матери · ОВ v
И технолоrии


Е. БЕРЛИН, С. ДВИНИН,
Л. СЕЙДМАН
Вакуумная
технолоrия
и оборудование
для нанесения
и травления тонких пленок



 ........./


J.






.


r.

'8 ) ТЕХНОСФЕРА




.
те ал в
v
И технолоrии
!
Е. БЕРЛИН, С. ДВИНИН,
Л. СЕЙДМАН
Вакуумная
технолоrия
и оборудование
для нанесения
и травления
тонких пленок
ТЕХНОСФЕРА
Москва
2007