/
Похожие
Текст
АГРЕ. ГА Т " Б У I А Т - 3 Т "
Техническое описание и инструкция по эксплуатации
Ф 'е (И G О О Т О
О1’Л.:НЛ лкчинл и ордена октдыикоИ 1 CBU.'IJjlll
Харьковский физико-технический институт All УССР
ЛГРЕГА'Ш МШГАТ-ЗГ
♦
Техническое описание и инструкция по эксш1уатаци
Ф.04Ц00 ТО
СОДЕРЖАНИЕ
1. Введение.....................................................3
2. Назначение....................*............................ .5
3. Технические данные.......................................... 6
4. Состав изделия...............................................о
5. Устройство и раоота агрегата “Булат-ЗТ”................... 10
6. Указание мир безопасности................................. 32
7. Порядок- установки ....................................... 34
В. Подготовка к раооте ..................... . ...... ♦ 3V
9. Порядок рибиты..............................................42
Ii) . Порядок разборки испарителя...............................47
II. Порядок омены катода. . . .................................
12. Проверка технического состояния ...........................
IJ. Характерные неисправности и методы их устранения............50
14. Правила хранения........................................... 52
15. Приложение. Альсом приложений $.04000 ДА.....................
il-iu । Лист М доьум.
1’ачмб.
Пр-й.
Ру к.нр.
*И KOIHP.
V..
Гетьман,
Толмачов
Гольд;: не/
Неробкой |
Тугунеь J
К.ии«|ч.ълл.
How I Дли
Ф.04000 ТО
• и
чЛ
АГРЕГАТ
ехничоское
иструкцкя
ооис.’с и
по эксплуатации
"БУЛЛТ-ЗТ"
ХФТИ /М1 УССР
<Ч|И
I. В В ЕДЕНИЕ
I.T. Настоящее техническое описание и инструкция по
эксплуатации прслназначены для ознакомления с устройством,
принципом работы и правилами эксплуатации агрегатов ” Еулат-ЗТ"
исполнений от Ф. О 4(00 до Ф.04000-04.
Исполнения агрегатов "Булат-ЗТ” отличаются различным
вакуумным оборудованием:
- в исполнении Ф.(14000 применяются: агрегат высоковакуумннй
паромпсллнный ABii-o, вентили вакуумные ГОП-50, клапан вакуумный
1СМУ-50 и няе^с ШПР-5Д;
Г ~
- в исполнении Ф.О4()О(4-(Л применяются: агрегат лысоковакуум-
ный паромаслянпый АПП-250-630, вентили вакуумные ВОН-63, клапан
вакуумный KM.YI-G3 и насос 2ПВР-5Д;
ъ
I
!)
£
а
'О
л
- в исполпенни ?.04000-02 применяются: агрегат высоковакуум-
ный паромасляный АВП-250-630, вентили вакуумные ГОП-63, клапан
вакуумный КМУ-!>0 и насос 2ПВР-5Д;
- в исполнении Ф.04000-03 применяются: агрегат высоковагуум-
ный паромасляный АШ-25 -630, вентили вакуумные ГОП-50, клапан
вакуумный КМУ-50 и насос 2НВР-5Д;
- в исполнении Ф.04000-04 вакуумное оборудование аналогично
0.04000-413, (отсутг i-sycT пирометр).
I.'-. Эксплуатацию отдельных элементов и агрегата в целом
производят ио:
ч>
о
Л>
Ч)
о
о
ь
л
pi
«О
(*)
As
а) настоящей инструкции;
б) соответствующим инструкция?.! на составные части, входящие
агрегат "Булат-ЗТ";
м I и*’ >
в) соответствующим инструкциям предприятий-изготовителей
комплектующего оборудования;
Ф.04000 ,л0
А
в
£
ЛолмроХсл
’>Л?А‘-ЧО /7
г) технологическим инструкциям но нанесению апрелеленных
видов покрытия;
п) ' Правилам технической эксплуатации электроустановок
потребителей и правилам безопасности при эксплуатации электро-
установок потребителей", разделы 31. ЭП, БП, БШ. (изд."Энергия",
M.I969 г.)
2. НАЗНАЧЕНИЕ
Агрегаты ’‘Еулат-ЗТ” предназначены для синтеза твердых изно-
состойких материалов (карбидов, нитридов) и нанесения их в виде
покрытий (износостойких, защитных, электропроводных и т.п.) на
режущий инструмент и детали машин.
1!ТН ЛЧС.п
/WllMli*
Ппвп fan*
Ф.04000 ТО
1
3. ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ |
!
3.1. Площадь поверхности напыления под одним испарителем,
дм2 2
3.2. Скорость осаждения пленки на расстоянии 270 мм от
испарителя, мкм/ч ................................... до 40.
3.3. Рабочее давление в камере, мм рт.ст... 2’10"\з,10~3.
3.4. Время откачки каморы до давления 1*Ю~~мм рт.ст.
i
(насосом форвакуумный)
мин...............................................20. . • 30.
—5
3.5. Время откачки камеры до давления 5*10 мм рт.ст.
(агрегатом высоковакуумным), мин..................30 . . .45.
3.6. Время разгона агрегата высоковакуумного
мин 60.
3,7. Напряжение сети переменного тока частотой 50 Гц,
В.......................................................360/220.
3.6. Допустимое колебание напряжения в питающей сети
(в от номинального)......................................~15/.
3.9. Потребляемая мощность:
- в режиме прогрева, кВт ............................5Q;
- в режиме очистки, кВт ............................3Q;
- л рслиню напыления, кВт ..................... 2и:
3.10. Напряжение ли-.сстего -уппц нн ВЫХоде блока питания,
В....................................................65 . 70
3.II. Номинальный рабочий ток дуги. А.......75 +I6Q
3.12. Максимальный рабочий ток дуги, А .......... 300
3.13. Номинальное напряжение на выходе высоковольтного
выпрямителя кВ..................................1,1 или 2,2
/ПС . 4Т> i 1
tc п I / п » £. л •
3.14. Максимальный рабочий ток высоковольтного выпрямителя,
А 10
3.15. Номипальноо напряжение на выходе'блока питания под-
ложки, J 0... 2U0 в.
3.16.......Максимальный рабочий Ток блока питания подложки,
А ..............................................10
3.17. Сопротивление изоляции между испарителем и камерой
должно быть но ми ное, МОм................................1
3.16. Скорость вращения шпинделя устройства поворотного,
об/мин 6
3.1з. Донуитамая нагрузка на шпиндель, кг ..... Зо
3.20. Охлаждение агрегата и прогрев камеры осуществляется
водой;
3‘.21. Температура прогрева, но монее иС............60
3.22. Потребление технической воды при давлении в водопро-
водной сети 2,5 кг о*юм , л/ч..........................1000
3.23. Температура окружающей ороды ♦ 5 * + 45^0.
3.24. Относительная влажность воздуха, но болое:
- при + 20^0......................................$0/4
- при + 40^С......................................50/4
3.25. Высота над уровнем моря, до м...........1000
3.26. Запрещается аксплуатация элект]Х)Оборудовяния агрегата:
- при наличии тряски и вибрации;
- в помещениях с агрессивной средой и токопроводящий пылью.
3.27. Расход воздуха при вентиляции вакуумной камеры
установки, лг/ч..................................... . . 200
Примечание: Рекомендуемый вентилятор тип Ц-13-50 2 (испол-
нение I) ’
/
Ля(1п
Ф. 04000 ТО
ли<г>
Kon^OoLaj) :
4. СОСТАВ ИЗДЕЛИЯ
4.1. В состав агрегата "Булат ЗТ" вхояят;
4.1.1. Исп кипение ф. 04000
- блок питания Ф.ПОоО..............................3 шт.
- выпрямитель Ф.10653 ....................... . I шт.
- стойка управления Ф.04001’..................... I шт.
- установка "Булат ЗТ" Ф.04200 ............... . . I компл.
4.1.В. Исполнение Ф.О4О00-01
- блок питания Ф.ИОоО..............................3 шт.
- выпрямитель Ф.10653 .............................1 шт.
- стойка управления Ф.04001-01 ....................I шт.
- установка "Булат ЗТ" Ф.04200-01 ................ I шт.
- комплект монтакных частей Ф.04007 .............. I компл.
/1 ира// I '< •'Po/i\ tfQQUt/J V'H
4.1.3. Исполнение Ф.04000-02
- блок питания Ф.ИОоО..............................3 шт.
- выпрямитель Ф. 10653 ............................I шт.
- стойка управления Ф.04001-02 ................... I шт.
- установка "Булат ЗТ" Ф.04200-02 ................ I шт.
- комплект монтзхных частей Ф.04007 .............. I компл.
4.1.4. Исполкекио Ф.04000-03
- блок питания Ф.ИОцО..............................3 шт.
- выпрямитель Ф. 10653 ............................I шт.
- стойка управления ф.04001-02 ....................I шт.
- установка "Булат ЗТ" Ф.04200-03 .................I шт.
- комплект монтажных частей Ф.04007 .............. I кОмпл.
л»
।
• Л/С^п Pedn- 4«-n<r Ф. 04000 ТО
4.1.5. Исполнении Ф. 04000-04
- блок питания Ф.П000 . ...........................3 шт.
- выпрямитель Ф.10653 .............................I шт.
- стойко управления Ф.04001-02.....................I шт.
- установка ’’Булат ЗТ” Ф.04200-03 ............... 1 нт.
- комплект монтажных частой Ф.04007 ....... I комдл.
5. УСТРОЙСТВО И РАБОТА АГРЕГАТА "БУЛАТ-ЗТ"
5.1. Устройство и работа установки ”Булат-ЗТ"
5.I.I. Камора представляет собой цилиндрический сосуд с
внутренним диаметром 500 мм и длиной 500 мм. Ось камеры располо-
жена горизонтально. На обеих торцах камеры на петлях крепятся
хрыдкл. 3 HZEsei части камера имеет четыре кронштейна. В крошитей
нах крепятся установочные винты, при помощи которых камора выс-
тавляется в нужном положении.
На камере и крышках расположены шасть патрубков с фланцами
(четыре на камере и но одному на каждой крышке), к которым кре-
пятся: окно смотровое, устройство поворотное, испарители с про-
ставками и переходник к системе вакуумной откачки. Все фланцы
одинаковые, что даот возможность устанавливать на них окно омит-
ровЬе, устройство поворотное и испарители на любой из них так,
как это нужно и удобно для ведения технологического процесса.
На боковой поверхности камеры расположены штуцер для напус-
ка рабочего газа и кронштейн для крепления натекателя.
К корпусу каморы и крышкам припаяны модные трубки, по
которым протекает вода (горячая в режиме прогрева и холодная в
рабочем режиме). Все разъемные соединения на каморе уплотняются
уплотнителями из вакуумной резины. Камера соединяется переходником
с агрегатом высоковакуумным. На переходнике кропятся пробка,
блок измерительный, клапан системы.вентиляции.
5.1.2. Подставка предназначена для установки на ней камеры
с переходников, агрегата i-ксоковакуумного и нагревателя иидукци-
снясгс. В подставке расположены гребенки, на которых установлены
регулирущде л запорные вентили и реле протока жидкости.
Ф. 04J00 ТО
tn 8 v 8a m а . л*gtfjj | /7о8п идата
5.1.3. Испаритель продпазничон дня создания потока плазмы
из материала катода. В качество катода могут быть использованы
различный металлы и их сплавы. Испаритель состоит из следующих
основных конструктивных элементов (см. чертеж. Ф.02701 СБ):
а) фланец поз. 5;
б) корпус поз. 2;
в) катодный узел;
г) устройство поджигающее поз. 4;
д) катушка поз. 6.
Основные конструктивные элементы кропятся к фланцу поз. 5.
Корпус поз. 2 закреплен на фланце при помощи катушки
поз. 6, прокладки поз. 31 и гайки поз. 16. Гайку поз. 16 необхо-
димо навернуть на корпус до упора, а затем равномерно затянуть
болты поз 50, чтобы обеспечить равномерное и достаточное усилие
для сжатия уплотнителя поз. 19.
Корпус поз. 2 служит также электрическим экраном, препят-
ствующим горению дугового разряда на боковой поверхности катода
и деталях катодного узла. Корпус электрически изолирован от
фланца. Изолирующие элементы обеспечивают и вакуумное уплотнение
корпуса.
Катодный узел расположен в центре фланца и включает в себя
катод лоз. 45, элементы водяного охлаждения, вакуумного уплотне-
ния, электрической изоляции и токоподвода.
Катод представляет собой монолитный цилиндр, на испаряемом
торце которого имеется буртик высотой 2 мм, который препятствует
уходу катодного пятна при горении дуги на боковую поверхность ци-
линдра. На водоохлаждаемом торце имеется кольцевой выступ с
Наружной резьбой, которая служит для обеспечения вакуумного уплот-
нения катода. к
Торец выступа, который упирается в резиновый уплотнитель,
не должен иметь вмятин и ра> дальних царапин.
Гайкой по.'. 3. катод через уплотнитель лоз. 44 вакуумно-
плотно прижимается к державке поз. о.
На другом конце державки закреплен наконечник поз. 3, через
который подается к катету идя. Поди ед, отвод и разводка воды должна
Онть выполнена согласно "Схемы гидравлической соединений"
fif* П0&я7\По#п и Зп/тка. '•''Зуб* | Подп и Зъ^гг
Ф.04200 Г4. Уплотнение между добавкой и наконечником осуществля-
ется резиновым уплотнителем поз. 27 и гайкой поз. 41, опирающейся
на разрезное полукольцо поз 25.
Вакуумное уплотнение катодного узла осуществляется двумя
втулками поз. 18 и 22, резиновым уплотнителем поз. 23 и гайкой
поз. 36. Втулки и уплотнитель электрически изолируют катодный
'узел от корпуса поз. 2.
Катодный узел подключается к силовой сети через клемму поз.40.
ио избежание случайного замыкания между клеммой и гайкой
поз. 36 установлено изолирующее кольцо поз. 39.
Необходимо тщательно следить за отсутствием царапин, трещин
и других дефекте! на поверхностях державки, корпуса фланца и дру-
гих деталей, coni икасающихся с резиновыми у11лот1Штелями.
Устройство поджигающее служит для подвига дуги нутом переме-
щения электрода и состоят из;
а) катушки электромагнита;
о) сердечника;
в) электрода;
г) пружины;
д) деталей, образующих корпус.
’ /06' • ТО /г
С>. 04000 .ТО
В исходном положении электромагнит выключен и конец электро-
да удерживается пружиной на расстоянии 15...20 мм от поверхности
катода.
При Ho’eeiie электромагнит включается, и сердечник со штоком,
преодолевая силу сжатия пружины, втягивается в магнитное ноли
катушки и перемещает электрод, который при этом касдотся катода.
Поело этого катушка электромагнита обесточивается, и под
действием пружины сердечник, шток и электрод возвращаются в
исходное положение.
При отрыве электрода от катода возникает электрическая'
дуга, возбуждающая основной дуговой разряд между катодом и
анодом (корпусом камеры).
Устройство поджигающее кропится на фланце испарителя,
электрически изолировано от него фторопластовой втулкой и уплот-
няется вакуумной резиной.
Со стороны камеры устройство поджигпмщоо закрыто экраном
поз. 7, препятствующим горению дуги на штоки в случае приварива-
ния электрода к катоду.
Катушка поз. 6 служит для обеспечения равномерного испаре-
ния материала катода за счот воздействия ее магнитного поля на
перемещение катодного пятна. Одновременно катушка является
элементом, передающим усилии на уплотнитель корпуса.
На флянце поз. 5 кропится экран 30, который препятствует
горению дуги на исковой поверхности катода и стабилизирует луго-
вой разряд.
От корпуса камеры фланец изолирован прокладкой поз. 21 и
втулками поз. 14. Вакуумное уплотнение между флнпцом и камерой
осуществляется резиновыми уплотнителями поз. 20 .
Ф. 04W0 ТО
_________rJ
/1Л
_________JU1’
Испаритель работает следующим образом.
По достижении в камере необходимого рабочего вакуума на
Л • 1
катушку устройства поджигающего подают импульс тока. Сердечник
со штоком втягивается в катушку и перемещает поджигающий элект-
род, который замыкает промежуток между катодом и устройством |
поджигающим, электрически соединенным через ограничительное соп-
ротивление с анодом (камерой). *
По окончании импульса, катушка устройства поджигающего обое- J
точивается и сердечник со штоком возвращаются в исходное положе- i
кие, поджигающий электрод отходит от катода и электрическая цепь
между катодом и анодом прерывается, возбуждая микродуту. При
этом между катодом и анодом возникает дуговой разряд.
Если дуговой разряд но возникает, система управления испа-
рителем посылает новый импульс тока в катушку.
После того как возникает дуговой разряд, подача импульсов
тока в катушку автоматически прекращается.
Катодные пятна, перемещающиеся по круговым траекториям на
испаряемом торце катода, яхляютея источниками плазмошшх струй. |
Изменяя величину магнитного поля катушки поз. 6 (меняя силу тока, I
протекающего через катушку), устанавливают такой средний радиус
траекторий катодных пятен, чтобы обеспечить более равномерное
испарение материала на торце катода.
При недостаточном электромагнитном поле испарение катода
происходит в основном в центре, при большой величине поля - на
периферии торца.
Снаружи испаритель закрыт диэлектрическим кожухом, который
кропится к фланцу винтами.
5.1.4. Устройство поворотное служит для вращения обрабаты-
ваемых изделий в струе испаряющегося материала катода, что обсс-
Устройство поворотное состоит из крышки, к которой с
• одной стороны кропится шпиндель, а. с другой оторопи - мотор-
редуктор.
Между крышкой и мотор-редуктором установлено диэлектри-
ческое кольцо.
Крышка изолирована от камеры диэлектрическим изолятором
и втулками.
J i^iOTliClLUC МСЖДУ КрЫШКиИ Л Камерой ОСуЩСС- ВЛЯСТСЯ
двумя резиновыми уплотнителями.
Вал мотор-редуктора через муфту соединен с валом шпинделя.
Вал шпинделя через вакуумное уплотнение проходит внутрь камеры
и заканчивается специальным хвостовиком, к которому крепится не-
обходимое приспособление с закрепленными или установленными на
нем обрабатываемыми (напыляемыми) изделиями.
Устройство поворотное может быть установлено на любой патру-
бок камеры и работать как с вертикальным, так и с горизонтальным
расположением вала электродвигателя.
Устройство поворотное закрыто .^электрическим кожухом, т.к.
к нему подведено високос напряжение.
5.1.5. Система водяная(позиционные обозначения основных
элементов см. w.04^UU Г4) состоит из гребенок, вентилей, трубопро-
водов и предназначена:
а) 11. режима подготовки установки к работе для прогрева ее
горячей водой с целью ооезгазить внутренние поверхности камеры,
крышек камеры и проставок (температура прогрева около 60°С).
Для этого необходимо включить нагреватель индукционный iiTI.
0) в рабочем режиме, при выключенном нагревателе индукцион-
«
ном - охлаждать крышей камеры, камеру, проставки и испарители.
!
I
Агрегат выооковакуумнкй и •испарители охлаждается постоян-
но, как ь риХИ1.:е прогрева, т«^ и р рябочем режиме.
Для контроля протока года в ветвях системы охлаждения уста-
новлены реле протока жидкости. Подвод и отвод води от узлов и
агрегатов осуществляется медными трубами и резиновыми рукавами.
Система ^здоохпажденпя работает только со свооодным
сливом во,:;н !
5.1.6. Линия форвакуумная сооой труоопоовод,
соединяющий механический форвакуумный насос с камерой и с агре-
гатом высоковакуумным.
На линии форвакуумной установлены клапан электромагнитный,
два вентиля вакуумных, блок измерительный.
Компенсатор (трубка резиновая) препятствует передаче вибрации,
возникающей при работе механического форввкуумцого насоса,
остальным частя?.: установки.
5.1.7. Описание устройства и работы агрегата выооковаку-
умного, вентилей вакуумных, и клапана электромагнитного см.
соответствующие инртрушуш завода-поставщика.
5.1.6. Описание устройства и работы механического (J-орва-
куумного насоса см. инструкцию завода-поставщика насоса.
5.2. Устройство и работа электрооборудования агрегата
"Булат - ЗТ" .
5.2.1. ^Электрооборудование агрегата "Булат-ЗТ” обеспечивает
электрическое л иташю и стабилизацию электро дугового разряда;
стабилизацию катодного пятна электрической дуги на рабочей по-
верхности катода; автоматический поджиг дуги при ее спонтанном
погасании; работу установки в режимах прогрева, очистки и конден-
сации; контроль необходимых параметров технологического процесса
J f"’
? /0€ -50 /7
Ф.04000 ТО’
------------------------------------!
(ток дуги, величина давления в рабочем объеме и т.д.);
питание и управление вакуумным оборудованием.
В схеме управления агрегатом (см. чорт. 4.04000 03)
предусмотрены необходимые блокировки, сигнализация и защита
электрических ценой.
5.2.2. Согласно технологическому процессу раооту электро-
оборудования агрегата можно подразделить на три режима:
- прогрев; очиотка; напыление. j.
Необходимая величина давления в рабочий камере па всех
режимах обеспечивается вакуумной системой агрегата, описание ра-
боты которой приведено в п. 5.2.6.
5.2.3. Режим прогрева предназначен для предотвращения конден-
сации и удаления паров воды с внутренних поверхностей установки,
а также их обозгаживания в процессе откачки. Прогрев осуществля-
ется горячей водой, циркулирующей по трубам, приваренным к
стенкам камеры, переходника и проставок. Вода нагревается
индукционным нагревателем AI-EI, представляющим собой трансформа-
тор. кпгу?у’:оз;;г;:..и(утая вторичная обмотка которого выполнена
трубкой из нержавеющей отели. Вода проходит по виткам коротко-
замкнутой оомотки, нагревается до температуры 90°С и поступает в
систему прогрева камеры. Контроль температуры осуществляется
роле температурным, установленным на индукционном нагревателе.
Напряжение сети на систему прогрева подается при включении авто-
мата A2-FI. Управление индукционным нагревателем осуществляется
с блока управления Л2-Ы кнопками 59, $ 16. При нажатии кнопки
£ 16 подается напряжение па катушку магнитного пускателя А2-К7,
замыкающего свои контакты в цени первичной обмотки индукционного
нагревателя (цени 36,39). В цепь катушки пускателя А2-К7
...... — , . ‘
Л» Jr» 4. 04UUJ ТО ----- — 1 £5
включен размыкающий контакт реле температурного AI-BI. При
нреькдешш заданной температуры контакты реле AI-BI размы-
I
каются, предохраняя индукционный нагреватель от перегрева.
Отключение прогрева осуществляется кнопкой > 9 на олоке управ-
ления. '
5.2.4. Режим очистки предназначен для очистки подложки от
загрязнений и осуществляется ионным тралением поверхности
изделия перед напылением, для чего к напыляемому изделию прик- >
ладывают высокий отрицательный потенциал. Поны металла катода,
образующиеся в результате элоктродупнчн'о разряда, ускоряются
под действием высоковольтного потенциала до энергии достаточной
ддя того, чтооы выбить с поверхности напыляемого изделия атомы
поверхностного слоя. Таким образом происходит очистка поверхно-
сти напыляемого изделия.
ч
Т)
§
Следовательно, в режиме очистки схема должна обеспечить
возбуждение и стабильное горение электрической дуги между катодом
?. /кодом, стабилизацию катодного пятна на рабочей поверхности
катода, а также наличие высокого отрицательного потенциала на J
подложке. Возбужденно электролугового разряда между катодами и
анодом и управление движением катодных пятен на рабочих
(испаряемых) поверхностях катодов обеспечивается блоками управло- I
ния испарителями Б5,Б6,Б7; питание электродуговых разрядов -
блоками питания С 2, Оз, &4, высоковольтный потенциал - высоко-
вольтным выпрямителем Gl. Управление режимом очистки осущест1ля-
ется с блока управления А2-Б1.
Схема в режиме очистки работает следующим образом. Напря-
жение сети подастся на схему при включении автоматического вык-
лючателя А2- Fl. Вентиль системы охлаждения открыт. Система прог- j
по
Л)
ла
Дайл
? /V6 - <0 - /
Ф. 04000 ТО
рева в режима очистки отключена.
Включением автоматических выключателей A2-FG, A2-f7,
A2-f d напряжение подается на входные цепи блоков питания G2,
#3, G4, напряжение на схему высоковольтного выпрямителя GI
включается автоматическими выключателями А2- Г 4 (анодные
цепи) и A2-F3 (цепи накала); напряжении на схему питания пово-
ротного устройства включаете* гнтоматичеоким выключателем
А2- F2.
Управление блоками питания G2t G3, С4, высоковольтным
выпрямителем С1, а также приводом поворотного механизма AI-L1I
осуществляется с блока управления А2-Б1.
Включение алектоодугового разряда испарителей I, 2 и 3
осуществляется кнопками 5 13, Sl4, 15 соответственно,
При замыкании этих кнопок срабатывают пускатели А2-К4, А2-К5 и А2-
-К6. блокируя замыкающими контактами кнопки и замыкая свои
контакты в цепи блоков питанияС2, G 3, С4, а также блоков
управления испарителями Л2-Б5, Л2-Б6, А2-Б7.
Блок питания представляет собой однопоотовой сварочный
выпрямитель типа ДЦ-30633 с дополнительной схемой защиты, кото-
рая предназначена для защиты полупроводниковых диодов сварочного
выпрямителя от перенапряжений, возникающих на стороне нагрузки в
мом' ент погасания электрической дуги в вакууме. Схема защиты со-
- --держит ЮмиЮ цепочки с конденсаторами: низкочастотные CI,
С2, СЗ общей емкостью 3000мсФ, включенные через резистор Ri,
и высокочастотные СЗ, С4, С5 общей емкостью 6 мкФ, и номинальным
напряжением I id).
1
При включении блоков питания на испарителях появляется
напряжение равное напряжению холостого хода сварочного выпрями-
теля (65 В). Одновременно срабатывают схемы поджига дуги и
схемы управления движением катодного пятна электрической дуги
блоков управления испарителями. Схема поджига дуги содержит
понижающий трансформатор Е1-Т1, выпрямитель EI- (Vl ♦ V4),
мультивибратор на транзисторах ЕЗ - V3, ЕЗ - Уб, ЕЗ * V 6 и
датчик погасания дуги, выполненный на стабилитронах ЕЗ - У?,
ЕЗ - Vd. Параметры стабилитронов подобраны таким образом, чтобы
oim запирались при напряжении равном напряжению горения дуги
(25 В) и отпирались при напряжении холостого хода блока пита-
ния (65 В).
Поджиг дуги осуществляется следующим образом. 3 исходном
состоянии тиристоры EI-VI, EI-V4 заперты, л на выходе
блоков управления испарителями (цепи 93, 94 испарителя I;
133, 154 испарителя 2; ИЗ, 114 испарителя 3) напряжение отсут-
ствует. На вход блоков управления испарителями (цепи 96, 106,
116 ) при включении блоков питания поступает напряжение равно®
напряжению холостого хода блока питания. Под действием этого
напряжения пробиваются стабилитроны ЕЗ - V7 и ЕЗ -V8, и напря-
жение х.х. блока питания поступает га эмиттеры транзисторов
ЕЗ - V о и ЕЗ -Уб, н .холящихся в запертом состоянии. Транзистор
63 - УЗ, являющийся одним плечом мультивибратора, отперт напря-
«снии», подаваемым через диод ЕЗ- V9 и резистор ЕЗ - £ 2.
Током, протекающим по открытому трамамотору ЕЗ -V3 перезаря-
жается конденсатор ЕЗ - С1. Напряжение с этого конденсатора
*
£
о
подается на базу транзистора ЕЗ - V5, представляющего собой
второе плечо мультивибратора. При достижении напряжения на конден-
саторе ЕЗ - 51 достаточного для отпирания транзистора ЕЗ - V 5,
<0
4
этот транзистор отпирается, и но цепиR7, Vo, RB протекает ток.
На эмиттере транзистора ЕЗ -Уб появляется напряжение, которое
подастся на базу транзистора ЕЗ - Уб. Под действием этого
напряжения транзистор ЕЗ - V6 отпирается, к на выходе мульти-
вибратора (резисторы ЕЗ - R 9 и ЕЗ - R 10) появляется импульс
напряжения, который подвитая на управляющие электроды тиристоров
EI-VlnEI-V4, тиристоры отпираются,на заходах блоков
управления испари толями (цепи 93, 94, 103, 104, 113, 114) появ-
ляются напряжения, и по катушкам электромагнитов поджигающих
устройств ОМ протекает ток. Якорь электромагнита притягивается,
перемещая поджига! -щий электрод испарителя до соприкосновения с
катодом. »Цо цепи - блок питания, катод, поджигающий электрод,
токоограничивающие сопротивления R 4, /?5, ^6, анод блока пита-
ния (корпус) - протекает ток поджига, Величины сопротивлений
R 4, Я 5, И б подобраны таким образом, чтобы величина тока поджи-
га была в пределах 12-J-15 А.
При протекании тока по транзистору ЕЗ -V5 происходит пере-
зарядка конденсатора G<i, включенного в цепь базы транзистора
ЕЗ - V 3. При достижении определенного уровня напряжения транзис-
тор ЕЗ - V 3 запирается, конденсатор ЕЗ - С1 разряжается, что
приводит к запиранию транзистора ЕЗ - V 5, а затем транзистора
ЕЗ - V 6. При этом исчезает напряжение на управляющих электродах
тиристоров El - V 1 и El - V 4 и напряжение на выходах блоков
управления испарителями исчезнет.
Катушки электромагнитов теряют питание, и под действием
пружины якоря электромагнитов возвращаются в исходное состояние,
разрывая цепь катод - поджигающий электрод. При этом между като-
дом и поджигающим электродом возникает электрический дуга, воз-
буждающая электрическую дугу между катодом и анодом, что npm одит
к понижению напряжения на входах блоков управления дугой (цепи 9С,
106, 116, ) до напряжения горения дуги (25 В) и стабиллт-
ши Лист Ло<]п-
Ф. 04000 ТО
роны ЕЗ - V?, ЕЗ - Уб запираются. При этом транзисторы
E3-V5 11E3-V6 остаются запертыми, конденсатор С2 разря-
жается, что приводит к отпиранию транзистора КЗ - V 3 и схема
приходит в первоначальное состояние. Если поджига дуги но прои-
зойдет, то на входе блока управления испарителем останется нап-
ряжение, равное напряжению холостого хода олска питания, стаби-
литроны ЕЗ - V 7 и ЕЗ - V ft останутся отпертыми, на выходе .\уль-
тлвиоратора снова неыи-’тся управляющий импульс, откроются тирис-
торы EI-V1, Е1-У4и на выходе олока управления испарителем
появится импульс напряжения. Циклы поджига будут повторяться.
пока не произойдет возбуждение дуги.
величины пауз между импульсами поджига определяются величи-
ной сопротивления ЕЗ- R 6, в качестве которого применен регулиру-
емый резистор.
При случайных погасаниях дуги схема раоотает аналогично.
ь
£
ъ
ъ
ь
о
Резисторы S3
условий отпирания
- R к3 м и ЕЗ - R 10 служат для улучшения
иристоров при наличии .значительного разброса
•ъ
5»
t
О
«Х,
их характеристик.
Резисторы R2
и R 3 служат для ограничения тока в момент по-
Гасания дугового разряда.
Измерение тока ;^ти какого испарителя осуществляется ампер-
метрами FA2 на блоках управления пспарителями, включенными в
измсрител1.ную цепь шунтов Ын в олоках питания.
с
о,
Одновременно с поджигом дуги включается схема управления
движением катодного пятна электрической дуги на рабочей догерх-
ностд: кцте состоящая из трансформатора TI, выпрямителя на
j / * • *
- у 4, транзисторов ЕЗ -V5 л
-Rl, R 4 (в блоках управления г
) и соленоидов
А
г)
1
ю
1
ОО
ч/^ AA-W1 Лодг>
/«/</»
ton? - _<о / ?
Ф. 1)4000 ТО
Копи£>а&а.л .
служит для регулирования тика, протекающего ио соленоиду 1*1,
что осуществляется путем изменения величины потенциала, подавае-
мого на базу транзистора К2 - V 5 при помощи потенциометра Е2 -R I
При этом меняется потенциал базы, а следовательно, и ток транзи-
стора 112 -VG, включенного в цепь соленоида L 1. Таким образом
можно менять величину магнитного поля, создаваемого соленоидом,
которое управляет движением катодного пятна электрической /1уги по
поверхности испарения катода и способствует равномерному испаре-
нию катода. Измерение тока осуществляется амперметром FAI.
Катоды электролуговых испарителей снабжены элоктростатичос-
кики экранами 31, соединенными с корпусом (анодом) через конден-
саторы С2, G4, 06, установленными в щите резисторов. Экраны соз-
дают электростатическую экранировку нерабочей боковой поверхности
катода и препятствуют переходу на ное катодного пятна. Криме того
испарители содержат дополнительные аноды 02, которые соединены
с -корпусом (анодом) через конденсаторы Cl, СЗ, 05 и резисторы
R. I, X 2, Язи предназначены лля стабилизации горения дуги при
малых токах. Катоды электродуговых испарителей соединены также с
корпусом посредством защитных цепочек, состоящих из управляемых
диодов Vl, У2, Уз, резисторов R? + ₽ 12 и конденсаторов 07,
CU, СУ. Все указанные элементы установлены в щите резисторов
(ф.оьиоУ).
анодную цепь питания испарителей включены балластные
реостаты R I, R 2, R3, служащие для регулировки тока дуги и ста-
билизации горения электродугового разряди испарителей.
Высоковольтный отрицательный потенциал на подложке в режиме
очистки создается включением высоковольтного выпрямителя С1.
Выпрямитель (и*• ЮииЗ 33/ имйхиНТ из повыщамцего трансформа-
тора TI, выпрямительного трехфазного моста, собранного ня тират-
ронах V I ч- Уб, накальных трансформаторов Т2 -t Т7, цеп'- развязки
Ш ----- - ЛИГ
ж/х’.-п Лодп е Д^/тг<7 Ф. 04000 ТО 23
ВЫСОКОВОЛЬТНОГО I! низковольтного источников питания,*балластной
нагрузки 113 ♦ Н20.
Выпрямитель ооеспочиваот на выходе напряжения 1,1 кВ или
2,2 кВ в зависимости от способа включения обмоток трансформатора
TI по схема "звезда” или "треугольник".
Управление выпрямителем осущестшиются с блока управления
А2-Б1 (черт. Ф.04773 33).
Схема работает следующим образом. Выбор величины выходного
напряжения осуществляется переключателем 5I?, включенным в цепь
питания катушек пускателей A2-KI и А2-К2. В зависимости от поло-
жения переключателя S 17, срабатывает пускатель A2-KI или А2-К2,
контакты которых включают обмотки трансформатора по схеме "звезда"
или "треугольник" соответственно.
При замыкании контактов кнопки SII подается напряжение на
катушку пускателя А2-КЗ, пускатель срабатывает, замыкает контакты
4
о
в цепи питания выпрямителя (А4,Б4,С4). На выходе выпрямителя
появляется высокое напряжение, отрицательный потенциал которого
подается на подлбжку.
Б цепь питания катушки пускателя А2-КЗ последовательно вклю-
чены разомкнутые контакты конечных выключателей Si+5b (Ф.10653 33,
цепи 22, 27), установленных в стойке выпрямителя, и AI -Si,
AI -5 2, AI - S3, устано] ленных на крышке I, крышке 2 каморы и
крышке поворотного устройства соответственно (черт. Ф.04000 33,
цепи 13, 14, 15, 22), что предотвращает возможность включения вы-
сокого напряжения при снятых панелях на выпрямителе и открытых
крышках на установке.
Высоковольтный выпрямительuI собран по схеме Ларионова на
тиратронах Тр I-6/I5.
Применение тиратронов, имеющих более высокое обратное напря-
жение по сравнению с полупроводниковыми вентилями, обусловлено
Ф. 040UD ТО
24
АЛ» н*7о Jo
перенапряжением, возникающими на выпрямителе со стороны нагрузки,
в момент микроризрядов и их погасания. i
Ьалластная нагрузка представляет сооои лампы накаливания г
НЗ+Н20 и предназначена для защиты выпрямителя от перегрузки в ?
режимах короткого замыкания, а также гашения электродуговых
разрядов, которые могут возникнуть между подложкой и каморой.
।
При увеличении тока в результате накала лпмн увеличивается их ।
ъ
г
сопротивление, что приводит к гашению возникшей электрической
дуги.
Цепь развязки высоковольтного и низковольтного, источников
питания содержит диоды V7, Vb, V9, зашунтированные резисторами <
R 14* R 22 и конденсаторами С2, СЗ, 04 для выравнивания потенциала i
на диодах.
Конденсаторы CI, G5 и резистор 23 выполняют роль сглаживаю- 1
щого фильтра.
Низковольтный источник питания подло, ди включается в ре- [
жиме напыления (см. п. 5.2.5). Измерение тока производится
амперметром РА, измерение напряжения - вольтметром РИ. ;
ii процессе очистки необходимо поворачивать изделия для обое- я
печения равномерной очистки всей поверхности. Включение механизма
поворота осуществляется с блока управления А2-Б1 кнопкойS12. При
нажатии кнопки 5 1г включается пускатель К2, контакты которого за- !
мыкают цепи питания электродвигателя AI-MI механизма поворота.
По окончании процесса очистки отключение высоковольтного
выпрямителя осуществляется кнопкой S4, блоков питания G 2, С 3,
G 4 кнопками 5 6, Sv, Sb, механизма поворота - кнопкой S 5
на блоке управления A2-BI.
5.2.5. Режим напыления предназначен для нанесения упрочня-
ющего покрытия на обрабатываемое изделие в атмосфере азота (или
Ф. U4U00 ТО
другого газа) при давлении в рабочем объеме камеры х-ИЛЧь*
’10~^мм рт.от. В режиме напыления происходит конденсация на под-
ложку испаренного материала катода, взаимодействующего с атомами
легирующего газа, что приводит к образованию на обрабатываемой
поверхности покрытия, содержащего нитрид материала катода.
В режиме напыления схема должна обеспечить возбуждение и
стаоильное горение электрической дуги между катодом и анодом,
стабилизацию катодного пятна электрической дуги на рабочей повер-
хности катода; высокие физико-механические свойства покрытия
на обрабатываемом изделии; равномерность покрытия по всей поверх-
ности изделия; охлаждение рабочей каморы.
Возбуждение электродугового разряда между катодом и анодом,
а также управление движением катодного пятна на рабочей (испа-
ряемой) поверхности катода обеспечивается блоками управления
испарителей Б5, Б6, Б7; питание электродугового разряда - блоками
питания (G 2, G 3, G4).
Схема в режиме напыления работает следующим образом:
Схема прогрева отключена, вентиль системы охлаждения открыт.
Схема питания испарителей (блоки питания G 2, С?3, (74),
схема возбуждения электродугового разряда между катодом и анодом,
управление движением катодного пятна на рабочей поверхности ка-
тода (блоки управления испарителями А2-Б5, А2-Б6, А2-Б7), а
также схема питания и управления поворотным механизмом раоотают
так же, как г в режиме очистки (см. п. 5,2.4.).
Высоковольтный выпрямитель в режиме напыления отключен, а
на напыляемое изделие подается низковольтный потенциал 0 t 200 в
с блока питания А2-Б2.
„ , - г»
Ф.04000 ТО
Схема блока питания подложки содержит однофазный двухно-
лупериодный выпрямитель, собранный на диодах УIt V4, вклю-
/
чонный в день вторичной обмотки трансформатора А2 - TI, уста-
новленного в отойке управления, автотрансформатор TI, продназ-
намонлий д-я регулирования выходного напряжения, в продолах
О -г 200 В, устанавливаемого вручную. Для защиты цепей блока
применен автоматический выключатель F1. Измерение выходных
параметров блока производится вольтметром РИ I и амперметром PAI.
Управление схемой питания подложки осуществляется с блока управ-
ления А2-Б1 кнопками*» I, $г.
При замыкании контактов кнопки $ 2 срабатывает пускатель KI
в блоке питания подложки, блокирует цепь кнопки 5 2 и включает
цепь питания автотрансформатора TI. Отключение схимы питания
подложки по окончании режима конденсации производится кнопкой Si.
Отключение питания дуги испарителей и поворотного механизма
осуществляется соответственно кнопками So, £?, Sc, Sb.
5.2.6. Технический процесс очистки изделия и конденса-
ции производится при давлении в рабочем объеме 3’I0*^tb*IU"J
мм рт.ст., что обеспечивается вакуумной системой, включающей в
себя форвакуумный наооо AI-M2, агрегат високоиакуумный AI-K2 с
клапаном высоковакуумной откачки AI-Уб, аварийный клапан А1-У2,
клапан форвакуумной откачки агрегата высоковакуумного А1-УЗ,
клапан форвакуумной откачки камеры А1-У4, клапан вентиляции
камеры А1-УЬ.
Питание и управление электрооборудованием вакуумной систе-
мы агрегата содержит блок управления форвакуумным насосом
А2-ПЗ, блок управления выооковакуумным агрегатом А2-Б4, блок
управления приводами клапанов А2-БЬ, измеритель вакуума A2-PI.
Ф.040О) TU л 27
П ад ri’
rtf' _ 4 ГЛ . / *» . Клг^и ao^etjf rr> ft
Трансформатор А2-Т2, выпрямитель А2 - V1 + Л2 V-4, конденсатор
АФ-CI применяются для исполпсшС! Ф.01 JOU и Q.04000-02,
w.04000-05, v.U‘i0uu-04.
Схема блока управления форвакуумным насосом работает сле-
дующнм• образом. Напряжение сети За0/220 В подастся в блок через
автоматч Fl. При нажатии кнопки 5 О ("ПУСК") пускатель KI
>
включает двигатель.форвакуумного насоса. Через 1+5 сек (вы-
держка времени определяется установкой, роле времени К2)
включается аварийный клапан А1-У2 (цепи 5G, 154). Выдержка времени
необходима для того, чтобы аварийный клапан' открывался при
достижении номинальных оборотов привода насоса. Закрытие ава-
рийного клапана происходит при исчезновении напряжения питания.
Сигнализация о положении аварийного клапана осуществляется
сигнальными лампами Н2, ИЗ, ^сличенными через контакты коночных
*
I
выключателей клапана (цени 55, 57, бе). Лампа III сигнализирует
о включении форвакуумного насоса. Отключение форвакуумного на-
соса производится КНОПКОЙ S I.
Питание и управление агрегатом высоковакуумным обеспечи-
вается блоком А2-154. Напряжение сети подастся через автомат Г I.
Включение нагревате.тя насоса производится тумблером с самовоз-
вратом $1. При установке тумблера в положение "11101", замыкается
цепь катушки пускателя КХ: автомат F1; предохранитель F 2,
контакт реле К2 контроля перегрева корпуса насоса, замкнутый
контакт первой цепи тумблера 5l, блокирующий контакт пускателя
KI в блоке управления форвакуумным насосом А2-БЗ (при включен-
ном форвакуумном насосе контакт замкнут), контакт второй цепи
тумблера 5 I» катушка пускателя 1<1, ноль сети. Пускатель KI
срабатывает, замыкает свои контакты в цепи питания нагревателя
Ж/ОП
04000 ТО
насоса (цепи 191, 192, 193) и блокирует контакт второй цепи
тумблера I; при отцуокании тумблера он возвращается в среднее
положение, но указанная цои> питания катушки пускателя KI остается
замкнутой.
При перегреве корпуса насоса разомкнется контакт термороло
E2-S'/, что приведет к отключению рели К2 и пускателя KI. Нагре-
ватель насоса отключится. При этом появится световой (лампа Н2)
и звуковой (элоктрозвонок III) сигналы. Для включения нагрева-
теля поело достижения номинальной температуры корпуса, noodxojui-
7yi..6.iux, S I Нёревиити в положение "ВКЛ”.
Поток воды в системе охлаждения агрегата высоковакуумного
контролируется с помощью роле протока Г 4. .
При исчезновении потока вода, при его уменьшении ниже
определенного уровня произойдет замыкание контактов этого реле
и автоматическое закрытие клапана высоковакуумного агрегата, что
предотвратит попадание паров масла в рабочий объем каморы при
перегреве корпуса насоса. '
При обрыве спирали нагревателя насоса в какой-либо из
трех фаз на катушки реле КЗ срабатывает. При этом появляется
световой (лампа НЗ) и звуковой (электрозвонок HI) сигналы аварии.
Питатель азотный агрегата высоковакуумного содержит дат-
чики уровня азота S 9, *510, нагреватель питателя . Е2 и привод
клапана У1. При установке тумблера S 3 на блоке ущ^влсния
агрегатом в положение "21КЛ” схема автоматически поддерживает
нужный уровень азота. Схема работает следующим образом.
При уровне ’’норма” контакты датчиков Е2- S 9 и E2-SI0 остаются
разомкнутыми (цепи 196, 198, 200) и реле К4 и К5 отключены;
при этом риле Кб, включающее цепи питания нагревателя и клапана,
Ла<1г> А'1/rtv
----- ---
Ф.04000 ТО
отключено, г.к. в цепи питания катушки Кб установлены размы-
кающиеся контакты реле К4 и КЗ. При понижении уровня сначала
*
замкнется контакт датчика Е2 - £ 9 и сработает роле К4, затем,
при уровне ’’ниже нормы” произойдет замыкание контакта датчика
Е2 - £ IJ, включается реле КЗ и Кб. Контакты реле Кб включат
цепи питания нагревателя питателя (цени 201, 202) и клапана,
который питается постоянным током от выпрямителя VI: + V4 с
яонижащим трансформатором II. Сигнализация об уровне азота,
а также о включении нагревателя питателя и клапана осуществля-
- етол лампами Н4, Но, Н7 включенными через контакты соответст-
вующих роле.
Примечание. Подключение питателя азотного осуществляется
у потребителя только в случае поставки его совме-
стно с агрегатом высоковакуумным паромасляным.
НыР, ^лсдл. \/7ofs> и дотаrs*dyij [ /7ем7хт с/г?<?.гг»<7
Для отключения высоковакуумного агрегата необходимо тумбле-
ры £ 1 и S3 перевести в положение ”ОТКЛ".
Питание и управление приводами клапанов вакуумной системы
*
УЗ, У4, УЗ, Уб осуществляется блоком А2-Б6. Напряжение сети
подается в блок на автоматический выключатель F I. Включение
привода клапана УЗ осуществляется замыканием контактов кнопок
S 2 ("ОТКРЫТ”) илц£(’’ЗАКРЫТ”), при этом срабатывают магнитные
пускатели К2 и KI. При достижении задвижкой клапана одного из
крайних положений, размыкаются контакты конечных выключателей
t Е$ — - -
клапана, включенные в цепи питания катушек пускателей К2, KI,
и пускатели отключают привод клапана.
для остановки задвижки в любом промежуточном положении в
цепи питшшя катушек пускателей включен размыкающий контакт
i>)
н\» ''X.
W. 0-1 изо ТО 1
Лов г» 1зо
I
г
3
л
$
кнопки 5 1. Положение "ОТКРЫТО” или ’’ЗАКРЫТО" сигнализируется
лампами HI, НИ напряжение на которые подается через замы-
кающие контакты конечных выключателей клапана.
Питание и управление клапанами У4, У5, Уб осуще-
ствляется аналогично.
।
6. УКАЗАКЙЕ МЕР БЕЗОПАСНОСТИ
6.1. К роботе на установке должен допускаться обслуживающий
персонал, хорошо знающий устройство и рнооту установки, комплек-
тующего оборудования, электропитания, вакуумных измерений, а
также технологический процесс, для которого установка предназна-
чена, и прошедший подготовку по правилам эксплуатации установки,
правилам техники безопасности и вакуумной гигиены.
6.2. Персонал, эксплудтирукшй и ремонтирующий установку
и ее оборудование, должен иметь удостоверения, дай.;:;с ему право
работать на электроустановках напряжением более 1UJO В.
6.3. Отсасывающая вентиляция должна быть снабжена пылоулав-
ливамщим фильтром. Необходимо следить за своевременной очисткой.__
пылеулавливающего фи. .. /ра.
6.4. Профилактическую очистку стенок камеры производить
пылесосом и металлической щеткой.
6.0. При длительной эксплуатации установки (непрерывная
работа в течение 5-6 месяцев) камеру демонтировать, внутренние
поверхности обработать пескоструйным аппаратом до полного удале-
ния пленки.
6.6. При выгрузка изделий из камеры, очистке фильтров отса-
сывающей вентиляции, стенок камеры и пылесоса пользоваться
защитными очками к бесклапанным противопылевым респиратором
’’Лепесток 40” марки ШБ1.
6.7. Рабочие помещения, в которых производится обработка
деталей или вакуумных сосудов с применением бензина, спирта,
ацетона должны быть обесточены.
6.8. Курение в таких, помещениях запрещается.
6.9. В помещениях, где производятся работы, необходимо иметь
средства для тушения иожара-огнотушптели ОУ-5 (но менее 2-х штук). '
- -
V.04000 ТО
6.IU. Лицы ответственные за работу установки, должны знать,
что включение установки категорически запрещается:
а) при неисправной системе блокировок;
б) со снятыми защитными кожухами на испарителях и механиз-
ме вращения;
в) при неисправной системе электропитания;
г) при неисправной оиотемо водоохллждопия;
д) без подачи воды во все водоохлаадасмыо части уставов-
I —
«СИ ।
6.II. для обеспечения условий безопасности работы на уста-
новке и для прсдотвращсш1я неправильных действий обслуживающего
персонала, могущих привести к аварии и выходу из строя обору-
дования, предусмотрены блокировки, описанные в п. 5.2.
6.12. Дополнительные меры безопасности при работе о кон-
кретными материалами должны быть указаны в соответствующих техно-
логических инструкциях по нанесению определенных видов покрытий.-
6.13. Каждый потребитель обязан (в зависимости от конкрет-
ных условий) разработать свою инструкцию по техники безопасности.
ф. оюии ТО
tu</»
33
7. ПОРЯДОК УСТАНОВКИ
7.1. Помещение, в котором размещается установка, должно
быть с плотными непротекающими потолками. Полы следует делать не-
пилящими (метлахская плитка, линолеум и др). Стены - покрытие
масляной краской светлых тонов. Коммуникации желательно делать
скрытыми или окрашивать масляной краской.
Помещение должно быть оборудовано общей приточно-вытяжной
вентиляцией, согласно СН и ПЦ-33-76. Воздухосборники приточной
вентиляции должны быть снабжены пылеулавливающими фильтрами.
7.2. Все производственные участки необходимо размещать в
отдельных самостоятельно вентилируемых помещениях.
7.3. Общее освещение желательно осуществлять газоразрядными
лампами. Освещенность не менее 3JUO лк.
7.4. Установка оборудования, мебели, в том*числе и рабочих
столов должна позволять проведение влажной уборки помещения, не
реже трех раз в неделю.
7.5. Рекомендуемое размещение оборудования агрегата показано
на рис. I. Допускаются и другие варианты размещения оборудования,
выполненные с соблюдением правил размещения вакуумного и электри-
ческого оборудования.
7.6. Установите установку "Булат-ЗТ" (AI), блоки питания
а С ~ > и о, ч/*</, реОмтыТы балластные . R1, 1^2, 3), стойку
управления (Л2) и выпряма»\сЛа> цыссковольтный ( Ст I) без перекосов
согласно планировки.
7.7. Выполните сборочные операции на ултпнппке "Булат-ЗТ" по
черт. Ф.04200 СБ:
- установите вместо заглушек испарители Ф.02701 с проставками
Ф.10098.
- установите вентиль вакуумный на вентиляционном патрубке
переходника от камеры к агрегату высоковакуумному:
- установите блок измерительный;
- установите баллон для азота 2011 - 1Ь0Л и установите на
него редуктор;
- установите форвакуумный насос и подсоедините иго к фор-
вакуумной линии, предварительно сняв заглушку;
7.0. Подсоедините установку к системе водоснабжения
(Ф.04200 Г4).
ВНИМАНИЕ!
Система водоохлааденил работает только со свободным сли-
вом воды.
7.9. Подсоедините установку к отсасывающей вентиляции. Отса-
сывающая вентиляция подсоединяется непосредственно к установке
через вентиль вакуумный (см. п. 7.7).
7.10. Выполните заземление составных частой агрегату;про-
<ерьте надежность заземления.
7.II. Выполните все необходимые монтажные работы на установ-
ке по чорт. и».04200 СВ, Ф.04200 Г4 и Ф.04200 МО (Ф.04200-01 Ш,
Ф.04200-02Ю, Ф.04200-03 МО).
7.12. Выполните jсе внешние электрические соединения ах'ре-
гатп по черт. Ф.04Ц00 04. Кабели внешних соединений должны быть
надежно защищены от механических повреждений.
7.13. Проверьте наличии маили ? форвакуумном насосе.
7.14. Откройте вентили системы охлаждения и прогрева и
убедитесь в отсутствии течей; проверьте срабатывание всех реле
протока - Ai - fi, Ai - F 2, A i - F з, Ат - F д.
7.15. Установите все ручки управления на стойко в положение
"отключено".
7.16. Убедитесь внешним осмотром в отсутствии повреждений
аппаратов, проводов и кабелей.
7.17. Откройте крышки камеры установки; спамите переднюю
панель на стойке управления; снимите колпаки на испарителях;
проверьте сопротивление изоляции между катодами и камерой;
а
сопротивление должно быть не менее I МОм.
7.18. Убедитесь в исправной раооте поджигающих устройств,
для чего;
а) нажмите на шток поджигающего устройства до упора и убе-
дитесь в наличии зазора 5-юмм между концом поджигающего электро-
да и рабочей поверхностью катода; при этом поджигаюиьШ электрод
должен сьооодно перемещаться в пазу штока до касания с рабочей
поверхностью катода и не иметь контакта с экраном.
о) нажмите и отпустите шток, убедитесь в том, что шток
резко, без затирания возвращается в исходное положение.
в) убедитесь в том, что поджигающий электрод свободно без
затирания перемещается в пазу штока.
7.19. Снимите крышки блоков питания Й2, <^3, &4.
7.20. Отсоедините кабели на катодах (кабели № 17,. 20, 23)
и на разъеме X2I, (кабель Ж 14).
7.21. Проверьте уставку реле времени К2 в блоке А2-БЗ:
уставка должна быть 1*5 сек.
7.22. Включите автоматические выключатели А2 - F 2, А2 - Г 3,
А2 - F 4, А2 - F 6, Л2 -г 7, А2 - Го; Включите напряжение сети
360/220Б автоматическим выключением А2- Г I.
7.23. Убедитесь в правильности фазировки приводов клапанов
УЗ, У4, Уо, Уб кратковременным нажатием кнопок ’’Открыт”, "Зак-
рыт" на блоке А2-Бо.
7.24. Убедитесь в правильности фазировки двигателя форваку-
уюцогс аассса кратковременным включением, нажимая кнопку "Пуск"
г»
и ’’Стоп" на олоке А2-БЗ. (См. инструкцию завода-постащика).
7.25. Убедитесь в.правильности фазировки двигателей венти-
ляторов блоков питания G 2, G'Jt G4 кратковременным включением
их с блока управления Л2-Ы кнопками "Пуск" и "Стоп" ("Испа-
ритель I", "Испаритель 2", "Испаритель 3’’); и руководствуясь
инструкцией завода - изготовителя сварочных выпрямителей
ДЦ—306; Установите ручки управления ВД-306 на максимальный
рабочий ток.
7.26. Отключите автоматический выключатель A2-Fl на стойке.
7.27. Подсоедините кабель на разъеме X2I (кабель Д 14).
7.2Ь. Включите автоматический выключатель А2 -Fl; убедитесь
в исправной работе устройств поджигающих кратковременным вклю-
чением испарителей кнопками "Пуск"; "Стоп" на блоке управления
А2-Ы; при нормальной работе поджигающего устройства должно
наблюдаться искрение в зазоре поджигающий электрод-катод в момент
отрыва поджигающего электрода от катода.
7.29. Отключите автоматический выключатель А2- F J;
7.30. Подсоедините кабели на катодах (кабели № 17, 20, 23).
7.31. Установите крышки на блоках питания G 2, Сз, (74.
7.32. Закройте крышки камеры установки; установите защитные
колпаки на испарителях; установите переднюю панель на стойке
управления.
см
б)
етпга
По Дотр
Ф. 04000 ТО
Коп иро£ал:________
— - 1 - ---- . —.
лисп
30
- - - - - - -
______Формат ff
чв
%
%
о. ПОДГОТОВКА К РАБОТА
х/6.1. ВкЛЮЧИТе ;:ВТОМЗТ11ЧеСКИй ВЫКЛЮЧаТСЛЬ Л2 — f I.
6.2. ВкЬючнте для тренировки накал тиратрона V1 + Уб вы-
прямителя G Iх, кнопкой "Пуск" ("Накал тиратронов”) на блоке
А2-Ы; проверьте исправность работы вентиляторов 1-щ, I-M2,
1
АБ-нЦ. и АБ-.’62 на стойке управления и выпрямителя. ‘
6.3. Выключите накал тиратронов через 60 млн. после включе-
нии! кнопкой "Стоп" ("накал тиратронов") на блоке А2-Б1.
6.4. Проверьте вакуумную систему агрегата, для чего:
- закройте все вентили и затворы вакуумной системы;
- включите форвакуумный насос, для чего автомат на блоке
А2-БЗ поставьте в положение "Включено" и нажмите кнопку "Пуск";
при этом загорятся лампы "Насос включен” и ’’Аварийный клапан
егкркт";
- откройте клапан форвакуумной откачки ьысоновакуумного
агрегата УЗ, нажав кнопку “ОТКРЫТ" ("КЛАПАН В I);
- включите нагреватель насоса высоковакуумного агрегата, для
чего автомат на блоке А2-Б4 поставьте в положение “Включоио" и
отожмите тумблер "НАСОС" в положение "ВКЛ.”; при этом должна
загораться лампа "НАСОС Ю.";
- откройте клапан форвакуумной откачки камеры установки У4,
кажаэ кнопку "ОТКРЫТ" ("КЛАПАН 2”);
- гкпечите вакуумметр на стойко управления, предварительно
подо седина его к блокам из; .•р-:.'ильным в соответствии с инструк-
цией за?спа-поставщика вакуумметра;
- закройте клапан форвакуумной откачки камеры установки при
достгленив в камере'давления 1’10“3 мм рт.ст. ("КЛАПАН № 2").
- откройте клапан Ъысоковакуумной откачки через 60 мин.
после включения нагревателя высоковакуумного агрегата и давлении
Ф. 04000 ТО
13 камере установки 1*10”^ мм рт.ст., для чего нажмите кнопку
••ОТКРЫТ*’ (’’КЛАПАН № 4’9;
- отключите нагреватель насоса агрегата высоковакуумного
_ -S
после достижении в камере установки давления l*iJ мм рт.ст.,
для чего тумблер "НАСОС" на блоке А2-П4 отожмите в положение
"ОТКЛ”;
- закройте клапан высоковакуумной откачки ("КЛАПАН А- 4");
- закройте клапан форвакуумной откачки агрегата лыооковаку-
умного через 40 мин, после отключения нагревателя агрегата
("КЛАПАН # I”);
- отключите форвакуумный ниооо, нажав кнопку "СТОН" на блоке
А2-БЗ;
6.5. Определите герметичность собранной установки ’’оулат-ЗТ",
если но удается достичь в камере давления мм рт.ст.
—5
или если давление 5*10 .мм рт.ст. достигается за время большое,•
чем 40 мин. после открытия клапана высоковакуумной откачки.
Герметичность установки характеризуется натеканием.
Величина натекания определяется по формуле:
где В - натекание, л.мкм рт.ст./с;
V - откачиваемый ооъоы, л;
- Рр изменение давления в откачиваемом объеме за время
мкм рт.ст.
t - время, с
- откачайте газ из камеры установки форвакуумным насосом
до давления порядка ТЧО*3 Мм рт.ст.;
- перекройте клапан форвакуумной откачки (’’КЛАПАН Я« 2");
- измерьте величину давления в каморе с помощью лампы
-------
Ф.и4иии ТО
ШТ-2 и вакуумметра непосредственно после закрытия клапана и
спустя некоторое время. Промежуток времени между двумя замерами
выбирать в зависимости от скорости изменения давления в камере. |
Время измерять секундомером. j
-Подсчитайте величину натекания но формуле. Для установки
"Ьулат-ЗТи расчетный объем V равен 220 л. j
Допустимое натекание но белое и,У л мкм рт.ст./с.
В.6. Определите моста возможных течей с помощью течспска-
теля типа ПТК-7 согласно инструкции на течоискатвль. Для под-
ключения течеискателя на форвакуумной линии предусмотрен грибок
с пробкой.
6.7. Устраните точи вакуумной системы, если они будут иметь
место.
6.6. Отключите автомат A2-f I.
9. ПОРЯДОК PAWTU
Г&ПО&л. \lfcdnu dirna | с*»6 |Oyo-* | . и ду<т><г
9.1. Поставьте рое ручки управления на стойко управления
в положение “Отключено”,
9.2, Закройте все вакуумные затворы.
9.3. Проворьте наличие защитных средств и их исправность:
- вдзлоктрических перчаток;
- защитных кожухов на испарителях и устройстве поворотном.
X
9.4. Включите системы воде охлаждения.
9.5. Включите автоматические выключатели АВ -Fl, A2-B3-FL,
A2-B4-F1, А2-В2- Fl, А2-БВ- Fl; Установите тумблеры 5l
("Поджиг”) на блоках А2-Б5, А2-Б6, A2-L7 в положение "вКЛ.“
9.6. включите форвакуумный насос, ;щя чего нажмите кнопку
I
"Пуск" на блоке управления А2-БЗ,
9.7. Откройте клапан форвакуумной откачки агрегата выоо-
*
ковакуумлого, для чего нажмите кнопку "ОТКРЫТ" ("КЛАПАН № I") на
блоке А2-ВВ.
9.В. включите высоковакуумный агрегат тумблером
"НАСОС, ВКЛ," на блоке А2-Б4, агрегат выйдет на рабочий режим
через 60 мин.
9.9. Включите прогрев•камеры кнопкой “ПУСК” ("прогрев каме-
ры") на блоке А2-Б1,
9.10. Включите накал тиратронов высоковольтного выпрямителя
кнопкой "ПУСК" ("накал тиратронов") на блоке А2-Ы.
9.11. Заполните камору воздаом через пробку до атмосфер-
ного давления.
9.12. Приоткройте слегка крышку камеры (технологический люк).
9.13.9.13. Откройте клапан вентиляции камеры кнопкой “ОТКРЫТ"
("КЛАПАН Л 3") на блоке У2-Б8.
Q. 04UUU ТО
*» 4OG -50-17
9.14. Включите вентиляцию каморы на Ь мин.
9.15. Откроите крышку каморы я загрузите обрабатываемые
изделия, выполняя указания технологической инструкции.
9.16. Закройте камеру.
9.17. Закройте пробку.
9.18. Закройте затвор вентиляции камеры кнопкой "ЗАКРЫТ"
("КЛАПАН № 3") на блоке У2-Б8.
9.19. Закройте клапан форвакуумной откачки агрегата высоко-
вакуумного кнопкой "ЗАКРЫТО” ("КЛАПАН Ji I”) на блоке А2-Б8.
9.20. Откройте клапан форвакуумной откачки камеры кнопкой
"ОТКРЫТ" ("КЛАПАН Ji 2”) на блоке А2-Б8.
9.21. Закройте клапан форвакуумной откачки камеры при дос-
тижении давления в камере 1*10“^ мм рт.ст. кнопкой "ЗАКРЫТ"
("КЛАПАН Ji 2") па блоке А2-БЗ.
9.22. Откройте клапан фор}ччкуумной откачки агрегата кнопкой
"ОТКРЫТО” ("КЛАПАН Ji I") на блоке А2-Б8.
9.23. Откройте клапан высоковакуумной откачки кнопкой
"ОТКРЫТО" ("КЛАПАН Ji 4") на блоке A2-&S.
9.24. Отключите прогрев камеры при достижении давления
5*10”ь мм рт.ст., кнопкой "СТОН” ("прогрев камеры"); при охлаж-
дении камеры давление в ней должно быть не ниже 2...3*1О*5мм рт.ст
' 9.25. Произведите ионную очистку изделия, для чего г
- включите поворотное устройство AI-LI1 кнопкой "ПУСК”
("ПОВОГОТНиЕ УСТРОЙСТВО");
- включите высокое напряжение кнопкой "ПУСК” ("ВЫ1ГЯШТЕДЬ");
предварительно установив переключатель в положение "1,1кВ";
- включите испаритель 1 кнопкой "ПУСК” <"ИСПАРИТЕЛЬ*");
- установите ток дуги равным (5О...9ОА с помощью балластного
реостата
O4UUU ГО
? Л?б - 5° П
- контролируйте давление в каморе и температуру изделия;
давление в каморе ни должно превышать 7...о’10 ; отключайте
испаритель кнопкой "СТОН” ("ИСПАРИТЕЛЬ I”) при превышении указан-
ной величины даююния в камере и включайте его поело восстанови
линия давления до значения 2...3*10“^ мм рт.ст.
- включите питание подложки кнопкой "ПУСК” ("ПИТАНИЕ
ПОДЛОлКИ") и отключите высокое напряжение кнопкой "СТОП”
("1ЫП’>ШИТЕ/1Ь") после достижения температуры напыляемого изде-
лия, указенней в технологической инструкции;
- установите ноооходимыс напряжение на подложке в соответ-
ствии с требованием технологической инструкции с помощью ручки
автотрансформатора на панели блока питания подложки.
9.26. Произведите нанесение покрытия на изделие, для чего:
- включите автоматический натекптоль, установив тумблер па
блоке натекатоля в положенно ”ВКЛ".;
- при помощи ручного вентиля патокатоля установите давление
реакционного газа в каморе в соответствии с технологической
инструкцией и настройте работу автоматического патокатоля в диа-
пазоне требуемых давлений с помощью ручки потенциометра на блоке
натикатиля;
- установите ток дуги испарителя в продолах 75...120 А
о помощью балластного реостата;
- включите второй и третий испарители кнопками "ПУСК”
("ИСПАРИТЕЛЬ И", "ИСПАРИТЕЛЬ Ш") при необходимости и в соответ-
ствии с требованиями технологической инструкции и установите ток '
дуги этих испарителей в пределах 75...120 А с помощью балластных
реостатов.
9.27. Отключите испарители кнопками "СТОП” ("ИСПАРИТЕЛЬ I”,
"ИСПАРИТЕЛЬ II”, "ИСПАРИТЕЛЬ lii") по истечении времени нанесения
04000 ТО
/ечт- JO - /7
J 1 p ________
покрутил ня изделие, указанного в технологической инструкции.
»
9.23. Отключите автоматический нзтокатель, установив тумб-
лер на блоке натекателя в положение "ОТ1СГ*. 1! закройте ручной
вентиль натекателя.
9.29. Отключите питание подложки кнопкой “СТОП"
("ПИТАНИЕ ПОМСаКИ").
9.30. Отключите привод поворотного устройства кнопкой
"СТОП” ("ПОВОРОТНОЕ УСТРОЙСТВО").
i
9.31. Произведите выгрузку изделия, для чего:
- Закройте клапан высоковакуумной откачки кнопкой "ЗАКРЫТО"
("КЛАПАН й 4") после остывания изделия; время остывания изделия
определяется технологической инструкцией;
- включите прогрев камеры кнопкой "ПУСК" ("ПРОГРЕВ КАМЕРЫ");
- заполните камеру воздухом через пробку до атмосферного
давления;
- приоткройте слегка крышку камеры (щель 10...15мм);
- включите отсасывающую вентиляцию и откройте клапан венти-
ляции камеры кнопкой "ОТКРЫТ" ("КЛАПАН Л 3") на 5 мин., после
чего закройте клапан кнопкой "ЗАКРЫТ" ("КЛАПАН № 3");
- откройте камеру и выгрузите изделие.
9.32. При повторении цикла работы необходимо произвести
о)
операции, указанные в пп. 9.15. ... 9.31.
9.33. Для полного отключения установки произведите следующие
операции:
- отключите высоковакуумный агрегат, отжав тумблер "НАСОС"
в положение "ОТКЛ".;
- закройте камеру, пробку и клапан форвакуумной откачки высо-
ковакуумного агрегата кнопкой "ЗАКРЫТО" ("КЛАПАН I");
- откройте клапан форвакуумной откачки каморы кнопкой
("КЛАПАН Л 2");
"ОТКРЫТ"
//о и Г»
? п
Ф. 04000 ТО
____ ___ т ft
- отключите прогрев камеры
F
i
кнопкой ’’СТОП*' ("ЛРиГРКы ШЕРЫ") j
поело достижения давления в камера 1*Ю"^мм рт.ст.
- закройте клапан форвакуумной откачки камеры кнопкой
"ЗАКРЫТ" (*ШНАН № 2");
- откройте клапан форвакуумной откачки высоковакуумного
агрегата кнопкой "ОТКРЫТ" ("КЛАНА!! № 1");
- закройте клапан форвакуумной откачки высоковакуумного
агрегата кнопкой "ЗАКРЫТ" ("КЛАНА!! А 1") через 2Qf30 мин. после
выключения выооковакуумного агрегата;
- отключите форвакуумный насос, налив кнопку "СТОН" на
блоке А2-ВЗ и напустите атмосферный воздух через пробку в Фор-
вакуумную линию.
- отключите автомат А2 - fl;
- закройте воду в системе охлаждения.
10. ПОРЯДОК РАЗБОРКИ ИСПАРИТЕЛЯ
IO.I. Полная разборка испарителя производится в случае
появления вакуумных течей или для очистки изоляторов и проводит- ,
ся в следующем порядке (см. черт. Ф.02701 СБ). *
10.2. Отсоедините провода электропитания и резиновые рукава .
водяного охлаждения. t
10.3. Снимите испаритель с установки, отвинтив о болтов.
При этом снимается изолирующее кольцо поз. 21. 1
10.4. Снимите резиновое уплотнительное кольцо поз. 20 и
изолирующие втулки поз. 14.
10.5. Снимите экран поз, 13.
—— —-—. t
10.6. Снимите электрод, удалив* шплинт на его оси.
10.7. Отвинтите гайки поз. 58 и снимите экран поз. 30.
10.3. Снимите катодный узел, для чего отвинтите гайку
иоз. 36 и снимите втулки поз. 18., 22 и кольца 17 и 23.
10.9. Отпустите оолты поз. 50 и отвинтите гайку поз 16
вместе с оолтамй. / I
10.10. Снимите кольцо поз. 35 и экран поз. 42.
i
10.II. Снимите катушку поз. 6.
10.12. Снимите экран поз. 7, изоляционные втулки и уплотни-
тель. л J
10.13. Отвинтите спец, ганку, крепящую устройство поджигающее I
поз. 4 и снимите его.
10.14. Сборка испарителя производится в обратной последо- •
вательноети. |
Ф. 04J0U ТО
II. ПОРЯДОК СМЕНЫ КАТОДА
II.I. Смену катода можно производить со снятием испарителя ’
(при наличии проставки) или оез снятия испарителя.
Смена катода производится в следующем порядке.
I
II.2. Отведите электрид в сторогу от катода,
11.3. Отвинтите га!1ку поз. 41 и снимите наконечник поз. 3.
11.4. Отпустите болт на клемме поз. 4U.
11.3. Отпустите гайку лоз. 36 уплотнения державки поз. о.
11.6. Выньте катодной узел (катод с державкой). I
11.7. Отвинтите гайку поз. 33 уплотнения катода.
II.з. Снимите резиновый уплотнитель поз. 44.
\
11.V1 . Протрите и высушите гайку поз. 3d. уплотнитель
поз. 44 и паз, где размещается уплотнитель.
II.1O. Уложите уплотнитель в паз, слегка смазав его касто-
ь
ровым маслом.
к>
£
о
nj
II.II. Установите новый катод, завинтив гайку поз. 3d.
II.12. Сборка катодного узла производится в обратной последе-'
вательности. ;
II.13. Установите электрод поджигающего устройства так, что- |
бы он при нажатии касался края катода.
17.1ч. Установите экран поз. 30 так, чтобы кольцевой зазор
между ним и катодом оыл равномерным (± 0,3 мм).
СО
tv
,КА7г»
7АГ
? Юб’50- П
Ф. 04000 ТО
к
2.
3.
4.
12. 1IPCBEPKA СТПП&’КОГО СОСТОЯНИЯ
ОСНОВНЫХ ПРОВЕРОК ТЕХНИЧЕСКОх’О СОСТОЯНИЯ ЛГРЫ’ЛТА
Что проверяется и при помощи какого
инструмента, приборов и ^оборудования.
Методика проверки
Проверить состояние испаряемого материала
ккатода).
Визуально. Штангенциркуль.
Проверить кольцевой зазор между дополни-
'тельным инодом и испаряемым материалом
(катодом). щуп.
Проверить состояние поджигающего электро-
Проверить величину' сопротивления между
испарителем <ис парителями). и каюрий.
Ампорвольтомыотр.
Проверить при открытой камере работу
устройства поджигающего. Визуально.
ю-
I/
Технические требо-
вания
I
i
Испаряемый материал 1
нс должен иметь тро- (
щин, н глубина крате-.-
ра выгорания но долж-е
на превышать 10*1бмм j
Величина кольцевого
зазора
вышать
им. И.
не должна
2 мм.
пре-
t
Величина сопротив-
ления должна быть
я.» - :ь'е 1J кОм
I
ь
*
1
г
л
о
<0
о
с
Т)
5
Л
<
2
<.
Ь.
%
10
II
12
13.
Проверить состояние изоляции межну устро
дством поворотным (подложкой) и камерой.
Мегомметр.
Проверить
Визуально
Проверить
метр.
Проверить
работу устройства поворотного
источник питания jiyra. Вольт-
наличие протока воды в системе
охлаждения. Визуально по срабатыванию
контактов на реле протока жидкости
Провсрить наличие масла в форвакуум-
ном насосе. Визуально по указателю уровня
Проверить исправность нагревателя диф-
фузионного насоса. Визуально.
Проверить наличие и исправность блоки-
рующих устройств.
Визуально. Мегомметр.^
Проверить наличие низкого напряжения
уст|юнстве поворотном (подточке).
По вольтметку на стойке управления
на
4J
/^•Л^АуАГ Да tJn- Aa/r>J
? W- 50 • /7
Ф. 04000 ТО
Срабатывание подвига-
ющого алсктрвда долж-
но оыть четким
Величина оопротивло- ‘
ния должна быть не ।
менее 1 МОм.
.индель устройства
'поворотного должен
вращаться цлавно.без
рывков.
t
{апряжение на ыасоде
источника должно быть
ш пульсирующи
мсноо 60 В
м и не
При наличии протока
воды контакты рале
должны срабатывать
четко.
Уровень масла
находиться на
Соиротивление
должен
отметке
бЛОКйру-
ющих устройств должно
оыть не менее ЮООКОм.
X
Т4У
13. ХАРАКТЕРНЫЕ НЕИСПРАВНОСТИ И МЕТОДЫ ИХ УСТРАНЕНИЯ
13.I. При аварийном выключении электроэнергии необходимо:
а) отключить приборы для измерения вакуума;
б) немедленно закрыть все вакуумные клапаны;
в) отключить выключатель, подающий питание не установку и
вое ручки управления установить в положение ’’0Т1ШНЕН0”;
г) выяснить причину неисправности и устранить ее.
13.2. При Аварийном Оключонии воды;
а) отключить нагреватель диффузионного насоса;
о) отключить иоЛАзацнонный датчик вакуумметра 1IMM-2;
г) выяснить причину неисправности и устранить ее.
13.3. При резком изменении давления в установке или при ко-
лебании стрелки вакуумметра, чти может быть при нарушении герме-
тичности установки;
а) отключить вакуумметр: г
о) закрыть клапан форвакуумной откачки высоковакуумного
агрегата (’’КЛАПАН Я I”);
в) отключить установку от электросети;
г) внушить неисправность и устранить си.
13.4. В случае перегорания нагревателя диффузионного насоса
закрыть клапан высоковакуумной откачки (’’КЛАПАН К- 4”) и заменить
нагреватель.
13.5. При частых самопроизвольных погасаниях дуги может быть
а) ток испарителя ниже рабочего;
б) натекание газа через уплотнения в области испарителя или
через трещины в испаряемом материале;
в) повышенное газовыделенио в области катоде;
г) трещины, раковины, посторонние включения в материале ка-
тода;
ffolfrt Л-’л-хг Ф. 04000 ТО
V6-SQ /7
13.6. Причиной отсутствия поджига дуги после ео погасания
или затруднительного поджига (дуги загорается после нескольких
импульсов поджигающего устройства) может быть:
а) приваривание поджигающего электрода к катоду из-за
отсутствия зазора между концом поджигающего электрода к катоду
(см. п. 7.18 настоящего описания) или оольшой ток поджига
(больше 20 А)
б) отсутствие контакта между поджигающим электродом и ка-
тодом в момент срабатывания поджигающего устройства
в) слабый ток поджига (меньше 15 А).
г) затирание поджигающего электрода в пазу штока или
самого штока.
д) выход из строя какого-либо элемента в схеме поджига.
е) плохое качество контакта в соединениях силовой цепи;
ж) пульсация силового напряжения
з) велико полефокусирующей катушки.
13.7. Ремонтные работы на агрегате "Булат-ЗТ" производить
только при отключенной системе электропитания агрегата.
13.8. Перед снятием водоохлаждаемых узлов для ремонта,
предварительно удалить сжатым воздухом из охлаждаемых полостей
О
£
С
ъ
л
воду.
13.9. При ремонте испарителей обратить особое внимание ня
качество выполнения изоляции и вакуумных уплотнений.
13.IU. Выполнение ремонтных работ по комплектующему обору-
дованию производить по соответствующим инструкциям предприятий-
изготовителей.
”6
с
«5
«о
Г»)
X
%
C.J406J ТС
? И
Х4Л.?!
14. ЛРЛ2ЙКА ХРАлЖЯ I
Arr "yi- '-35" •: -ч храниться в упаковке под навесов,
исгдвчд^ди’/ полегание на него б'Уос^ерных осадков.
7 словия хранения агрегата в части воздействия климатических
Экторов по группе хранен;^ ГССТ 15153-69. Срок хранен
не белее 6 месяцев.