.35) одинаково, их следует брать равными. Теперь рассмотрим второй случай, когда токовая обмотка расположена выше измерительной. Исследуя на максимум вы- ражение (4.34), получаем 1г опт — "7j“ ^2э* (4.38) Эти выражения, так же как и предыдущие, носят приближен- ный характер, однако вполне приемлемы для инженерных рас- четов. Мы рассмотрели влияние длины датчика на абсолютную величину вносимого напряжения измерительной обмотки. По- скольку на этой обмотке имеется также значительное начальное напряжение UH даже в отсутствии образца, представляет ин- терес анализ влияния длин обмоток на величину относительно- го вносимого напряжения (UBh/Ur). Воспользовавшись равен- 85
ствами (4.14) и (4.31), (4.32), получим выражение для относи- тельного вносимого напряжения 3 2Н+?2 С70Тн=/е 2Ra <PiW, (4.39) откуда следует, что с ростом 1ч величина С70тн падает. Сравним теперь изменение абсолютной и относительной величин напряжения измери- тельной обмотки. На рис. 4.8 изображены графики функ- ций __________________ ^=2^е 4Й2Э (4-40) И 3Z2 = (4.41) характеризующих соответст- венно £7ВН и йОтн при изме- нении Z2. Из графиков сле- дует, что обе величины по- лучаются достаточно больши- ми при условии Z2 = (0,2 ---0,4) Я2э. § 4.4. Многообмоточные трансформаторные датчики. Неклассические диаграммы вносимых напряжений Рассматривая во введении вопрос о классификации индук- тивных датчиков, мы уже говорили о существовании класси- ческих и неклассических датчиков. До сих пор анализировались только первые. Диаграммы их вносимых напряжений (сопротив- лений) представляют собой определенные, исследованные и рассмотренные выше, семейства кривых на комплексной плоско- сти. Эти кривые называем классическими диаграммами вноси- мых величин. Выбирая те или иные значения параметров систе- мы датчик — образец, можно перемещать рабочую область на комплексной плоскости с тем, чтобы в каждом конкретном слу- чае получить оптимальные, в определенном смысле, условия измерений или контроля. Однако не всегда классические диа- граммы удовлетворяют требованиям практики. Возникает во- прос, нельзя ли форму этих диаграмм изменять по желанию? 86
Приближенное выражение для напряжения на измеритель^ ной обмотке классического двухобмоточного датчика имеет вид ^2 = 7^н+ ]U.e Ф1(Л,)| з . Л~ 2H (4.42) ^Величины С7Н и Uo от электрофизических свойств среды не за- висят. Они определяются только геометрией датчика и величи- ной питающего тока. Таким образом, поведение амплитуды и фазы вектора Uz определяется только функцией <рх (X). Величина <рх (X) является, как это было показано в предыду- щих главах, нелинейной функцией электрофизических свойств среды и эквивалентного радиуса большей обмотки. От эквива- лентного радиуса меньшей обмотки функция <рх (X) не зависит. Следовательно, эта функция остается неизменной для измери- тельных обмоток любого радиуса при условии, что он меньше, чем радиус токовой обмотки. Это обстоятельство, в свою очередь, дает возможность утверждать, что напряжения на измеритель- ных обмотках трансформаторного накладного датчика, содер- жащего одну токовую и несколько измерительных обмоток раз- ных эквивалентных радиусов (меньших радиуса токовой обмот- ки), являются линейно зависимыми функциями электрофизи- ческих свойств среды, а значит и обобщенных параметров. В случае, если эквивалентные радиусы измерительных об- моток больше эквивалентного радиуса токовой обмотки и отли- чаются между собой, то напряжения на них являются линейно независимыми функциями свойств могут быть использованы для со- здания накладных датчиков, обла- дающих совершенно новыми свой- ствами по сравнению с классиче- скими. 1. Дифференциальный накладной датчик среды. Обе эти особенности Рис. 4.9. Расположение обмо- ток дифференциального дат- чика. Дифференциальным называем такой многообмоточный датчик, результирующее напряжение изме- рительных обмоток которого равно нулю (или, что несколько хуже, постоянно) при любых значениях электрофизических параметров однородной, в общем случае, слоистой среды. Такой датчик можно получить, используя свойство напряжений изме- рительных обмоток быть линейно зависимыми функциями <рх (X). 87
Как было отмечено выше, это свойство обмотки имеют при > Т?2, > R3 (7?i — радиус токовой обмотки). Расположение обмоток такого датчика показано на рис. 4.9. В соответствии с выражением (4.6) напряжения на измери- тельных обмотках можно определить следующим образом: где _ Зс . _ 3 (fti+^д) I U2 = ]U(Yle 2Rl (}2е 2R1 ф1 (М | 3 » 2Й1 (4.43) _ Зс _3 I v 7 Us = ]U(3e 2R1 + ]U2Rl ф1(М1 з » X=2R? U02 = co • 34 • 10-7 (J-—0,3) WiW2 VRjh I; ,o , r_______________________(4.44) с/оз = (0-34-IO'7 (—0,3) WV3 I. Напомним, что эти выражения справедливы при условиях: которые следует учитывать при конструировании датчика. Для того чтобы последний обладал свойствами дифференци- ал ьности, необходимо условие U2~ и3 = 0 (4.45) Как следует из выражений (4.43), это возможно, когда и(2-исз = 0. (4.46) Подставляя (4.44) в (4.46), получим следующие условия диффе- ренциал ьности: = i/ZI 4 /4 47ч W3 V И. /Г2—0,ЗД1- Таким образом, если включить обмотки навстречу и выполнить условие (4.47), то их результирующее выходное напряжение бу- дет равно нулю независимо от электрофизических параметров однородной многослойной среды. Кроме того, легко видеть, что условия (4.47) обеспечивают нулевое выходное напряжение и при изменениях зазора между датчиком и поверхностью конт- ролируемой среды. 88
Напряжение будет отличным от нуля только в тех случаях, когда в поле датчика (в направлении координаты р) появятся резкие неоднородности электрофизических свойств образца (на- пример, трещины, вмятины, резкие изменения структуры и т. п.). Эти замечательные свойства датчика делают его весьма перспективным для неразрушающего контроля качества изде- лий. между собой смещенных. Радиус - 2R Рис. 4.10. Расположение обмоток векторно-разностного датчика. -у-ИЯ с? 2. Векторно-разностный датчик* Векторно-разностным будем называть датчик, состоящий из одной токовой и двух измерительных обмоток, имеющих в об- щем случае различные эквивалентные радиусы, различное ко- личество витков и аксиально " ~ токовой обмотки меньше ра- диуса каждой из измеритель- ных обмоток, причем послед- ние включены последователь- но — встречно [26]. Важной особенностью датчика этого типа является возможность получения годографов вноси- мых напряжений, сущест- венно отличающихся от ана- логичных годографов класси- ческого трансформаторного датчика. Эта возможность обусловлена именно тем об- стоятельством, что вносимые напряжения измерительных обмоток разных диаметров, боль- ших нежели диаметр токовой, являются линейно независимыми функциями электрофизических параметров образцов. Располо- жение обмоток векторно-разностного датчика с необходимыми обозначениями показано схематично на рис. 4.10. Обмотка с радиусом Rr — токовая, а обмотки с радиусами Rz и R%— из- мерительные. В соответствии с материалом, изложенным в § 4.1, напряжения на измерительных обмотках U2 = ]Uп2 + ]U2R* (pi (X) I 3 ? 2R3 . . . -з 1 1 'Vs = jUns + }'U2R3 (pi (X) I 3 . __________ * Выходное напряжение равно геометрической разности векторов напряжений измерительных обмоток, поэтому датчик назван векторно- разностным. 89
Поскольку эти обмотки включены навстречу, результирующее напряжение U равно разности У2и С73: г7 = 7(^н2-^нз) + ^вн. (4.49) Разность начальных напряжений зависит только от геометрии датчика, а информации об электрофизических свойствах изде- лия не несет и, в этом смысле, не представляет интереса. Полез- ным является результирующее вносимое напряжение, которое можно представить в виде ^вн — (^) | з &3/Ф1 (М | з » (4.50) Л“ 2В2 2R? где . -a к% — и02^ 2Й* ; — о к3 = U^e . Анализ выражения (4.50) показывает, что годографы вноси- мого напряжения в этом случае значительно отличаются от классических. Рассмотрим этот вопрос более подробно для векторно-разно- стного датчика, расположенного над неферромагнитными прово- дящими полупространством или пластиной. Введем следующие обозначения: Ро2 = -^2 V*СОбНо, Роз = Вз т=-^>1' тогда Q ___ ЗОЗ . Р°2 ~ ’ d md 2/?2 2/?з С учетом введенных обозначений перепишем выражение (4.50) ^вн . ( Роз md а \ I (R 3 X | к2 ~ т ' 2RS 1 к'1 ' 2Лз 'к= — 2Н3 2jR3 обозначив (4.52) ^ВН — im /с2 ~ 7Ч>1Р’ 90
получим _я_* <4-53> 2R» 2R3 Используя табл. 11 приложения для значений функций q>lt можно легко рассчитать значения функции ф1р. Кривые этой функции для различных значений отношения к31к2 при тп = 2 приведены на рис. 4.11. Сплошными линиями показан ход функции для случая, когда датчик расположен над полупро- странством, а штриховыми — для случая очень тонких пла- стин . Из этих рисунков следует, что годо- графы векторно-разностного датчика могут существенно отли- чаться от соответствующих годографов классических датчи- ков. Так, например, рациональным выбором отношения к^к^ можно значительно расширить область между кривыми, соот- ветствующими полупространству и очень тонкой пластине. По- скольку все кривые промежуточных толщин лежат между ни- ми ,е такое расширение упомянутой области будет способствовать повышению разрешающей способности датчика при измерении параметров пластин. Наилучшие условия раздельных измере- ний толщины и электропроводности получаются в тех случа- ях, когда углы пересечения упомянутых линий максимальны. Оказывается, что, например, для случая ш = 2 эти условия имеют место при к3)къ — 0,5 ч- 0,4. Годографы функции ф1р при изменении толщины (сплошные линии) и электропроводно- сти (штриховая линия) при указанных выше условиях показаны на рисунке 4.12. При Л3//с2 = 0 или к%1к3 = 0 векторно-разно- стный датчик, естественно, вырождается в классический (см. рис. 4.11, а, з). Влияние зазора между датчиком и образцом на величину относительного вносимого напряжения при hr = hi = h3 по- казано на рис. 4.13. Легко заметить, что эти годографы также существенно отличаются от соответствующих годографов клас- сических датчиков. Так, например, при к^къ = 0,4 реактивная компонента относительного напряжения при малых зазорах су- щественно не зависит от их изменений. Несмотря на то, что анализ векторно-разностных датчиков проведен на основе приближенных выражений для напряжений на измерительных обмотках, сравнение кривых, полученных теоретическим и экспериментальным путями, показывает хо- рошее совпадение результатов, особенно в области средних значений параметров |3ОЗ (Р03 8). Для того чтобы лучше иллюстрировать возможность дат- чиков исследуемого типа, рассмотрим ряд рисунков с экспери- 91
Рис. 4.11. Годографы функции <pip (Р^) 92
93
ментально полученными годографами результирующих напря- жений на измерительных обмотках. На рисунке 4.14,а, б пред- ставлены годографы выходного напряжения датчика при изме- нении толщины пластин не только для больших, но и для малых значений параметра роз. Их основная особенность — наличие больших углов между линиями изменения толщин и электро- проводностей. Это весьма важное отличие векторно-разностных датчиков от классических, у которых, как известно, в области 0,1 \Uo2. т=2 Роз~3 Рис. 4.12. Годографы функции ф1р(Роз, d/2Rb). -0,2> 0,1 0,9> Рис. 4.13. Кривые зависимости относительного вноси- мого напряжения от величины зазора между датчиком и образцом при различных значениях отношения к^к^. малых р03 упомянутые линии практически сливаются. На рис. 4.15 показан годограф вносимых напряжений для датчика, имею- щего следующие параметры: 7?1=1,5 мм, 7?2=7,5 мм, 7?з=10мм, С2 = 0, с3 == 2 мм, Wr — 260, W2 = 410. Частота, питающего дат- чик тока составляла 125 гц. Сплошными показаны линии измене- ния толщины, оцифрованные ее значениями в миллиметрах, штриховыми — линии зазора, точки которых характеризуют его изменения через 1 мм. Интересная особенность рассматри- ваемых кривых состоит не только в том, что угол между ли- ниями толщины и электропроводности ближе к величине 90°, чем у классических датчиков, но еще и в том, что линии элект- ропроводности и линии зазора в большой области комплексной плоскости весьма близки. Это означает, что при измерении тол- щины пластин с использованием методов фазовой отстройки от влияния электропроводности, можно одновременно отстроиться и от влияния зазора. На рис. 4.16 показаны годографы вноси- мых напряжений для датчика с параметрами 2R1 = 2,5 мм, 94
27? 2 = 3,5 мм, 27? 3 = 5 мм, = 0,41, съ = 0, с3 — = 2 мм, W\ = W2 = W3 = 90. Сечение катушек составляло 0,5 X 0,5 мм2. Регулировка параметра С7ОЗ/ £702 осуществля- лась изменением смещения (с3) третьей катушки датчика. В качестве образцов использовались ленты толщиной от 30 до 90 мк с р03 = 6,6. Напряжение, наводимое на второй катушке датчика без поднесенного к нему металла, составляло 12 мв. а 0,07 Рис. 4.14. Экспериментально снятые кривые зависимости относительного вносимого напряжения измерительной обмотки от толщины. Сплошными линиями показаны линии изменения толщины при различных зазорах, штриховыми показаны линии изменения зазора. Точки на этих линиях соответствуют изменению зазора на 0,1 мм. Как видно из рисунка, с помощью фазовой отстрой- ки можно устранить влияние зазора в пределах 0,1 0,8 мм. Сравнивая годографы, приведенные на рис. 4.16, с годографами классического датчика, можно заметить, что угол между линией изменения толщины и линией изменения зазора для векторно- разностного датчика можно регулировать в больших пределах, чего нельзя получить при аналогичных параметрах классичес- кого датчика. Кроме того, изменением параметров векторно- 95
разностного датчика можно установить рабочую точку на мни- мой оси, что весьма облегчает компенсацию вносимого напряже- ния, когда это необходимо. На рис. 4.17 показана зависимость амплитуды выходного на- пряжения этого же векторно-разностного датчика от зазора для Рис. 4.15. Экспериментально снятые кривые вносимого напряжения при Роз - 1,5, Р03 = 1,9. материалов с различной толщиной. Можно видеть, что при из- менении зазора от 0,8 до 1,4 мм амплитуда сигнала очень мало зависит от изменения зазора, в то время как чувствительность к толщине достаточно велика. Экспериментально полученные годографы снимались на установке, блок-схема которой пред- ставлена на рис. 4.18. Генератор, являющийся источником пере- менного тока, питает токовую катушку компенсатора Л4 и токо- вую катушку датчика Л1. Сопротивление RT включено для уве- 96
личения выходного сопротивления генератора. Измерительные катушки датчика и L3 нагружены на переменные сопротивле- ния R3 и Т?4, которые служат для изменения коэффициентов Л’2 и к3. Вторичная катушка компенсатора используется для компенсации наводимой на измерительных катушках датчика э.д.с. в отсутствие исследуемого образца. Сигнал, полученный 300 н Im Uqh-mk6 100 150 0 50 _j_____1__________—।— КгО^мкв 50- Рис. 4.16. Экспериментально снятые кривые вносимого напряжения при р0з = 6,6. на выходе системы компенсатор — измерительные катушки датчика, усиливается селективным усилителем В6-2 и измеряет- ся фазочувствительным вольтметром В5-1, опорный сигнал на который подается с сопротивления R2. Рис. 4.17. Зависимость ампли- туды выходного напряжения векторно-разностного датчика от зазора для образцов раз- личной толщины. Рис. 4.18. Блок-схема установ- ки для исследований векторно- разностного датчика. 7 Заказ № 1315 97
В заключение подведем некоторые итоги. Углы между линиями толщины и электропроводности на комплексной плоскости векторно-разностных датчиков могут быть получены в несколько раз большими, чем у классических датчиков ври тех же значениях параметра р0. Надлежащим выбором геометрических и обмоточных пара- метров векторно-разностного датчика можно обеспечить неза- висимость амплитуды вносимого напряжения от изменений (в некоторых пределах) зазора между датчиком и поверхностью изделия. Надлежащим изменением параметров векторно-разностного датчика можно обеспечить перемещение рабочей точки в любую область комплексной плоскости.
ГЛАВА V ТЕОРИЯ ЭКРАННЫХ ДАТЧИКОВ §5.1. Классические экранные датчики Классическими экранными датчиками будем называть двух- обмоточные датчики с расположением обмоток по разные сторо- ны контролируемого изделия, как это показано на рис. 5.1. Контролируемое изделие может иметь многослойную структу- ру с произвольными параметрами. Так же как и в предыдущей главе, анализ работы датчика проведем, пользуясь схемой за- мещения датчика с обмотками пренебрежимо малого поперечно- го сечения, изображенной на рис. 5.2. Эквивалентные парамет- ры схемы замещения определяются в соответствии с выражения- ми (4.27) -ь (4.32). По аналогии с описанным в § 4.1 можно следующим образом записать выражение для напряжения на измерительной обмот- ке датчика: U2 = _g2 = /2ncon\W?2Z3, (5.1) Рис. 5.1. Расположение обмо- ток классического экранного датчика: 1 — токовая обмотка; 2 — измери- тельная обмотка. Рис. 5.2. Схема замещения классического экранного дат- чика. 7* 99
где А3 — вектор-потенциал поля на контуре измерительной об- мотки датчика, определяемый выражением (1.26}. Таким образом, подставляя в (5.1) выражение (1.26) для А3 при условии о,, = 0, = 1, можем получить точное выражение напряжения измерительной обмотки в присутствии слоистых сред любой структуры. Поскольку анализ точных выражений затруднен, все дальнейшие рассуждения будут проведены на основе второго приближенного решения задачи о поле датчика в присутствии проводящего образца (§ 2.3). Подставляя в (5.1) выражение (2.60) при условии сг3 = 0, ц3 = 1, получим следую- щую формулу для расчета напряжения на измерительной об- мотке в общем случае тг-слойной среды: ^2 = 7®^(34х—10) W^2/y7^-/ne-Ac| з , где с — расстояние между обмотками, a R — большее из Ri, Rz. Функция определяется из уравнений (1.18) с учетом со- отношения (1.19). Если контролируемый материал или изделие имеет форму однослойной пластины с параметрами о, ц, с/, то, воспользовав- шись (2.67) при условии а3 = 0, pt3 = 1, получим выражение для напряжения на измерительной обмотке в этом простейшем случае: и 2 = /о -g (34х — Ю) /едГ ix । 3d (5-2) _____________________+ 2R____________________________ Х 0ц /9 + ^ ch * /9+ /^ + (9ц2 + 9 + /4^) sh * /9 + /4^ Выражение для £72 во втором приближении можно получить аналогично. Введя обозначения, ип — (34х — 10)Жх1Г2 Г, (5.3) 1 3d рз __________________6ц /9~+Ж2* 2В_____________________ % /9 + ch JL У9+Ж2 + (9н2 + 9 + /432)зЬ А /9 + /4р2 (5-4) 100
и подставляя их в (5.2), получим U* = jU,-F3. (5.5) Величина UQ есть не что иное как напряжение, наведенное в из- мерительной обмотке током /, при отсутствии контролируемого изделия Uo - о)М/, (5.6) где М — коэффициент взаимной индукции между обмотками в свободном пространстве. Подставляя выражение (5.6) в (5.5), получим Рис. 5.3. Эквивалентная йг = ]®MiF3. (ЬЛ) На основании этого выражения мож- но составить эквивалентную схему экранного датчика с учетом наличия контролируемого изделия, изобра- женную на рис. 5.3. Можно считать, что пластина между обмотками дат- схема классического экран- ного датчика. чика отсутствует, а напряжение на измерительной обмотке определяется коэффициентом взаимной индукции обмоток в свободном пространстве М и величиной эквивалентного питающего датчика тока 4 = if3. (5.8) Величина й0 от параметров контролируемого изделия не зави- сит, всю информацию о нем несет функция F3. Разделив обе части равенства (5.5) на С70, получим выражение для относи- тельного напряжения измерительной обмотки экранного дат- чика ита = = jFs = ?3. (5.9) и о Рассмотрим характер изменения этой функции в случае нефер- ромагнитной пластины. Положив в выражении (5.2) ц = 1, получим 3d тт я /6 У 9 +/4,Во2 2R с/отн — ^3 — --_ ----------------2----------• 6 V9 + Ch V 9 + /432 + (18 + /4pg) sh /9 +/4р2 (5.10) Годографы относительного напряжения измерительной обмот- ки, рассчитанные по формуле (5.10), показаны на рис. 5.4. 101
Сплошные кривые соответствуют изменению отношения d)2R для ряда постоянных значений параметра ро, штриховые — из- менению параметра ро. Для весьма тонкого листа, когда d[2R 1, d ]/(оор0 1, т. е. когда толщина пластины значительно меньше диаметра об- моток датчика и глубины проникновения поля плоской волны, 102
выражение (5.10) принимает следующий вид: U — (5 'тп ~ G ’-/2rZ7?cos/Xo * Весьма близкий результат для этого же частного случая полу- чен Леви [10]. Годограф выражения (5.11) представляет собой полуокружность, характеризуемую параметром 2d$'Q[R. Из рисунка 5.4 и выражения (5.10) следует, что годографы вектора относительного напряжения на измерительной обмот- ке при изменении обобщенных параметров с?/27? и [30 в общем случае отличаются друг от друга и пересекаются между собой. Этот факт дает основание утверждать, что с помощью экранных датчиков при использовании фазочувствительных методов воз- можно проведение раздельных измерений толщины d и электро- проводности а листовых материалов. Отметим при этом весьма важное обстоятельство. Как следует из выражений (5.2) и (5.9), абсолютное и относительное значения напряжения U2 не за- висят от расположения контролируемого листа между обмотками датчика. Необходимо только, чтобы плоскость листа была пер- пендикулярна оси датчика, а расстояние между его обмотками постоянным. Если лист весьма тонкий, то его параметры d и а входят в формулу (5.11) для выходного напряжения датчика в виде произведения orf. Следовательно, в этом предельном слу- чае эффекты, вызываемые изменением электропроводности или толщины, не различаются, и раздельные измерения этих пара- метров невозможны. С уменьшением толщины или электропроводности листа его экранирующее действие уменьшается до нуля, и напряжение на вторичной обмотке достигает своего максимального значения, равного С увеличением произведения cd экранирующее действие листа увеличивается, напряжение на измерительной обмотке уменьшается, стремясь в пределе к нулю. Как видно из рис. 5.4 при значениях 2d$l/R = 2Rd(datyL0 <75 чувствительность датчика к изменениям толщины и элект- ропроводности невелика. То же самое можно сказать и в отно- шении значений упомянутого произведения, больших 30. Таким образом, наиболее пригодной для контроля о и d листов являет- ся область 2,5 < M)qi0 < 15. (5.12) Остановимся теперь коротко на выборе основных параметров датчика. Рабочая частота питающего тока и радиус большей об- мотки датчика выбираются, исходя из требуемого значения обобщенных параметров [3 и d/2R, с тем чтобы рабочая точка 103
находилась в наиболее благоприятной для данных измерений области комплексной плоскости. С увеличением радиуса мень- шей обмотки величины U2 и Uo растут. Учитывая это, если не преследуются специальные цели, следует радиусы обоих обмо- ток датчиков выбирать одинаковыми. В этом случае Un = 24 - (5.13) Приведенные выше формулы (5.2) н- (5.13) дают наименьшие погрешности при 0,5<х<1, С увеличением относительного расстояния между обмотками дат- чика величины U2 и й0 падают, поэтому это расстояние целе- сообразно выбирать наименьшим. Отметим важное преимущество экранных датчиков перед накладными. Если в соответствии с выражением (5.2) построить зависимость фазового угла напряжения на измерительной об- мотке от толщины контролируемой пластины, оказывается, что эта зависимость носит линейный характер. Таким образом, при- бор с экранным датчиком, предназначенный для измерения тол- щины изделий, будет иметь линейную шкалу. § 5.2. Неклассические экранные датчики Особенностью экранных (так же, как и накладных) датчи- ков является зависимость выходного напряжения от обобщен- ных параметров d/2R и |3 = Rв которые наряду с дру- гими переменными входит радиус большей обмотки R. Этот факт, можно использовать для построения датчиков с новыми свойствами. Рассмотрим это на двух простейших примерах. 1. Дифференциальный экранный датчик Для дефектоскопии изделий с двусторонним доступом (на- пример, листовых материалов) весьма полезен дифференциаль- ный экранный датчик, который не реагировал бы на изменения электрофизических параметров изделия, пока оно однородно и давал сигнал только при появлении резких неоднородностей (трещины, раковины, резкие местные изменения структуры и 101
т. п.). Такой датчик аналогичен накладному дифференциальному и состоит из токовой обмотки радиуса Н1Ч и измерительных об- моток радиусов /?2 и 7?3, как показано на рис. 5.5. Измеритель- ные обмотки включены встречно. Радиус токовой больше радиу- сов измерительных обмоток, причем для определенности по- ложим R± Rz 7?3. Запишем выражения для на- пряжений на измерительных^- мотках: tr2 = Uq2F3 (tfj; (5.15) U3 = (5.16) Результирующее напряже- ние встречно включенных изме- рительных обмоток теперь мож- но записать в виде йр = (Un- Ul2) Fs (/?,) = 34-10 __ _ Зс2 р _____Зс3 XlV2//?2e 2Й- — — 0,3}W3VR3e L (5-17) Отсюда следует, что экранный датчик может быть дифферен- циальным, при условии t>03 - Uoi = 0. (5.18) Из этого условия получаем соотношение для обмоточных и геометрических параметров дифференциального экранного дат- чика ^3 о ч = ,/яГ лГ 0,3 Т73 V R, ' /?2 _ 0 zb —2R2 - Рис. 5.5. Расположение обмоток дифференциального экранного датчика. е • (5.19) Для датчика, измерительные обмотки которого расположены в одной плоскости, т. е. съ = с3, имеем более простое условие ж <5-20> Л1 0,3 Мы видим, что соотношения для параметров обмоток экранного и накладного дифференциальных датчиков оказались идентич- ными. 105
2. Векторно-разностный экранный датчик Если радиусы измерительных обмоток экранного датчика больше радиуса токовой, то напряжения на них в общем случае являются линейно независимыми функциями обобщенных па- раметров <7/27?, р. Снабдив экранный датчик несколькими та- кими измерительными обмотками, будем иметь ряд напряжений, несущих линейно независимую ।---1—। (?з с2 \~2Ri —- 1 н---------- информацию о контролируемом изделии, аналогично тому, как это получилось бы при питании токовой катушки напряжениями нескольких частот. Это свой- ство экранных датчиков (как и накладных) можно использовать для получения совершенно но- вых, принципиально отличаю- щихся от классических, диа- грамм выходного напряжения. Рассмотрим кратко простейший неклассический экранный век- Рис. 5.6. Расположение обмоток векторно-разностного экранного датчика. торно-разностный датчик. Расположение обмоток этого датчика в общем случае приведе- но на рис. 5.6. Расстояние между токовой и измерительными обмотками с2 и с3 могут быть равными. Для определенности считаем /?1</?2<Т?3. (5.21) В этом случае выражение для напряжения на измеритель- ной обмотке с радиусом 7? 2 имеет вид С/о2^з№). (5.22) На измерительной обмотке с радиусом 7?3 С/з- С/озЯ(7?з). (5.23) Выходное результирующее напряжение векторно-разностного экранного датчика Up = й™ ГF3 (7?з) - 4г1 ^3 (Я2)1 • (5-24) I- U оз -I Введем обозначение ?’зр = А (А’з) - ?3 (Я2), (5.25) U оз
^02 W2 i/оз Рис. 5.7. Годографы норми- рованного напряжения век- торно-разностного экранно- го датчика. где Л2 Яг ~0,3 ' 3 (Сг____Сз_ 2 ' В2 Н3 (5.26) С учетом этого обозначения выражение для выходного на- пряжения можно переписать в виде (5.27) Поведение вектора Up на комплексной плоскости опреде- ляется функцией F3p. При Щг/#оз = 0, т. е. при отсутствии 107
обмотки 2, функция F3p переходит в F3 (7?3), и датчик становит- ся классическим. В общем же случае при U^3 =/= 0 функ- ция F3p порождает годографы, существенно отличающиеся от классических. На рис. 5.7, <2, б в качестве примера приведены годографы для векторно-разностного датчика, у которого Д2/Д3 = 0,5, а Uoz/ С70з = 0,8 и 1,2 соответственно. На рис. 5.7, в приведены для сравнения годографы вектора классического датчика (C70?/t70. = 0). Сплошными линиями проведены годографы при Р03 = const и d/2R3 = var, штриховыми — при |3ОЗ = var, d/2R3 = const. Как видим, годографы, построенные при одних и тех же значениях обобщенных параметров, существенно от- личаются друг от друга. Характерно, например,что чувствитель- ность к толщине у векторно-разностного датчика более постоян- на, чем у классического. При й02/ UQ3 = 0,8 существенно выро- сла фазовая чувствительность функции F3p и, следовательно, ре- зультирующего выходного напряжения датчика к изменению параметров образца. Приведенные примеры иллюстрируют воз- можность значительного изменения годографов неклассичес- ких датчиков, что в ряде случаев может оказаться весьма по- лезным для контроля изделий методом вихревых токов.
ГЛАВА VI ТЕМПЕРАТУРНАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ НАКЛАДНЫХ И ЭКРАННЫХ ДАТЧИКОВ Точность и стабильность работы приборов, основанных на использовании метода вихревых токов, в значительной мере определяются температурной стабильностью датчиков. Ниже дается методика оценки температурного коэффициента ссг изменения полного сопротивления параметрического датчика и коэффициентов изменения выходного напряжения накладно- го трансформаторного и экранного датчиков. Температурный коэффициент определяется как отношение приращения сопро- тивления или выходного напряжения при изменении темпера- туры на 1° С к полному значению указанных величин. § 6.1. Температурная стабильность параметрических датчиков Полное сопротивление накладного параметрического дат- чика Z — /?н -J- ]®Ln + ZBH- (6-1) Таким образом, необходимо исследовать температурную стабильность начального активного сопротивления 7?н, началь- ной индуктивности Ln и полного вносимого сопротивления ZBH. Температурный коэффициент начального активного сопротивле- ния aR в основном определяется температурным коэффициентом удельного сопротивления материала провода обмотки апр, т. е. ОСд — ОСцр, (6.2) Для датчика, обмотка которого намотана медным проводом ак^4-10~3 град'1. 109
Начальная индуктивность датчика при изменении темпе- ратуры изменяется вследствие изменения геометрических раз- меров обмотки, изменения внутренней индуктивности, обусло- вленной магнитным полем внутри обмоточного провода, и из- менения магнитной проницаемости сердечника. Температурный коэффициент индуктивности aL в соответствии с работой [27] определяется выражением ось =- аг + аг -}- ан>, (6.3) где аг — температурный коэффициент индуктивности, учиты- вающий изменение геометрических размеров обмотки; а, — температурный коэффициент индуктивности, учиты- вающий изменение внутренней индуктивности; ctp, — температурный коэффициент индуктивности, учитываю- щий изменение магнитной проницаемости сердечника. Для много- витковых катушек, обычно используемых в индукционных дат- чиках, величиной а; по сравнению са,- можно пренебречь. Зна- чение температурного коэффициента проницаемости сердечника можно найти в справочниках и по нему определить . Исследуем теперь величину ссг, используя приближенную формулу для определения индуктивности катушек г _ З-КУ’.рз.Ж* ь 3D + 9/ + Юг ’ где D — средний диаметр обмотки; W — число витков; I — длина обмотки; г — радиальный размер сечения обмотки. Все величины даны в размерностях единиц системы «СИ». Прологарифмировав выражение (6.4), получим 1пЛ = In 8-106 + 2 In D + 2 In И7 — In (3D 4 9/ + Юг). (6.5) Производная натурального логарифма некоторой функции определяется следующим образом: (6.6) Если считать Л = / (t), где t—температура, то из выражения (6.6) следует, что аь=41пЛ- (б-7) Продифференцировав выражение (6.5) по температуре, по- лучим _ 3£)an + 9Zot, + ICrcc aL = 2ao 3D 4- 9/ + lor ’ ’ (6'8) 110
иаг — температурные коэффициенты соответственно диаметра, длины и радиального размера сечения обмотки дат- чика. При соотношении размеров катушки параметрического дат- чика: I 0,3/), г = 0,3/9, близком к оптимальному, вы- ражение (6.8) переходит в следующее: ocL = 2ар — 0,3 (аг +а/ +аг)- (6.9) Если считать, что ап = аг то aL = aD. (6.10) Анализируя выражения (6.8) ч- (6.10), можно сделать сле- дующий вывод. Температурный коэффициент начальной индук- тивности коротких катушек, применяемых в качестве датчиков, определяется в основном температурным коэффициентом сред- него диаметра. Температурные коэффициенты размеров сечения оказывают на него меньшее влияние. Для увеличения стабиль- ности начальной индуктивности датчика необходимо выбирать материал каркаса и пропитывающие обмотку вещества с пре- дельно малыми значениями коэффициентов температурного расширения. Теперь рассмотрим температурную стабильность вносимого сопротивления. В соответствии с выражением (3.18) 2ви = /12.10-’(оИЛ2/)е_'^<р1(Х)| 3. (6.11) x=_d Прологарифмировав (6.11) и продифференцировав полу- ченное выражение по температуре, получим формулу для опре- деления коэффициента температурного изменения, вносимого в датчик сопротивления: ОС-вн “ &D 4“ 6 -р- • &D ОСф. (6.12) Целесообразно напомнить, ч о выражение (6.11), а следо- вательно, и (6.12) справедливо при условии 0,1 <^-<0,4. Температурный коэффициент аФ зависит от параметров среды, однако можно показать, что, кроме этого, он пропорционален ар. Таким образом, температурный коэффициент вносимого со- противления, так же как и начальной индуктивности, в значи- 111
тельной степени определяется температурной стабильностью среднего диаметра датчика. Как показывает выражение (6.12), для поддержания высокой температурной стабильности целесообразно всячески уменьшать расстояние между датчиком и образцом. Это требование совпа- дает с требованиями получения максимальной чувствительности. § 6.2. Температурная стабильность трансформаторных датчиков Приближенное выражение для полного напряжения на из- мерительной обмотке трансформаторного датчика в соответст- вии с материалом главы IV имеет вид и = Е/н + С/вн, (6.13) где ЗС UR = /(017 • IO'7 WtW2 (х — 0,3) 7Л/>2 е D Ц (6.14) г________________________________ . ивп = j(DlT-lO-'WifVz(х — 0,3) Уl\D,e D /<рь (6.15) Таким образом, необходимо исследовать температурную ста- бильность начального Ua и вносимого £7ВН напряжений. При питании датчика от генератора тока I = const. Если входное сопротивление прибора, измеряющего напряжение на вторичной обмотке датчика, достаточно велико, ;о ток вторич- ной обмотки практически равен нулю, и собственные активные сопротивления обмоток датчика не влияют на температурную стабильность начального и вносимого напряжений. В этом со- стоит одно из основных преимуществ трансформаторных датчи-' ков. Логарифмируя и дифференцируя выражение (6.14), как в предыдущем случае, получаем выражение для температурного коэффициента начального напряжения Л/ Qp ан = х- б^ — + 0,5 + 57 ~ <6Л6) Для определенности здесь принято, что Z>2 > D19 т. е. Напомним, что используемые нами выражения (6.14), (6.15) получены при условии 0,5<х<1, 0,2 < 0,8. 112
Обычно токовая и измерительная обмотки выполнены из одинаковых материалов и одним способом. В этом случае ар1 = = aD2 и «н = «D + —«Л (6.17) Если с = О, <*н = &D- (6.18) Рассмотрим теперь температурную стабильность вносимого напряжения. Воспользовавшись выражением (6.15) и полагая аналогично предыдущему получим А «вн = «о + -jy (*d — af) + 6 -p-aD + яф. (6.19) При с = 0 или ап = а с ап/г авн = ®d 4- 6 -р- + аф. (6.20) Таким образом, для повышения температурной стабильно- сти датчика следует материал каркаса и вещество для пропит- ки обмоток брать с минимальными температурными коэффици- ентами расширения. Сравнивая температурную стабильность трансформаторно- го и параметрического датчиков, можно сделать следующие выводы. Температурные коэффициенты начальной индуктив- ности параметрического датчика и начального выходного напря- жения трансформаторного датчика, а также соответственно температурные коэффициенты вносимого сопротивления и вно- симого напряжения — одного порядка. Однако температур- ная стабильность параметрического датчика существенно хуже из-за температурных изменений начального активного сопро- тивления. § 6.3. Температурная стабильность экранных датчиков Приближенное выражение для напряжения на измеритель- ной обмотке экранного датчика имеет вид й =/17-10'7и(х — (6.21) Используя это выражение аналогично предыдущему и пола- гая, что Р2>Рх, х = 8 Заказ № 1315 ....
получаем формулу для температурного коэффициента напряже- ния измерительной обмотки экранного датчика: &и “ —ав2)+ 0,5'0^+ ар2)+— а<) 4“ ос/. (6.22) Если то OCpj — 0С/)2, Зс &U = &D + -р- (аР — ас) + <*/’ (6.24) Таким образом, температурные коэффициенты вносимых сопро- тивлений и напряжений накладных датчиков и полного выход- ного напряжения экранного датчика имеют одинаковую струк- туру и порядок. Поскольку выходное напряжение экранного датчика практически не зависит от расстояний между образ- цом и обмотками, то экранный датчик обладает наибольшей температурной стабильностью.
Приложение Таблица 1 и Qi/2 (Qhu) Q'i/2 (chu) и Qi/2 (С1Ш) Q'i/2 (chu) 0,1 2,3912 -98,5794 1,6 0,1448 -0,0933 0,2 1,7121 —23,8522 1,7 0,1243 -0,0716 0,3 1,3297 —10,1212 1,8 0,1067 . -0,0551 0,4 1,0691 — 5,3716 1,9 0,0916 -0,0425 0,5 0,8770 - 3,2153 2,0 0,0788 —0,0329 0,6 0,7283 — 2,0688 2,1 0,0673 -0,0255 0,7 0,6102 — 1,3961 2,2 0,0582 —0,0197 0,8 0,5143 — 0,9753 2,3 0,0501 -0,0153 0,9 0,4354 — 0,6978 2,4 0,0431 —0,0119 1,0 0,3700 — 0,5085 2,5 0,0370 -0,0092 1,1 0,3152 - 0,3757 2,6 0,0319 —0,0072 1,2 0,2690 - 0,2805 2,7 0,0274 -0,0056 1,3 0,2300 — 0,2112 2,8 0,0236 -0,0043 1,4 0,1969 — 0,1602 2,9 0,0206 -0,0034 1,5 0,1688 — 0,1220 3 0,0175 -0,0026 8*
00 СО н* 9П ооооооооо < О'. Сл СО Сс О О О OOOC5-<JbOCC-<!i-*t-* -qo^JOC: Cl OJ-JO CT^OOtnOOU1^ CT) CT) CO 8 Таблиц a
\ 3 V 0,1 0,3 0,8 1 2 0,01 0,027928 0,02154 0,04488 0,05088 0,06372 0,03 0,027900 0,02138 0,04428 0,05011 0,06237 0,08 0,02783 0,02100 0,04282 0,04825 0,05919 0,1 0,027807 0,02 )84 0,04226 0,04754 0,05797 0,3 0,027558 0,01944 0,03721 0,04116 0,04750 0,5 0,027329 0,01821 0,033)0 0,03595 0,03943 0,8 0,027018 0,01661 0,02791 0,02976 0,03048 1 0,026829 0,01567 0,02514 0,02645 0,02610 2 О,026035 0,01211 0,01591 0,01587 0,01326 5 0,024488 0,026689 0,025988 0,025457 0,023588 8 0,023532 0,024260 0,023062 0,022676 0,021690 ОО / 1 73 ——- о \/ 2?/2 V 0,8 1 2 3 0,01 0,06327 0,07722 0,1336 0,1707 0,03 0,06282 0,07668 0,1321 0,1683 0,08 0,06198 0,07531 0,1284 0,1626 0,1 0,06162 0,07i82 0,1269 0,1604 0,3 0,05823 0,06993 0,1140 0,1409 1 0,5 0,05516 0,06562 0,1032 0,1251 0,8 0,05102 0,05997 0,09008 0,1064 i 0,04867 0,05667 0,08296 0,09654 ’ 2 0,03920 0,04418 0,05843 0,05484 5 0,02432 0,02604 0,03006 0,03155 8 0,01743 0,01825 0,02002 0,02064
Та б лица 4 Y 1+^ + 1 -V 2)*' 3 8 10 30 8J 100 0,06280 0,04044 0,03469 0,01416 . 0,025707 0,024610 0,06128 0,03917 0,03397 0,01359 0,0’5451 0,024396 0,05768 0,03629 0,03098 0,01237 0,024918 0,023962 0,05632 0,03522 0.03004 0,01194 0,0247 33 0,023814 0,04481 0,02663 0,02252 0,028690 0,0*34 i9 0,022742 0,03623 0,02068 0,01739 0,026б01 0,022576 0,022071 0,0271)5 0,01468 0,01227 0,024581 0,04777 0,04429 0,02261 0,01193 0,029932 0,023677 0,0’1424 0,04143 0,01069 0,025>88 0,0*4186 0,04503 0,0’5764 0,0’4624 0,022624 0,04103 0,0’8950 0,033093 0,04173 0,0*9395 0,0’1132 0,0’4569 0,0’3687 0,031258 0,0*4751 0,0*3804 Таблица 5 // 1 1 J 1 -Г- :у4 — 1 / 8 10 30 81 11'0 0,2407 0,2510 0,2804 0,2902 0,2914 0,2363 0,2463 0,2747 0,2838 0,2849 0,2259 0,2351 0,2611 0,2695 0,2705 0,2220 0,2309 0,2559 0,2640 0,2650 0,1880 0,1946 0,2129 0,2187 0,2194 0,1619 0,1669 0,1808 0,1851 0,1857 0,1327 0,1363 0,1457 0,1488 0,1491 0,1179 0,1208 0,1284 0,1308 0,1311 0,07391 0,07506 0,07816 0,07913 0,07925 0,03348 0,03372 0,03435 0,03453 0,03455 0,02143 0,02153 0,02178 0,02186 0,02187
00 \ £ 3 \ 0,001 0,03 0,05 100 0,9064 0,5358 0,4754 50 0,45/0 0,7206 0,5851 30 0,2109 0,8312 0,7222 10 0,02461 0,5368 0,6842 5 0,026158 0,1706 0,2651 3 0,022217 0,06335 0,1019 2 0,0’9853 0,02833 0,04592 1 0,0’2463 0,027091 0,01153 0,5 0,0*6158 0,021773 0,022883 0,3 0,0*2217 0,0’6382 0,02Ю38 0,1 0,0’2463 0,0*7092 0,0’1153 0,05 0,0’6158 0,0*1773 0,0*2883 0,03 0,0’2217 0,0’6382 0,0*К38 0,01 0,072463 0,0’792 0,0’1153 0,001 0,03 0,05 100 0,6001 0,0871 0,07248 50 0,3808 0,2486 0,1278 30 0,1662 0,4442 0,3344 10 0,01955 0,4151 0,5175 5 0,024894 0,1366 0,2121 3 0,021762 0,05105 0,08243 2 0,0’7830 0,02283 0,03724 1 0,0’1958 0,025715 0,029348 0,5 0,0*4896 0,021429 0,022338 0,3 0,0*1762 0,0’5144 0,0’8416 0,1 0,0’1958 0,0*5716 0,0*9351 0,05 0,0’4894 0,0*1429 0,0*2338 0,03 0,0’1762 0,0’5144 0,0»8419 0,01 0,0’1958 0,0’5716 0,0’9351
Таблица 6 p2J /'i(a, 3, g, x) dx, a = 0 о o,t 0,3 0,5 1 3 5 10 0,4838 0,4734 0,4834 0,4834 0Л834 0,4834 0,4734 0,48o3 0,4887 0,4887 0,4887 0,4887 0,4887 0,4887 0,5446 0,4908 0,4906 0,4906 0,4906 0,4906 0,4906 0,75d8 0,5370 0,4750 0,4808 0,4805 0,4805 0,4805 0,4345 0,5916 0,5314 0,4453 0,4458 0,4458 0,4458 0,1863 0,3793 0,4351 0,4139 0,3788 0,3790 0,3790 0,08605 0,2011 0,2636 0,3085 0,2874 0,2874 0,2874 0,02181 0,05434 0,07724 0,1097 0,1292 0,1271 0,1267 0,025458 0,01370 0,01976 0,02933 0,04055 0,4185 0,04159 0,021965 0,024935 0,027124 0,01065 0,05128 0,01630 0,01662 0,0’2183 0,0’5484 0,0’7917 0,021184 0,021723 0,021872 0,021984 0,0*5458 0,0’1371 0,0’1979 0,0’2960 0,0’4307 0,0’4684 0,0’4985 0,0*1965 0,0*4936 0,0*7125 0,0»1066 0,0’1551 0,0’1686 0,0’1795 0,0*2183 0,0’5484 0,0*7917 0,0*1184 0,0*1723 0,0*1874 0,0*1995 a = O,l 0,3 0,5 1 3 5 10 0,07692 t 0,07678 ' 0,07678 0,07678 0,07678 0,07678 0,07678 0,1337 0,1337 0,1337 0,1337 0,1337 0,1337 0,1337 0,2129 0,1884 0,1882 0,1882 0,1882 0,1882 0,1882 0,5401 0,3459 0,2986 0,3041 0,3041 0,3039 0,3039 0,3465 0,4596 0,4046 0,3324 0,3331 0,3331 0,3331 0,1517 0,3100 0,3541 0,3327 0,3026 0,3027 0,3027 0,07043 0,1672 0,2199 0,2569 0,2372 0,2372 0,2372 0,01789 0,04555 0,06543 0,09396 0,1109 0,1089 0,1085 0,024478 0,01151 0,01679 0,02527 0,03551 0,03670 0,3644 0,021612 0,024147 0,026053 0,029181 0,01344 0,01440 0,01471 0,0’1791 0,0’4698 0,0’6727 0,021022 0,021517 0,021660 0,021763 0,0*4478 0,0’1152 0,0’1682 0,0’2554 0,0’3794 0,0’4154 0,0’4446 0,0*1612 0,0*4147 0,0*6055 0,0*9194 0,0’1366 0,0’1496 0,0’1601 0,0*1791 0,0*4608 0,0*6727 0,0*1022 0,0*1518 0,0*1662 0,0*1779
Таблица 6 (окончание) a = 0,5 3 0,001 0,03 0,05 0,1 0,3 0,5 1 3 5 10 100 0,2348 0,01522 0,01330 0,0431 0,01428 0,01428 ’ 0,01428 0,01428 0,01428 0,01428 50 0,1872 0,05407 0,03415 0,02576 0,02751 0,02751 0,02751 0,02751 0,02751 0,02751 30 0,08713 0,1318 0,08578 0,04816 0,04371 0,04371 0,04772 0,04372 0,04372 0,04372 10 0,01053 0,2023 0,2374 0,2219 0,1172 0,09828 0,1015 0,1014 0,1014 0,1014 5 0,022636 0,07263 0,1112 0,1752 0,2106 0,1760 0,1387 0,1397 0,1397 0,1397 3 0,0’9489 0,03755 0,04456 0,08155 0,01615 0,1793 0,1613 0,1441 0,1442 0„1442 2 0,0’4218 0,01239 0,02025 0,03855 0,09189 0,1202 0,1374 0,1227 0,1229 0,1229 1 0,0’1054 0,023103 0,025103 0,029873 0,02586 0,03776 0,05529 0,06530 0,06361 0,06336 0,5 0,0*2636 0,0’7758 0,021276 0,022471 0,026568 0,029791 0,01527 0,02247 0,02334 0,02308 0,3 0,0*990 0,0’2793 0,0’4594 O’,08899 0,022367 02,03535 02,05575 02,08662 02,09437 02,09685 0,1 0,0*1054 0,0*3103 0,0*5105 0,0*9888 0,0’2630 0,0’3930 0,0’6204 0,0’9845 0,021104 0,0’1200 0,05 0,0*2636 0,0*7758 0,0*1276 0,0*2472 0,0*6576 0,0*9825 0,0’1551 0,0’2763 0,0’2763 0,0’3024 0,03 0,0’9490 0,0*2793 0,0*4594 0,0*8899 0,0*2367 0,0*5534 0,0*8865 0,0*8865 0,0*9947 0,0’1089 0,01 0,0’1054 0,0’3103 0,0*5104 0,0’9888 0,0*2630 0,0*3930 0,0*6204 0,0*9850 0,0*1105 0,0*1210 Таблица 7 оо З2 j F2 (a, 3, g, x) dx; a = 0 0 £ 3 \ o,oui 0,03 0,05 0,1 0,3 0,5 1 3 5 10 100 0,9349 2,616 2,584 2,570 2,570 2,570 2,570 2,570 2,570 2,570 50 0,1931 2,072 2,177 2,155 2,141 2,141 2,141 2,141 2,141 2,141 30 0,03499 1,530 1,747 1,864 1,818 1,819 1,819 1,819 1,819 1,819 10 0,0’6173 0,2450 0,4628 0,8324 1,164 1,141 1,127 1,127 1,127 1,127 0,0*3292 0,02453 0,05993 0,1762 0,5562 0,6918 0,7101 0,6981 0,6981 0,6981 3 0,0*4280 0,023545 0,029299 0,03223 0,01670 0,2806 0,3975 0,4025 0,4025 0,4025 2 0,0’8461 0,0’7278 0,0’1947 0,027152 0,04591 0,09188 0,1742 0,2161 0,2148 0,2148 1 0,0’5289 0,0*4634 0,0’1263 0,0’4887 0,023589 0,028502 0,02171 0,04823 0,05077 0,05047 0,5 0,0’3305 0,0*2910 0,0’7957 0,0*3063 0,0’2383 0,0’5820 0,021736 0,025924 0,027882 0,0’870 0,3 0,0’4283 0,0’3773 0,0*1033 0,0*3983 0,0*3134 0,0*7693 0,0’2353 0,0’9890 0,0’1496 0,0’2039 0,1 0,0»3286 0,0’4658 0,0’1275 0,0’4922 0,0’3891 0,0’9618 0,0*2999 0,0*1382 0,0*2486 0,0*4845
( 3 0,001 0,03 0,05 0,1 100 0,755/ 1,451 1,435 1,431 50 0,0166 1,365 1,382 1,354 30 0,0308 1,144 1,249 1,282 Ю 0,0346 0,2104 0,3908 0,6895 5 0,042954 0,02171 0,05271 0,1530 3 0,0*3842 0,023169 0,028292 0,02860 2 0,0*7595 0,0*6530 0,021746 0,02б405 1 0,0’4150 0,0*4165 0,0’1135 0,0’4332 0,5 0,0’2968 0,0*2617 0,0*7165 0,0*2766 0,3 0,0’3844 0,0*3395 0,0*9300 0,0*3598 0,1 0,0**4745 0,0*4192 0,0’1149 0,0’4449 0,001 0,03 0,05 0,1 100 0,3803 0,5531 0,5492 0,5488 50 0,09953 0,5460 0,5441 0,5351 30 0,02003 0,5081 0,5278 0,5262 10 0,0’3203 0,1241 0,2178 0,3555 5 0,0*2059 0,01430 0,03376 0,09299 3 0,0*2681 0,022165 0,025601 0,01884 2 0,0*5306 0,0*4534 0,021204 0,024374 1 0,0’3318 0,0*2914 0,0*7942 0,0’3058 0,5 0,0’2073 0,0*1835 0,0*5036 0,0*1965 0,3 0,0’2686 0,0*2382 0,0*6544 0,0*2548 0,1 0,0**3313 0,0*2941 0,0’8085 0,0’3152
Т а б лица 7 (окончание) х - 0,1 0,3 0,5 1 3 5 10 1,431 1,431 1,431 1,431 1,431 1,431 1,349 1,349 1,349 1,349 1,349 1,349 1,248 1,248 1,248 1,248 1,248 1,248 0,9237 0,9018 0,8907 0,8909 0,8909 0,8909 0,5805 0,5931 0,5830 0,5830 0,5830 0,5830 0,1462 0,2438 0,3427 0,3458 0,3459 0,3459 0,04082 0,0816) 0,1538 0,1900 0,1889 0,1890 0,023248 0,027732 0,01976 0,04406 0,04636 0,04606 0,0’2168 0,0’5326 0,021604 0,025549 0,027412 0,028491 0,0’2854 0,0’7051 0,0’2180 0,0’9365 0,021424 0,021951 0,0’3546 0,0’3826 0,0’2785 0,0’1315 0,0*2391 0,0’4711 а = 0,5 0,3 0,5 1 3 5 10 0,5488 0,5488 0,5488 0,5488 0,5488 0,5488 0,5340 0,5340 0,5340 0,5340 0,5340 0,5340 0,5143 0,5145 0,5145 0,5145 0,5145 0,5145 0,4397 0,4266 0,4220 0,4220 0,4220 0,4220 0,2599 0,3105 0,3125 0,3073 0,3072 0,3072 0,09048 0,1460 0,1986 0,1982 0,1983 0,1983 0,02711 0,05304 0,09737 0,1177 0,1170 0,1170 0,022299 0,025344 0,01405 0,03145 0,03303 0,03277 0,0’1561 0,0’39)0 0,021210 0,024361 0,0’5898 0,026541 0,0’2067 0,0*5198 0,0’1664 0,0’7419 0,021189 0,021657 0,0’2574 0,0’6536 0,0’2144 0,0’1101 0,0*2077 0,0’4259
Табл п ц а 8 2° (е“7Х__1)'2 = З2 j Fi ---------о---а — О о X. £ 3 у = 0,5 У = 1 5 1 0,5 0,1 0,01 5 1 0,5 0,1 <>,01 100 0,0’4928 0,0’4928 0,0’4928 0,0’4939 0,01386 0,0’8234 0,0’8234 0,0’8234 0,0’8252 0,02339 50 0,0’1575 0,0’1575 0,021575 0,0’8630 0,04224 0,01560 0,01560 0,01560 0,01466 0,07718 30 0,01399 0,01399 0,01399 0,01558 0,06692 0,02437 0,02437 0,02437 0,02692 0,1337 10 0,02874 0,02874 0,02874 0,06159 0,02517 0,05366 0,05366 0,05366 0,1232 0,05872 5 0,03841 0,03840 0,04829 0,04672 0,0’6844 0,07736 0,07663 0,09796 0,1049 0,01638 3 0,03884 0,04331 0,04779 0,02155 0,0’2489 0,08219 0,09252 0,1056 0,05088 0,025976 2 0,03062 0,03629 0,03165 0,01016 0,0’1107 0,07257 0,08292 0,07414 0,02441 0,022651 1 0,01658 0,01441 0,0’9870 0,0’2599 0,0’2768 0,04046 0,03576 0,02434 0,026292 0,036655 0,5 0,0’6020 0,0’3967 0,0’2556 0,0’6507 0,0*6921 0,01590 0,01012 0,026371 0,021578 0,031664 0,3 0,022427 0,0’1447 0,0’9228 0,0’2343 0,0*2491 0,0’6615 0,0’5710 0,022303 0,035682 0,045990 0,1 0,0’2835 0,0*1611 0,0’1025 0,0«26J3 0,0®2768 0,0*7848 0,0’4133 0,032564 0,046313 0,056656 а = О 3 7 = 2 у = со 5 1 0,5 0,1 0,01 5 1 0,5 0,1 • 0,01 100 50 30 10 5 3 2 1 0,5 rt 0,3 0,1 0,01117 0,02137 0,03374 0,07697 0,1166 0,1302 0,1216 0,07649 0,03403 0,01496 0,0’1831 0,01117 0,02137 0,03374 0,07697 0,1150 0,1478 0,1440 0,07032 0,02093 0,0’7731 0,0’8646 0,01117 0,02137 0,03374 0,07697 0,1439 0,1763 0,1343 0,04796 0,01285 0,0’4666 0,0’5191 0,01119 0,0202 0,03703 0,1859 0,1806 0,09468 0,04685 0,01228 0,0’3087 0,0’1112 0,0’1235 0,03183 0,1092 0,2020 0,1077 0,03143 0,01156 0,0’5156 0,0*1290 0,0’3225 0, О’! 161 0,0*1290 0,01338 0,02574 0,0409) 0,09571 0,1518 0,1798 0,1822 0,1450 0,1021 0,06967 0,01928 0,01338 0,02574 0,04090 0,09571 0,1487 0,2050 0,2298 0,1687 0,08025 0,03995 0,0’7160 0,01338 0,02574 0,04090 0,09571 0,1943 0,2635 0,2438 0,1346 0,05450 0,02531 0,0’4182 0,01341 0,02408 0,04469 0,2413 0,2945 0,2055 0,1302 0,04970 0,01675 0,007228 0,0’1072 0,03816 0,1339 0,2628 0,2227 0,09791 0,04671 0,02481 0,0’7935 0,0’2417 0,0’9850
? (е *к = Н - о X. £ 0 \ 7 = 0,5 5 1 0,5 0,1 100 0,1544 0,1544 0,1544 0,1544 50 0,1494 0,1494 0,1494 0,1497 30 0,1*28 0,1428 0,1428 0,1462 10 0,1152 0,1152 0,1152 0,09452 5 0,08136 0,08275 0,08203 0,02412 3 0,05181 0,05181 0,03792 0,024842 2 0,03024 0,02511 0,01364 0,021120 1 0,02393 0,0131 0,023945 0,032263 £ 0 Y =2 5 1 0,5 0,1 100 0,5064 0,5064 0,5064 0,5064 50 0,4950 0,4950 0,4950 0,4958 30 0,4801 0,4801 0,4801 0,4892 10 0,4133 0,4133 0,4133 0,3658 5 0,3197 0,3244 0,3275 0,1229 3 0,2278 0,2318 0,1820 0,02987 2 0,1513 0,1324 0,07788 0,027631 1 0,05550 0,02479 0,029700 0,0’5744
Таблица 9 а = О Y = 1 0,01 5 1 0,5 0,1 0,01 0,1561 0,1390 0,09474 0,0*6147 0,0’4901 0,0’6630 0,0’1333 0,0’2462 0,3166 0,3166 0,3166 0,3166 0,3169 0,3082 0,3082 0,3082 0,3088 0,2940 0,2970 0,2970 0,2970 0,3034 0,2126 0,2488 0,1841 0,1236 0,07648 0,02840б 0,2488 0,1871 0,1247 0,06485 0,023580 0,2488 0,1872 0,09397 0,03629 0,021363 0,2123 0,06108 0,01321 0,023171 0,027764 0,01654 0,0*1401 0,0’1918 0,0’3879 0,0’8424 а = О Y = ОО 0,01 5 1 0,5 0,1 0,01 0,5119 0,4723 0,3664 0,03666 0,023370 0,0’4835 0,0*9889 0,0’6322 0,8333 0,8333 0,8333 0,8333 0,8333 0,8197 0,8197 0,8197 0,8207 0,8047 0,8016 0,8016 0,8016 0,8128 0,6749 0,7213 0,7213 0,7213 0,6730 0,1704 0,6053 0,4863 0,3799 0,6116 0,4982 0,3608 0,6217 0,4347 0,2661 0,3431 0,1531 0,07336 0,04730 0,01743 0,027801 0,2217 0,1454 0,08626 0,01926 0,000
Таблица 10 Действительная и мнимая части функции ф1 (Зо) 23о Recpi (Зо)-Ю4 —1П1Ф1(Зо)-164 23о Re Ф! (Зо)-Ю4 —Im Ф1(3о)-Ю4 23о Re Ф1 (Зо)-Ю4 —Im Ф1 (Зо)-164 2£о Re (Зо)-10* —Im Ф1 (Зо)• 1С4 0,5 0069 0001 5,25 2957 3117 10,0 2638 5944 35 1070 8792 0,75 0156 0005 5,5 2982 3338 10,5 2576 6120 40 0951 8942 1 0277 0015 5,75 2996 3550 11,0 2515 6284 45 0856 9059 1,25 0430 0037 6,0 3002 3752 11,5 2456 6434 50 0778 9153 1,5 0618 0075 6,25 3001 3944 12,0 2397 6573 75 0534 9435 1,75 0822 0138 6,5 2995 4128 12,5 2341 6702 150 0275 9717 2,0 1049 0228 6,75 2983 4302 13,0 2286 6822 2,25 1286 0349 7,0 2967 4468 13,5 2234 6934 2,5 1525 0503 7,25 2948 4626 14,0 2182 7038 2,75 1757 0687 7,5 2926 4776 14,5 2133 7136 3,0 1974 0898 7,75 2902 4919 15 2086 7228 3,25 2170 1129 8,0 2876 5056 16 1996 7395 3,5 2344 1376 8,25 2848 5185 17 1912 7543 3,75 2493 1630 8,5 2820 5309 18 1834 7675 4,0 2619 1889 8,75 2791 5427 19 1762 7795 4,25 2723 2145 9,0 2761 5540 20 1695 7902 4,5 2806 2400 9,25 2730 5648 22 1575 8089 4,75 2872 9,5 2699 25 1421 2647 5751 8315 5,0 2921 2886 9,75 2669 5849 30 1221 8593 123
Таблица 11 2d Действительная п мнимая части функций (fi (р0, Зо — 1,5 Зо = 2 2d R Re ФгЮ4 —Im Ф1-164 2d R Re Ф1-104 —Im ФрЮ4 2d R Re ФрЮ4 —Im ФгЮ4 2d i R ReVr104 1—Im фрЮ4 0,02 0282 0008 0,22 1714 0443 0,02 0501 0026 0,22 2675 1225 0,04 0532 0031 0,24 1768 0487 0,04 0938 0096 0,24 2719 1323 0,06 0750 0063 0,26 1814 0528 0,06 1314 0198 0,26 2748 1411 0,08 0942 0104 0,28 1852 0567 0,08 1631 0320 0,28 2767 1488 0,10 1108 0150 0,30 1883 0602 0,10 1895 0455 0,30 2776 1556 0,12 1251 0198 0,32 1909 0635 0,12 2112 0595 0,32 2779 1615 0,14 1375 0249 0,34 1930 0664 0,14 2285 0734 0,34 2777 1666 0,16 1481 0299 0,36 1947 0691 0,16 2425 0859 0,36 2772 1709 0,18 1572 0349 0,38 1960 0716 0,18 2533 0997 0,38 2764 1746 0,20 1649 0397 0,40 1970 0738 0,20 2615 1116 0,40 2754 1777 Ро = 2,5 Ро = 3 0,02 0,04 0,06 0,08 0,10 0,12 0,14 0,16 0,18 0,20 0780 0064 1445 0231 1989 0467 2419 0742 2744 1029 2981 1310 3145 1575 3250 1814 3310 2025 3336 2208 0,22 0,24 0,26 0,28 0,30 0,32 0,34 0,36 0,38 0,40 3338 2362 3324 2491 3298 2597 3265 2683 3230 2751 3193 2804 3157 2845 3123 2875 3091 2897 3063 2912 0,02 0,04 0,06 0,08 0,10 0,12 0,14 0,16 0,18 0,20 1115 0131 2026 0467 2712 0918 3188 1407 3488 1881 3654 2308 3723 2674 3725 2976 3687 3218 3623 3406 0,22 0,24 0,26 0,28 0,30 0,32 0,34 0,36 0,38 0,40 3549 3550 3470 3656 3394 3791 3323 3783 3259 3817 3204 3836 3156 3845 3116 3847 3084 3843 3058 3836 124
Таблица It (продолжение) Зо — 3,5 Зо = 4 2d R RecPi-l(.4 —Гт Фг 1С4 2d R Re фг 10* —Тт ФгЮ4 2d R RecprlO4 —Im Фх’104 2d R Re cprl-4 —Im ср, -10* 0,02 1501 0240 0,22 3428 4533 0,02 1926 0403 0,22 3171 5254 0,04 2644 0829 0,24 3321 4585 0,04 3248 1330 0,24 3069 5255 0,06 3393 1562 0,26 3229 4611 0,06 3944 2371 0,26 2992 5239 0,08 3803 2286 0,28 3154 4618 0,08 4189 3280 0,28 2935 5215 0,10 3981 2916 0,30 3093 4613 0,10 4172 3980 0,30 2896 5187 0,12 4000 3425 0,32 3046 4601 0,12 4027 4479 0,32 2870 5160 0,14 3929 3816 0,34 ЗОН 4584 0,14 3834 4816 0,34 2854 5135 0,16 3814 4103 0,36 2985 4566 0,16 3636 5032 0,36 2846 5113 0,18 3682 4307 0,38 2937 4549 0,18 3455 5160 0,38 2844 5095 0,20 3550 4445 0,40 2956 4532 0,20 3299 5228 0,40 2345 5080 Зо = 4,5 Зо = 5 0,02 2378 0629 0?22 2900 5765 0,02 2838 0927 0,22 2668 6136 0,04 3783 1961 0,24 2824 5732 0,04 4204 2689 0,24 2622 6088 0,06 4304 3272 0,26 2774 5694 0,06 4458 4180 0,26 2598 6044 0,08 4316 4269 0,28 2743 5657 0,08 4234 5157 0,28 2590 6008 0,10 4108 4939 0,30 2726 5623 0,10 3882 5728 0,30 2590 5981 0,12 3836 5357 0,32 2720 5596 0,12 3539 6034 0,32 2596 5961 0,14 3571 3600 0,34 2720 5574 0,14 3252 6178 0,34 2605 5948 0,16 3341 5726 0,36 2725 5558 0,16 3027 6226 0,36 2613 5940 0,18 3154 5779 0,38 2731 5547 0,18 2861 6219 0,38 2621 5936 <0,20 3008 5785 0,40 2737 5540 0,20 2745 6183 0,40 2627 5935 125
Таблица И (продолжение) Зо=6 0о = 7 2d R Re ФгЮ4 —Im 10* 2d R Re ФгЮ* —Im ФрЮ4 2'i В Re ФгЮ* —Im ФгЮ4 2d R Re фгЮ* —Im Фг1 * 0,01 2205 0524 0,11 3069 6874 0,01 2870 0928 0,11 2524 7406 0,02 3703 1742 0,12 2908 6906 0,02 4366 2795 0,12 2400 7381 0,03 4428 3092 0,13 2773 6912 0,03 4711 4475 0,13 2306* 7344 0,04 4615 4248 0,14 2662 6900 0,04 4516 5654 0,14 2235> 7302 0,05 4510 5128 0,15 2573 6878 0,05 4149 6408 0,15 2185 7257 0,06 4276 5759 0,16 2503 6848 0,06 3765 6873 0,16 2151 7215’ 0,07 4002 6197 0,17 2448 6814 0,07 3419 7150 0,17 2130 7175, 0,08 3731 6492 0,18 2408 6780 0,08 3124 7306 0,18 2120- 7140 0,09 3481 6685 0,19 2378 6746 0,09 2879 7384 0,19 2116 7110 0,10 3260 6806 0,20 2358 6714 0,10 2682 7411 0,20 2118 7086 Зо = 8 Ро = 9 0,01 3514 1484 0,11 2122 7714 0,01 4076 2179 0,11 1840 7912 0,02 4732 3956 0,12 2041 7663 0,02 4800 5079 0,12 1795 7854 0,03 4610 5718 0,13 1986 7610 0,03 4277 6708 0,13 1771 7803 0,04 4125 6735 0,14 1952 7560 0,04 3636 7499 0,14 1763, 7759* 0,05 3627 7292 0,15 1933 7516 0,05 3107 7869 0,15 1765. 7725. 0,06 3203 7586 0,16 0,06 2704 8030 0,16 1773 7699’ 0,07 2862 7728 0,17 1927 7448 0,07 2404 8080 0,17 1784 7682: 0,08 2596 7783 0,18 1933 7424 0,08 2183 8070 0,18 1795. 7670. 0,09 2391 7786 0,19 1942 7406 0,09 2024 8028 0,19 1806. 7664 0,10 2236 7758 0,20 1952 7394 0,10 1913 7973 0,20 1815 7661 126
Таблица И (продолжение) 00= 10 00 — 12,5 2d Re Ф1-104 2d Re Ф1«104 2d Re ф^ЛО4 2d Re Ф1«104 R —Im Ф1 • 10* R —Im Фх*Ю4 ~R —Im ФгЮ4 R —ТшфгЮ4 0,01 4507 2975 0,11 1643 8058 0,005 4045 2096 0,055 1714 8694 0,02 4641 5062 0,12 1626 8005 0,010 4900 5052 0,060 1611 8662 0,03 3848 7446 0,13 1624 7963 0,015 4436 6825 0,065 1532 8624 0,04 3158 8019 0,14 1631 7932 0,020 3802 7751 0,070 1471 8584 0,05 2654 8244 0,15 1643 7910 0,025 3255 8239 0,075 1426 8544 0,06 2296 8310 0,16 1655 7897 0,030 2822 8499 0,080 1394 8505 0,07 2045* 6299 0,17 1668 7890 0,035 2483 8635 0,085 1372 8468 0,08 1871 8251 0,18 1678 7888 0,040 2218 8699 0,090 1358 8435 0,09 1756 8187 0,19 1686 7888 0,045 2009 8721 0,095 1353 8405 0,10 1683 8120 0,20 1691 7890 0,050 1844 8716 0,100 1352 8380 Зо= 15 Ро = 17,5 0,005 4746 3541 0,055 1290 8863 0,005 4950 5028 0,055 1045 8959 0,010 4543 6744 0,060 1234 8817 0,010 3897 7875 0,060 1021 8915 0,015 3642 8064 0,065 1196 8773 0,015 2904 8745 0,065 1010 8877 0,020 2938 8614 0,070 1172 8732 0,020 2272 9046 0,070 1008 8845 0,025 2438 8854 0,075 1160 8695 0,025 1860 9147 0,075 1013 8821 0,030 8954 0,080 1156 8664 0,030 1581 9166 0,080 1021 8804 0,035 1817 8984 0,085 1157 8639 0,035 1386 9145 0,085 1031 8792 0,040 1622 8976 0,090 1163 8318 0,040 1248 9106 0,099 1040 8784 0,045 1477 8948 0,095 1170 8603 0,045 1152 9057 0,095 1049 8781 0,050 1369 8906 0,100 1179 8592 0,050 1087 9007 0,100 Lil'S 1056 ; 8779 127
Таблица 11 (окончание) Зо = 2и Яо = 22,5 1- Re -Г4 * —Im ф! • 1и41 2d R Re Ф1 • 1‘4 —Im ФГ1-)4 - Я I RecPijlO4 | —Im cprlG4i 2d R Re Фг 104 —Im ФгЮ4 0,005 4759 6314 0,055 0897 9031 0,005 4353 7308 0,055 0804 9097 0,010 3249 8573 0,060 0894 8996 0,010 2695 8997 0,060 0811 9074 0,015 2321 9118 0,065 0898 8970 0,015 1879 ; 9331 0,065 0821 9059 0,020 1789 9271 0,070 0907 8951 0,020 1440 9396 0,070 0832 9051 0,025 1460 9298 0,075 0917 8939 0,025 1178 9381 0,075 0841 9048 0,030 1245 9274 0,080 0927 8933 0,030 1014 9335 0,080 0848 9048 0,035 1102 9229 0,085 0936 8930 0,035 0911 9280 0,085 0853 9050 0,040 1008 9177 0,090 0942 8930 0,040 0849 9224 0,090 0858 9052 0,045 0948 9123 0,095 0947 8932 0,045 0816 9173 0,095 0858 9054 0,050 0914 9074 0,100 0951 8934 0,050 0804 9130 0,100 0858 9056 Зо = 25 0,005 3875 8032 0,055 0738 9162 0,010 2248 9258 0,060 0750 9149 0,015 1546 9456 0,065 0760 9144 0,020 1184 9470 0,070 0769 9142 0,025 0975 9430 0,075 0774 9144 0,030 0850 9374 0,080 0778 9146 0,035 0779 9315 0,085 0780 9148 0,040 0742 9261 0,090 0780 9150 0,045 0729 9217 0,095 0780 9152 0,050 0730 9184 0,100 0780 9153 128
Таблица 12 Действительная и мнимая части функции <рх (Ро, р,) ро = 0,3 И Re фГЮ4 Im ФгЮ* и Re ФгЮ4 Im ФгЮ4 Р- Re Фр 104 Im ФрЮ4 1,0 0100 2,2 0189 6,0 0291 —0002 3743 7121 1,1 ОНО 2,4 0199 7,0 0302 0474 4110 7476 л 9 0119 2,6 0207 8,0 0311 1, Z 0906 4412 7745 1,3 0128 2,8 0217 9,0 0318 1301 4728 7965 1,4 0136 3,0 0225 10 0323 1663 4991 8146 1,5 0144 3,2 0231 0335 1996 5227 10 8682 1,6 0151 3,4 0238 0338 2304 5440 8930 1,7 0158 3,6 0244 on 0328 2589 5637 ov 9267 1,8 0165 3,8 0250 0299 2852 5821 OU 9501 1,9 0171 3099 4,0 0255 5986 100 0242 9684 2,0 0178 5,0 0276 3328 6652 : 0,375 1,0 0156 2,2 0294 6,0 0450 —0005 3734 7091 1,1 0171 2,4 0310 7,0 0465 0471 4099 7438 1,2 0186 2,6 0324 8,0 0476 0902 4424 7710 0199 2,8 0337 9,0 0485 1 ,О 1297 4714 7924 1 4 0213 3,0 0349 10 0490 1660 4976 lv 8090 1,5 . 0224 3,2 0360 15 0499 1990 5212 8632 1,6 0236 3,4 0369 20 0490 2297 5427 8908 1,7 0247 3,6 0379 30 0461 2581 5622 9189 1,8 0257 3,8 0388 50 0403 2845 5802 9424 1,9 0267 4,0 0395 100 0313 3090 5966 9623 2,0 0277 5,0 0427 3319 6623 9 Заказ Хг 1315 129
Таблица 12 (продолжение) и Recprlb4 Im Ф1«Ю4 Re Фр104 Im Фх*104 н Re Ф1-104 Im Ф1*104 ₽0 = = 0,5 1,0 0277 —0015 2,2 0519 3698 6,0 0766 6989 1,1 0303 0458 2,4 0545 4060 7,0 0785 7324 1,2 0329 0888 2,6 0570 4382 8,0 0796 7582 1,3 0353 1280 2,8 0592 4668 9,0 0802 7787 1,4 0376 1640 3,0 0612 4924 10 0835 7932 1,5 0397 1971 3,2 0630 5158 15 0783 8474 1,6 0417 2274 3,4 0646 5367 20 0746 8766 1,7 0436 2559 3,6 0661 30 0673 9043 1,8 0455 2818 3,8 0675 5736 50 0559 9287 1,9 0472 2900 4,0 0687 5896 100 0434 9514 2,0 0488 5,0 0735 3288 6537 ₽о = О,75 1,0 0613 ’ —0076 2,2 1110 3511 6,0 1462 6575 1,1 0671 0387 2,4 1161 3853 7,0 1463 6889 1,2 0725 0806 2,6 1205 4155 8,0 1453 7133 1,3 0776 1188 2,8 1243 4424 9,0 1436 7330 1,4 0824 1536 3,0 1277 4665 10 1416 7493 1,5 0869 1856 3,2 1306 4881 15 1267 8078 1,6 0910 2150 3,4 1331 5077 20 1206 8315 1,7 0949 3,6 1354 1054 2421 5255 ои 8657 1,8 0986 2672 3,8 1373 5417 50 0867 8979 1,9 1020 4,0 1389 100 0645 2904 5566 9282 2,0 1052 5,0 1442 3121 6157 130
Таблица 12 (продолжение) р- Re Фр 10* Im Фр 10* и Re Фх • 10* Im фр 10* р- Re Фр 10* Im фр 10* Зо = 0,9375 1,0 0933 2,2 1612 6,0 1936 —0179 3232 6135 1,1 1017 2,4 1673 7,0 1915 0268 3553 6447 1,2 1095 2,6 1724 8,0 1884 0670 3835 6695 1,3 1168 2,8 1767 9,0 1850 1035 4086 6899 1,4 1234 3,0 1803 10 1814 1368 4311 7069 1296 3,2 1833 15 1644 1,5 1672 4514 7637 1,6 1353 3,4 1858 ЭЛ 1507 1950 4698 7968 1,7 1406 3,6 1876 30 0938 2207 4866 8353 1,8 1454 3,8 1895 КП 0107 2443 5018 50 8741 1,9 1498 2663 4,0 1908 5160 100 0080 9113 2,0 1539 2866 5,0 1940 5725 V = 1,07 1,0 1184 2,2 1959 6,0 2232 —0293 2962 5786 1,1 1285 2,4 2022 7,0 2197 0136 3267 5104 1,2 1378 2,6 2074 8,0 2154 0523 3536 6361 1,3 1464 2,8 2115 9,0 2109 0872 3777 6573 1541 3,0 2150 4 Л 2064 1Л 1190 3992 6752 1,5 1612 3,2 2177 15 1861 1479 4188 7357 1,6 1677 3,4 2199 9Л 1703 1746 4365 7715 1,7 1736 3,6 2216 30 1479 1988 4528 8139 1,8 1790 3,8 2229 50 1212 2213 4678 8487 1,9 1839 4,0 2239 100 0904 2421 4816 8988 2,0 1883 5,0 2252 2614 5375 9* 131
Таблица 12 (продолжение) р- Re Фг1и4 Im ср! • 16* Re Ф1«1и4 Im Ф!‘1О4 Р- Re Ф!*1и4 Im Ф1 • 104 Зо = = 1,25 1,0 1525 —0503 2,2 2377 2534 6,0 2572 5304 1,1 1645 2,4 2437 7,0 2522 —0101 2821 5636 1,2 1753 2,6 2486 8,0 2468 0260 3077 5906 1,3 1851 2,8 2523 9,0 2413 0585 3307 6131 1,4 1938 3,0 2553 л А 2359 0881 3515 1U 6323 1,5 2016 1150 3,2 2575 3704 15 2124 6982 1,6 2086 1396 3,4 2592 3877 20 1943 7379 1,7 2149 3,6 2604 пЛ 1689 1623 4036 30 7855 1,8 2205 1832 3,8 2612 4185 50 1389 8336 1,9 2256 2026 4,0 2617 4321 100 1040 8822 2,0 2301 5,0 2610 2207 4882 fV = 1,5 1,0 1974 2,2 2847 6,0 2959 —0898 1863 4626 1,1 2107 -0537 2,4 2901 2135 7,0 2897 4981 1,2 2225 —0213 2,6 2942 2380 8,0 2833 5271 1,3 2329 0079 2,8 2974 2602 9,0 2770 5516 1,4 2419 0345 3,0 2997 2804 10 2709 5727 1,5 2499 0588 3,2 3014 2990 15 2445 6463 1,6 2570 0812 3,4 3025 3162 20 2244 6912 1,7 2632 1019 3,6 3032 3320 30 1961 7457 1,8 2686 1211 3,8 3035 3469 50 1620 8020 1,9 2734 1390 4,0 3036 3607 100 1221 8593 2,0 2781 5,0 ЗОЮ 1560 4184 132
Таблица 12 (продолжение) Re Ф1«104 Im ih-lG4 Р- Re ср! • 104 Im cprlO4 P* Re cpt • 10* Im фгЮ4 Ро= 1,875 2494 9 9 3314 6,0 3382 —1631 0836 3650 2627 9 Z 3361 7,0 3319 —1322 Z ,4 1097 4032 2742 9 R 3397 8,0 3252 —1043 Z, 0 1333 4354 2824 9 Й 3423 9,0 3186 —0750 Z,o 1552 4627 2927 q Л 3442 Л A 3123 —0555 5,U 1754 10 4865 3002 q о 3455 л к 2844 —0339 Of4 1939 15 5705 3073 q A 3573 OA 2629 -0142 0, 4 2180 6229 3123 q R 3469 Q A 2318 0050 O, 0 2273 30 6873 3172 3 Я 3470 KA 1832 0226 0,0 2426 50 7145 3215 Z A 3469 А ГХП 1477 0392 4 ,0 2569 100 8251 3253 £ A 3437 0547 5,0 3174 ₽о = 2,15 2736 9 9 3513 R A 3599 —2183 Li , Li 0145 0,0 2995 2836 9 A 3559 7 A 3540 —1902 Li , 4c 0398 / ,0 3397 2972 9 R 3594 8,0 3477 —1645 0683 3740 3065 —1410 2,8 3620 0851 9,0 3415 4025 3146 > n 3639 4 A 3353 —1191 0 , V 1051 10 4280 3216 3 9 3654 4 К 3079 —0987 0 , Li 1238 15 5188 3277 q A 3664 OA 2862 —0797 0,4 1413 zo 5759 3331 0617 3,6 3669 1378 30 2543 6466 3377 0448 3,8 3672 1734 50 2141 7223 3418 A 0 3672 4 АЛ 1647 0289 4 , V 1878 100 8010 3454 К A 3647 0138 5,0 2501 133
Таблица 12 (продолжение) р- Re фрЮ* Im Vi-104 р- Re ФрЮ4 Im Фр 10* и Re фр 10* Im фр 10* Зо = = 2,5 1,0 2921 2,2 3659 . 6,0 3804 —2887 —0699 2184 1,1 3039 2,4 3706 7,0 3756 —2631 —0447 2605 1,2 3140 2,6 3744 8,0 3704 —2397 —0215 2966 1,3 3227 2,8 3772 9,0 3649 —2179 0000 3275 1,4 3307 3,0 3795 4 А 3595 -1974 0200 1U 3546 1,5 3369 3,2 3813 15 3339 —1783 0387 4524 1,6 3427 3,4 3826 3126 -1603 0564 ZU 5154 1,7 3478 3,6 3836 on 2804 —1432 0729 OU 5949 1,8 3524 3,8 3841 50 2390 —1271 0884 6793 1,9 3564 —1117 4,0 3846 1033 100 1861 7692 2,0 3606 5,0 3838 —0982 1672 ₽о = 3 1,0 ЗОЮ 2,2 3716 6,0 3974 —3761 —1713 1172 1,1 3110 2,4 3769 7,0 3947 -3524 —1471 1608 1,2 3204 2,6 3812 8,0 3914 —3308 —1243 1992 1,3 3285 2,8 3848 9,0 3873 -3109 —1033 2316 1,4 3576 3,0 3877 40 3831 -2919 —0837 1U 2602 1,5 3421 3,2 3901 15 3616 —2742 —0652 3668 1,6 3479 3,4 3920 3423 —2573 —0477 ZU 4356 1,7 3529 3,6 3937 ЧО 3116 —2412 —0313 о и 5233 1,8 3575 3,8 3950 50 2694 —2260 —0154 6212 1,9 3616 —2114 4,0 3961 -0006 100 2132 7244 2,0 3653 5,0 3982 -1974 +0643 134
Таблица 12 (продолжение) р- Re ф^Ю4 Im Фг1> р- Re Фх.104 Im Ф1«104 и Re ФгЮ4 Im cpflG* Зо = = 3,75 1,0 2926 2,2 3637 6,0 4065 —4776 -2925 —0116 1,1 3025 2,4 3699 7,0 4069 —4573 —2696 +0322 1,2 3112 2,6 3751 8,0 4066 -4383 -2482 +0718 1,3 3190 2,8 3795 9,0 4053 —4205 —2286 1063 1,4 3260 3,0 3834 л А 4029 —4035 —2097 1U 1361 1,5 3324 3,2 3869 л 3891 -3874 —1918 2510 1,6 3381 3,4 3898 ОА 3739 —•3721 -1752 ZU 3265 1,7 3432 3,6 3924 QA 3471 —3578 -1591 oU 4245 1,8 3481 3,8 3948 50 3071 —3433 —1437 5381 1,9 3525 —3298 4,0 3968 —1291 100 2494 6619 2,0 3566 5,0 4034 —3169 —0650 Зо = 5 1,0 2638 2,2 3349 6,0 3987 -5943 —4360 —1776 1,1 2728 2,4 3419 7,0 4046 —5776 —4159 —1333 1 9 2810 2,6 3482 8,0 4082 -5576 -3972 —0945 1,3 2884 2,8 3537 9,0 4100 -5465 —3794 -0615 1,4 2952 3,0 3690 4 Л 4112 —5321 —3623 1U —0308 1,5 3015 3,2 3635 15 4096 —5183 -3462 +0875 1,6 3074 3,4 3679 9А 4026 —5051 —3306 ZU +1701 1,7 3127 3,6 3716 on 3849 —4926 —3162 OU 2820 1,8 3191 3,8 3751 КП 3526 —4824 —3020 □и 4118 1,9 3224 -4689 4,0 3782 —2886 100 2977 5615 2,0 3269 —4575 5,0 3905 —2285 135
Таблица 12 (окончание) Р‘ Re ф -1 4 1ГПФ.-1 4 р- Re • 10* Im ф.Л 4 р- Re ФрК* Im Ф1-1J Зо = = 12,5 1,0 2086 2 2 2751 6,0 3576 —7228 —6035 —3923 1,1 2156 2,4 2827 7,0 3671 —7093 —5878 —3549 1,2 2232 2,6 2895 8,0 3763 —6976 —5731 —3189 1,3 2303 2,8 2958 9,0 3815 —6873 -5590 -2911 1,4 2364 3,0 3014 л А 3889 —6765 —5456 1U —2614 1,5 2423 3,2 3071 4076 —6662 -5327. 1Э -1455 1,6 2477 3,4 3125 9П 4122 —6563 —5200 —0653 1,7 2528 3,6 3183 QA 4102 —6468 —5084 0U +0455 1,8 2577 3,8 3212 КА 3747 —6375 -4972 Э J +1250 1,9 2626 —6285 4,0 3256 —4860 100 3737 3215 2,0 2668 5,0 3433 -6200 —4361 Таблица 13 Нормированное вносимое напряжение UN во втором приближении hi+h* R = 0,4 hi+h, R = 0,4 23о Re Ujy-lO* Im l/jy.10* 230 Re E/jv-lO* Im lijy-lG* 23o Re I/jylO* Im VN-10* 2r% Re Un -1()4 Im Un -104 1,0 0194 7,0 1431 4 A 1280 £A 0578 0022 2138 10 3844 <JU 5161 2,0 0639 8,0 1464 4 Й 1207 AO 0494 0257 2419 lo 4044 OU 5271 3,0 0975 9,0 1474 9A 1138 70 0431 0398 2675 4209 l и 5350 4,0 1161 4 A 1467 25 0989 ЯО 0383 1125 1U 2904 4517 OU 5409 5,0 1283 1496 12 1421 3291 30 0869 4727 90 0344 5455 6,0 1372 14 1353 ZA 0696 100 0312 1830 3595 4 U 4997 5493 136
Таблица 13 (продолжение) ht+h2 R = 0,6 R = 0,6 20о Re EZjy-lO* Im UN-iO4 20o Re UN-10* Im 20o Re uN-io4 Im IZN.1O< 20o Re UN -10* Im UN-10* 1,0 0153 0018 7,0 0981 1638 16 0814 2736 50 0358 3549 2,0 0501 0210 8,0 0986 1827 18 0764 2861 60 0305 3617 3,0 0748 0566 9,0 0979 1995 20 0718 2963 70 0266 3665 4,0 0865 0902 10 0964 2143 25 0619 3153 80 0236 3702 5,0 0927 1184 12 0919 2389 30 0542 3283 90 0212 3730 6,0 0963 1425 14 0869 2583 40 0432 3448 100 0192 3753 hi+h, R = 0,8 R - = 1 0122 16 0538 1,0 0098 16 0370 1,0 0014 2015 0012 1526 2,0 0398 0171 18 0502 2095 2,0 0319 0140 18 0344 1580 3,0 0585 0460 20 0470 2161 3,0 0464 0375 20 0320 1624 4,0 0662 25 0402 4,0 0516 25 0272 0729 2282 0591 1705 5,0 0691 0947 30 0351 2365 5,0 0528 0763 30 0236 1760 6,0 0700 Z A 0278 6,0 0525 АЛ 0186 1127 40 2471 0901 4U 1829 7,0 0699 50 0230 7,0 0515 50 0153 1280 2535 1014 1872 8,0 0690 1412 60 0196 2578 8,0 0501 1110 60 0130 1900 9,0 0676 7Л 0170 9,0 0485 70 0113 1526 /и 2609 1191 1 V 1920 10 0659 1626 80 0151 2632 10 0468 1260 80 0100 1936 0619 90 0135 0433 90 0090 12 1789 2650 1Z 1373 1948 14 0577 1915 100 0122 2664 14 0400 1459 100 0081 1957 137
Таблица 13 (продолжение) /11 + ^2 = 1,2 R = 1,4 R 2.8о Re C/jylC4 Im I?N-1G4 23o Re Im t7N-104 23o Re l7N‘104 Im I7N.1O4 1 23o Re l?N-104 Im 1/jv-lG4 0079 16 0264 1,0 0066 16 0195 1,0 0010 1181 0008 0930 2,0 0257 0114 18 0244 1219 2,0 0209 0094 18 0180 0957 3,0 0372 0227 3,0 0300 0166 0306 20 1249 0250 ZU 0979 4,0 0408 0481 25 0191 1305 4,0 0327 0392 25 0139 1019 5,0 0412 0165 5,0 0326 0120 0618 30 1343 0502 oU 1047 6,0 0403 0725 40 0130 1392 6,0 0316 0587 40 0094 1081 7,0 0390 0812 50 0106 1421 7,0 0302 0655 50 0077 1102 8,0 0375 0883 60 0090 1440 8,0 0288 0709 60 0065 1116 9,0 0359 0078 9,0 0273 7Л 0056 0943 70 1454 0754 /и 1126 10 0344 0903 80 0069 1465 10 0260 0792 80 0050 1133 12 0314 1073 90 0062 1473 12 0235 0851 90 0044 1139 14 0288 1134 100 0056 1479 14 0214 0896 100 0040 1144 ^1~Нг2 R = 1,6 i 1 R = 1,6 1,0 0053 0006 7,0 0238 0530 16 0148 0741 50 0057 0868 2,0 0170 8,0 0225 л о 0136 0048 0076 0573 18 0761 OU 0879 3,0 0243 9,0 0212 0125 7Л 0042 0204 0608 zU 0778 /и 0886 4,0 0263 0320 10 0201 0637 25 0105 0807 80 0037 0892 5,0 0261 0180 0090 90 0033 0409 12 0682 30 0828 0896 6,0 0250 0477 14 0163 0715 40 0070 0853 100 0030 0899 138
Таблица 13 (окончание) R = 1,8 R = 2 20о Re UN-104 20o Re l7N-104 20o Re Ujv-104 200 Re [jN-104 Im [/N-1G4 Im tfN-104 Im dN.104 Im 17]у-104 1,0 0043 16 0115 1,0 0035 16 0091 0005 0595 0004 0481 2,0 0138 0105 2,0 0113 4 Q 0083 0062 18 0611 0051 IO 0493 3,0 0198 0097 3,0 0161 Oa 0076 0167 20 0623 0137 ZU 0503 4,0 0213 or 0080 4,0 0173 0063 0262 25 0646 0214 Zb 0521 5,0 0210 OA 0069 5,0 0170 0054 0334 oU 0662 0273 OU 0533 6,0 0201 z n 0053 6,0 0162 0042 0389 4U 0681 0317 4U 0548 7,0 0189 ka 0044 7,0 0152 0034 0431 OU 0693 0351 bU 0557 8,0 0178 0037 8,0 0143 60 0029 0465 bU 0700 0378 0563 9,0 0168 7Л 0032 9,0 0134 7Л 0025 0492 I u 0706 0400 |U 0567 0158 QA 0028 0126 QA 0022 1U 0515 oU 0710 1U 0418 OU 0570 12 0141 90 0025 12 0112 QU 0019 0550 0713 0446 HU 0573 14 0127 0576 100 0023 0716 14 0100 0466 100 0018 0575
ЛИТЕРАТУРА 1. Автоматизация производства и промышленная электроника. Под ред. А. И. Берга, В. А. Трапезникова. Изд-во «Советская энциклопедия», 1962. 2. F. Forster, К. S t a m b k е. Theoretische und experi men telle Grundlagen der zerstorungsfreien Werstoffpriifung mit Wirbelstrom- verfahren. Z. f. Metallkiinde, 1954, 45, H. 3. H. M. Родигин, И. E. Коробейникова. Контроль качест- ва изделий методом вихревых токов. Москва — Свердловск, Маш- гиз, 1958. 4. Г. Г. Я р м о л ь ч у к. Бесконтактный метод определения удель- ного электрического сопротивления.— Автоматика и телемеханика, 1958, № 3. 5. В. П. Г р а б о в е ц к и й. Применение вихревых токов для целей контроля. (Автореф. канд. дисс.) Л., 1960. 6. В. Г. Герасимов. К теории контроля ферромагнитных цилин- дрических изделий методом вихревых токов.— Заводская лаборато- рия, 1962, № 9. 7. А. С в е т л о в. О распределении переменного магнитного поля вит- ка в присутствии проводящих плоскостей. Тр. физ.-матем. ин-та им. Стеклова, 1933, 4. 8. В. Строганов. О распределении токов, вызываемых перемен- ным магнитным полем витка в проводящей среде. Тр. физ.-матем. ин-та им. Стеклова, 1933, 4. 9. Л. А. Ж е к у л и н. Многослойные электромагнитные экраны. Изв. энерг. ин-та им. Кржижановского, вып. 1—2, 1935, 3. 10. S. L е v у. Electromagnetic schielding effect of an infinite plane condu’ cting sheet placed between circular coaxial coils. Procc. IRE, 1936, 24, № 6. 11. Г. Л. Б ю л л e p. Распределение плотности индукционных токов на поверхности металла. Уч. зап. Томск, ун-та, 1948, №11. 12. F. F б г s t е г, Н. В г е i t f е 1 d. Zeitschrift fur Metallkiinde, 1952, 43, S. 172. 13. А.Л. Дорофеев. Неразрушающие испытания методом вихре- вых токов. М., Оборонгиз, 1961. 14. Ю. А. Выгода. Измерение толщины гальванических покрытий методом вихревых токов с помощью накладного датчика. (Автореф. канд. дисс.) Куйбышев, 1962. 15. Л.М. Суворов. Контроль металлических деталей при помощи вихревых токов с применением накладной катушки.— Заводская лаборатория, 26, 1960, № 9. 16. Л. Д. Гольдштейн, Н. В. Зернов. Электромагнитные поля и волны. М., Изд-во «Сов. радио», 1956. 140
17. М. С. Кошляков, Э. Б. Глинер, М. М. Смирнов. Ос- новные дифференциальные уравнения математической физики. М., Физматгиз, 1962. 18. Г. А. Гринберг. Избранные вопросы математической теории электрических и магнитных явлений. Изд-во АН СССР, 1948. 19. В. С. Соболев. К теории метода накладной катушки при контро- ле вихревыми токами.— Изв. СО АН СССР, сер. техн, наук, 1963* № 2, вып. 1. 20. Ю. М. Ш к а р л е т. Некоторые вопросы теории метода вихревых токов и расчет накладных датчиков.— В сб. «Неразрушающие методы контроля качества материалов и изделий». О НТИПрибор, 1964. 21. И. С. Г р а д ш т е й н, И. М. Рыжик. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М., Физматгиз, 1962. 22. W. F о u g е t. Dipolare Koordinaten und Kugelfunktionen. Zeit- schrift fur angew. Math und Meeh., 1957, 17, № 2, H. 1. 23. Б. И. Сегал, К. А. Семендяев. Пятизначные математи- ческие таблицы. М., Физматгиз, 1959. 24. П. Л. Калантаров, Л. А. Цейтлин. Расчет индуктив- ностей. ГЭИ, 1955. 25. F. J. R u s s е 1, V. Е. S с h u s t е г, D. L. W е i d е 1 i с h. Com- munication and Electronics, 1962, 9, p. 232. 26. В. Г. В я x о p e в, В. П. Д e и и с к и н, Л. И. Т р а х т е н б е р г, Ю. М. Ш к а р л е т. Векторно-разностный токовихревой датчик.— В сб. «Электромагнитные методы контроля качества». (Материалы семинара.) М., 1965 сб. 2. 27. С. С. Аршинов. Температурная стабильность частоты ламповых генераторов. ГЭИ, 1952. 28. А. А. В а с и л ь е в, Б. А. В а р ш а в е р, В. Г. Г е р а с и м о в и др. Способ бесконтактного контроля диаметра немагнитной про- волоки. Авт. свид. № 129825.— Бюллетень изобретений, 1960, № 13. 29. В. Г. Г е р а с и м о в, Р. М. Ч е р н о в, Ю. М. Ш к а р л е т. Ус- тройство для контроля изделий из магнитных материалов. Авт. свид. № 148947.— Бюллетень изобретений, 1962, № 14. 30. В. Г. Герасимов, Ю. М. Шкарлет, А. 3. Краев и др. Прибор с датчиком для бесконтактного контроля размеров металли- ческих изделий способом вихревых токов. Авт. свид. № 148533.— Бюллетень изобретений, 1962, № 13. 31. В. Г. X л е б н и к о в, В. Г. Г е р а с и м о в, 10. М. Ш к а р л’е т и др. Устройство для бесконтактного одновременного и независимо- го контроля диаметра и средней толщины стенок неферромагнитных труб. Авт. свид. № 146957.— Бюллетень изобретений, 1962, № 9. 32. Ю. М. Шкарлет. Способ автоматического бесконтактного кон- троля параметров металлических изделий. Авт. свид. № 147355.— Бюллетень изобретений, 1962, № 10. 33. М. Г. Р е й ф и с о в, С. И. Т и ш и н, Ю. М. Ш к а р л е т и др. Установка для бесконтактного, одновременного и независимого изме- рения диаметра и средней толщины стенки тонкостенных и особотонко- стенных маталлических труб. Авт. свид. № 157501.— Бюллетень изобретений, 1963, № 18. 34. Ю. Я. О с т а н и н, IO. М. Ш к а р л е т. Амплитудно-частотная установка для экспериментальных исследований методом вихревых токов.— В сб. «Неразрушающие методы контроля качества материа- лов и изделий». ОНТИПрибор, 1964. 35. В. Г. Герасимов, А. И. К у л ы г и н, Ю. М. Шкарлет. Применение метода вихревых токов для контроля геометрических 141
размерOBjrpyб.—,В_сб.ЧНеразрушающие~ методы контроля качества материалов и изделий». ОНТИПрпбор, Л964. хм 36. Ю. М. Шкарлет. Способ контроля параметров электропроводя- щих изделий. Тр. МЭИ, 1964, вып. УП. 37. Ю. М. Ш к а р л е т. Прибор для контроля толщины металлических изделий. Тр. МЭИ, 1964, вып. УП. 38. В. С. С о б о л е в. П. Ф. К а л и н и н. Устройство для бесконтакт- ных измерений удельного сопротивления малогабаритных кристаллов низкоомных полупроводниковых материалов. Авт. свид. Кг 151400. — Бюллетень изобретений, 1962, Кг 21. 39. В. С. С о б о л е в, П. Ф. К а л и ни н. Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов. Авт. свид. № 164068.— Бюллетень изобретений, 1964, № 14. 40. В. С. С о б о л е в. Устройство для бесконтактного измерения удель- ного сопротивления полупроводниковых материалов. Авт. свид. К® 166761.— Бюллетень изобретений, 1964, К® 23. 41. В. С. С о б о л е в. Бесконтактные измерения удельного сопротивле- ния полупроводниковых материалов методом вихревых токов. — Изв. Сиб. отд. АН СССР, сер. техн, наук, 1964, вып. 1, № 2. 42. В. С. Соболев. О выборе параметров датчиков для бесконтакт- ных измерений электропроводности материалов методом вихревых токов.— Измерительная техника, 1964, № 3. 43. В. С. С о б о л е в. Бесконтактный метод измерения удельного сопро- тивления полупроводников.— Заводская лаборатория, 1965, 31, № 2. 44* В. С. С о б о л е в. Теория метода накладного датчика при контроле вихревыми токами.— Дефектоскопия, 1965. № 1. 45. Ю. М. Ш к ар л ет, Л. А. Чернов. Способы подавления меша- ющих факторов; при контроле . качества металлических изделий методом вихревых токов.— Изв. АН Киргизской ССР, 1963, № 5. 46. Ю. М. Шкарлет, Л. И. Т р а х т е н б е р г, В. П. Д е н и с- к и н и др. Применение экранных и накладных датчиков вихревых токов.— В сб. «Электромагнитные методы контроля качества». (Ма- териалы совещания.) М., 1965.
ОГЛАВЛЕНИЕ Введение........................................................... $ Глава. I. Электромагнитное поле витка, расположенного над слоистой проводящей средой............................................... 9 § 1.1. Уравнение Гельмгольца для вектор-потенциала электро- магнитного поля. Квазистационарное поле. ... 9 § 1.2. Поле витка, расположенного над многослойной проводя- щей средой .................................................. Н § 1 3. Поле витка в свободном пространстве............... 17 § 1.4. Поле витка над двуслойной средой, пластиной и полупро- странством ................................. 18 Глава II. Приближенные методы решения задачи о поле витка, располо- женного над слоистой средой........................... 21 § 2.1. Разложение полученных интегралов в ряд............... 21 § 2.2. Первое приближенное решение........................ 23 § 2.3. Второе приближенное решение ........................ 27 § 2.4. Сводка формул второго приближенного решения задачи о поле витка, расположенного над двуслойным полупростран- ством ...................................................... 33 Глава III. Теория накладных параметрических датчиков ....-.• 35 § 3.1. Воздействие проводящего неферромагнитного полупрост- ранства на датчик с пренебрежимо малым сечением обмотки 35 § 3.2. Воздействие проводящего неферромагнитного полупростран- ства на соленоид ........................................... 42 § 3.3. Воздействие проводящего неферромагнитного полупрост- ранства на тонкостенную цилиндрическую катушку ... 44 § 3.4. Воздействие проводящей неферромагнитной пластины^ на накладной параметрический датчик ........................... 46 § 3.5. Основные закономерности работы накладного параметри- ческого датчика при контроле неферромагнитных образ- цов ....................................... 54 § 3.6. Воздействие проводящего ферромагнитного образца на на- кладной параметрический датчик ............................. 62 § 3.7. Теория параметрического накладного датчика с магнито- проводом ................................... 65 § 3.8. Распределение плотности вихревых токов в образце .... 68 Глава IV. Теория накладных трансформаторных датчиков.............. 73 § 4.1. Воздействие проводящего образца на датчик с пренебрежи- мо малым поперечным сечением обмоток......................... 73 § 4.2. Сравнение датчиков с различным расположением обмоток . 78 § 4.3. Обобщение полученных результатов на датчики с прямоуголь- ным сечением обмоток и выбор их отимальной геометрии 81 143
§ 4.4. Многообмоточные трансформаторные датчики. Неклас- сические диаграммы вносимых напряжений ......... 86 Глава V. Теория экранных датчик >в......................... 99 § 5.1. Классические экранные датчики.................. 99 § 5.2. Неклассические экранные датчики............... 104 Глава VI. Температурная стабильность накладных и экранных датчиков Ю9 § 6.1. Температурная стабильность параметрических датчиков . 109 § 6.2. Температурная стабильность трансформаторных датчиков Ц2 § 6.3. Температурная стабильность экранных датчиков. ИЗ Приложение..............................•................. 115 Литература..............................•................ 40 Виктор Сергеевич Соболев, Юрин Михайлович Шкарлет НАКЛАДНЫЕ И ЭКРАННЫЕ ДАТЧИКИ (для контроля методом вихревых токов) Ответ, ред. член-корр. АНСССР Константин Борисович Карандеев Редактор Л. В. Шалина. Художественный редактор В. Г. Бурыкин. Художник Н. А. Савельева. Технический редактор Е. М. Елистратова. Корректор М. П. Оськина Сдано в набор 4 апреля 1966 г. Подписано в печать 29 декабря 1966 г. МН 03171 Бумага бЗхЭО1/^ 9 печ. л. 7,7 уч.-изд. л. Тираж 3630. Издательство «Наука», Сибирское отделение. Новосибирск. Советская, 20. Зак. К» 1315 2>я типография издательства «Наука». Москва, Г-99, Шубинский пер., 10. Цена 54 коп.
54 коп.