Текст
1 Ч Н -
$ 1 kJ л.
Группа Т53
ОТРАСЛЕВОЙ СТАНДАРТ
ДЕТАЛИ ОПТИЧЕСКИЕ ОСТ 3-5/^-^
Типовой технологический процесс
нанесения покрытий из алюминия, . '
хрома и титана
ОШ 91;1Г..: 1
Дата введения ZZ ZZ- 97
Страниц
Настоящий стандарт распространяется на оптические детали из
силикатного бесцветного стекла по ГОСТ 3514 и устанавливает типо-
вой технологический процесс нанесения на них покрытий из алюминия
способом резистивного и электронно-лучевого испарения и покрытий
из хрома и титана способом резистивного испарения в вакууме.
I. ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
I.I. Требования к покрытиям
В зависимости от назначения оптических деталей алюми-
ниевые, хромовые и титановые покрытия наносят различной толщины:
толщиной
слои для светоделенйяудо 0,08 мкм, слои алюминия толщиной от 0,08
до 0,1 мкм для отражающих покрытий, слои алюминия толщиной свыше
0,1 до 10 мкм с подслоем хрома или титана для нарезания дифракци-
онных решеток.
I.I.2. Покрытия из алюминия подвергают защите с целью повы-
шения их влагопрочности и механической прочности. Защиту покрытий
деталей проводят по нормативно-технической документации, утверж-
' денной в установленном порядке.
I.I.3. Алюминиевые слои, пригодные5 для нарезания дифракцион-
Издание официальное Перепечатка воспрещена
от
OCT 3-^/W C. 2
ных решеток, должны иметь коэффициент отражения /д , указанный в
А
табл. I.
Таблица I.
Толщина слоя, мкм . Коэффициент отражения /л
от 0,05 до 0,08 не менее 86
от 0,09 до 3,00 не менее 85
от 3,0i до 5,00 не менее 75
от 5,Ci ДО 8,00 не менее 70
от 8,01 до 10,01 не менее 50
Оценку качества покрытий рекомендуется определять по их микротвер-
дости. Величина микротвердости подбирается в зависимости от типа
дифракционных решеток, условий нарезания и изменяется при вариации
условий нанесения слоев. Зависимость микротвердости алюминиевых
покрытий от условий нанесения приведена на рис. I и 2 в приложении
✓
8.
I.I.4. Оптические характеристики, влагопрочность, механичес-
кая прочность, термическая прочность покрытий по OCT 3-I90I.
I.I.5. Условные обозначения зеркальных покрытий из алюминия
и алюминия с подслоем хрома или титана, светоделительных покрытий
из алюминия или хрома, полученных способом резистивного испарения,
по OCT 3-I90I. Условное обозначение светоделительноге покрытия из
титана 15И. Условное обозначение зеркального покрытия из алю-
миния, полученного способом электронно-лучевого испарения ^^1ИЭ.
Условные обозначения покрытий из алюминия, полученных способом эле-
ктронно-лучевого испарения с подслоем хрома, ^^9И.ТИЭ и с под-
слоем титана ^^15И.1ИЭ.
J.2. Т р е б о вания к подложкам и мате-
риалам
ОСТ 3-Ж?"^7 С. 3
1.2.1. Подложки, подготовленные для нанесения покрытий, дол-
жны соответствовать требованиям технической документации, утверж-
денной в установленном порядке.
1.2.2. Поверхность подложки должна иметь чистоту после поли-
ровки на 1-2 класса выше требований к поверхности алюминированной
детали.
1.2.3. Нанесение покрытий следует производить на подложки со
сроком хранения после чистки не более одного часа.
1.2.4. Основные и вспомогательные материалы, применяемые при
выполнении типового технологического процесса нанесения покрытий
из алюминия, хрома и титана способом электронно-лучевого и резис-
тивного испарения в вакууме, должны соответствовать требованиям
нормативно-технических документов, указанных в приложении I.
1.2.4.1. Этиловый ректификованный спирт (далее по тексту
спирт) для чистки подложек должен быть обезвожен по ОСТ 3-5714.
Салфетки из батиста и вата для тампонов должны быть обезжирены по
ОСТ 3-5714.
1.3. Требования к оборудованию и
технологической оснастке
1.3.I. Нанесение покрытий из алюминия, хрома и титана следу-
ет проводить в вакуумных установках типа ВУ-I или других, имеющих
электронно-лучевые и резистивные испарители, и обеспечивающих дав-
-з
ление в рабочей камере в процессе испарения не более 1,33*10 Па
(1*10 "5 мм рт.ст.). Оборудование, технологическая оснастка, изме-
рительные приборы и инструмент приведены в приложении 2.
1.3.2. Арматура, помещаемая под колпаком вакуумной установки,
включает электронно-лучевые и резистивные испарители с экранами,
заслонки над испарителями, вращающийся предметный стол, электрод
высокого напряжения для ионной обработки поверхности деталей тлею-
щим разрядом, ‘систему оптического контроля или систему контроля с
ОСТ с. 4
помощью кварцевого резонатора.^
1.3.3. Арматура должна предусматривать удобное размещение'
деталей на предметном столе с максимальным использованием его пло-
щади. Для повышения равномерности толщины наносимых слоев следует
использовать арматуру с планетарным вращением.
1.3.4. При изготовлении арматуры следует применять нержаве-
ющую сталь, алюминиевые и титановые сплавы.
1.3.5. Конструкцию испарителей следует выбирать в зависимос-
ти от пленкообразующих материалов и от толщин получаемых покрытий.
1.3.5.1. Для нанесения слоев алюминия необходимо использовать
испарители в виде жгутов -- для резистивного испарения и тигли
для электронно-лучевого испарения. Для нанесения прозрачных слоев
алюминия допускается применять испарители из одиночной спирали.
1.3.6. Расстояние от покрываемой детали до испарителя следу-
ет выбирать 250-300 мм при резистивном испарении и 250-400 мм -
для электронно-лучевого испарения. Расстояние от испарителя до
оси вращения предметного стола составляет 160-200 мм.
1.3.7. Покрытия наносят на одну деталь размером 200x200 мм,
расположенную в центре предметного стола, или на несколько деталей-
меньшего размера.
1.3.8. После каждого испарения с подколпачной арматуры пыле-
сосом удаляют механические частицы. Загрязненные детали подколпач-
ной арматуры протирают салфеткой, смоченной петролейным эфиром или
этиловым спиртом.
1.3.9. Изготовление резистивных испарителей для напыления
покрытий из алюминия, хрома и титана и приготовление :пленкообразу-
ющих материалов приведено в приложении 3.
2. ^ТРЕБОВАНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ
2.1. Типовой технологический процесс, установленный настоя-
OCT С. 5
щим стандартом, должен соответствовать требованиям ГОСТ 12.3.002.
2.2. Типовой технологический процесс должен выполняться ;в
помещениях, соответствующих I классу чистоты воздушной среды и 2
категории по микроклимату согласно ОСТ 3-5757.
2.3. Производственные помещения для проведения работ по на-
несению покрытий должны соответствовать требованиям ГОСТ 12.3.002
и ГОСТ 12.1.004.
2.3.1. -Помещения должны иметь отпительную систему, водопро-
вод с холодной и горячей водой, приточно-вытяжную вентиляцию, сис-
тему кондиционирования воздуха и естественное освещение. "
2.4. Общие требования к организации рабочих мест должны со-
ответствовать ГОСТ 12.2.061. Требования к организации рабочих мест
при работе стоя должны соответствовать ГОСТ 12.2.033, при работе
сидя - ГОСТ 12.2.032.
2.5. В типовом технологическом процессе нанесения покрытий
к опасным и вредным факторам, которые могут возникнуть, согласно
ГОСТ 12.0.003 относят:
повышенное -значение напряжения в электрической цепи, замыка-
ние которой может произойти через тело человека;
повышенный уровень стати--^ческого электричества;
подвижные части производственного оборудования;
химические Вредные вещества, которые могут оказывать раздра-
жающее и общее токсическое действие;
легковоспламеняющиеся жидкости;
повышенная яркость источника испарения;
повышенный уровень шума на рабочем месте.
2.6. Производственное оборудование и проведение технологичес-
ких операций должны соответствовать требованиям ГОСТ 12.2.003.
2.6.1. Требования электробезопасности производственного обору-
дования должны соответствовать ГОСТ I2.1.019 и ГОСТ 12.1.030.
ОСТ С. 6
2.7. Требования к средствам и методам защиты от статического
электричества должны соответствовать ГОСТ 12.4.124. /
2.8. Персонал, обслуживающий вакуумные установки, должен
быть обучен и аттестован в соответствии с правилами технической
эксплуатации электроустановок потребителей и правилами техники
безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей
утвержденными Госгортехнадзором СССР.
2.9. При работе с легковоспламеняющимися жидкостями (петро-
лейный эфир, спирт, этиловый эфир) необходимо соблюдать требова-
ния пожарной безопасности и промышленной санитарии по ГОСТ 12.I.010.
Не допускается применение искрообразующих инструментов, открытого
огня, оголенных токопроводящих элементов, накопление зарядов ста-
тического электричества и курение.
2.10. Требования безопасности при работе с химическими вред-
ными веществами должны соответствовать ГОСТ 12.1.007.
2.10.I. Все работы с химическими веществами должны проводить-
ся в вытяжном шкафу при скорости воздуха в рабочем проеме 0,6 -
- 1,0 м/с при исправно действующей вентиляции.
2.10.2. Открытые участки кожи человека не должны иметь кон-
тактов с химическими веществами.
2.II. Предельно допустимая концентрация вредных веществ и
пыли в воздухе рабочей зоны не должна превышать значений, указан-
ных в ГОСТ I2.I.005.
2.12. Перечень химических вредных веществ, применяемых при
проведении типового технологического процесса нанесения покрытий, -
величины их предельно-допустимых концннтраций ПДК в воздухе рабо-
чей зоны и класс опасности в соответствии с ГОСТ 12.1.005 и переч-
нями Министерства здравоохранения о предельно допустимых концентра-
циях вредных веществ в воздухе рабочей зоны, а также сведения о
характере действия на организм человека указаны в табл., 2.
OCIS-W^7 С. 7
Таблица 2
Наименование вещества Величина . пдк, мг/м^ Класс опасности Характер действия вещества на орга- низм человека
Алюминий и его сплавы 2 Ш Алюминиевый порошок действует на органы дыхания
Аммоний фосфорно- кислый двузамещен- ный 0,5 п Может вызвать разд- ражение слизистых оболочек и кожных покровов
Калий двухромово- кислый 0,01 I по ГОСТ 2652
Калий железосине- 4 ш Обладает раздражаю-
родистый - • - • щим действием на ко- жу. При попадании в организм под дейст- вием кислоты желу- дочного сока превра- щается в синильную кислоту
Кислота азотная 5 п по ГОСТ 4461
Кислота серная I п по ГОСТ 4204
Кислота соляная 5 п по ГОСТ 3118
Натр едкий 0,5 п по ГОСТ 4328
Полирит 5 ш по ТУ 48-4-244
• ' Порошок титановый 10 ТУ Действует раздража- юще на кожу и глаза
I
ОСТ С. 8
Продолжение табл. 2у
Наименование вещества Величина пж, мг/м3 Класс опасности Характер действия вещества на организм человека
Порошок цинковый 0,5 П по ГОСТ I260I
Спирт этиловый 1000 1У по ГОСТ 18300
Хром ЭРХ . 2 I Вызывает раздражение
кожи и слизистых. Пора-
жает почки, печень, же-
лудочно-кишечный тракт
Эфир петролейный (по БСИЗЪИУ) 100 1У ТУ 6-02-1244
Эфир этиловый 300 ш ГОСТ 6265
Инв Jfc
Метода определения концентрации вредных веществ должны со-
ответствовать требованиям ГОСТ 12.I.016.
2.13. Требования к сохранению,'транспортированию и использо-
ванию химических вредных веществ должны соответствовать
ГОСТ 12.3.008. К накоплению // захоронению сгхсдов-санитарным правилам
н3(#3 * ,v 32 03, УТ&ертчяенным СССР.
2.14. Уровень шума на рабочем месте при проведении техноло-
гического процесса не должен превышать значений, предусмотренных
ГОСТ 12.1.003. Измерение шума на рабочем месте по ГОСТ 12.1.050.
2.15. Работающие должны обеспечиваться спецодеждой и ияди-
видуальными средствами защиты по действующим отраслевым нормам,
утвержденным Постановлением Госкомтруда СССР и Президиума ВЦСПС
от 21.08.85 г. j*i 289/П-8, инструкции о порядке обеспечения рабо-
чих и служащих специальной одеждой.
2.16. Для защиты глаз от повышенной яркости источника испа-
рения следует применять защитные очки со светофильтрами типа 0
или стекло марки НС9 на окнах вакуумной камеры.
ИнвЛ
. ОС J 3-<^W С. 9
2.17. Для защиты рук при работе с использованием кислот д
щелочей следует пользоваться резиновыми техническими перчатками.
Испаряемые пленкообразующие материалы следует брать пинцетом или
специальной ложечкой.
2.18. Работающие должны соблюдать правила личной гигиены
После работы с вредными химическими веществами.
2.19. Сигнальные цвета и знаки безопасности по ГОСТ 12.4.026.
2.20. Контроль за выполнением требований безопасности дол-
жен соответствовать ОСТ 3-6247.
3. ТИПОВОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС
ЗД. Типовой технологический процесс нанесения покрытий из
алюминия, хрома и титана содержит следующие операции:
подготовка поверхности детали к'нанесению покрытий,
нанесение покрытий.
3.2. Алюминиевое покрытие толщиной до 3 мкм наносят спосо-
бом резистивного испарения, алюминиевое покрытие толщиной до ТО
мкм - способом электронно-лучевого испарения.
3.3. Детали перед нанесением покрытия необходимо обезжирить,
для чего их помещают в кювету рабочей поверхностью вверх, Зяли-яя-
ют рабочую поверхность хромовой смесью и выдерживают от I -до 24
часов в зависимости от степени их загрязнения, после чего промыва-
ют водопроводной, а затем дистиллированной водой и сушат обезжирен-
ными салфетками.
Примечание. Допускается обезжиривание деталей про-
водить следующим образом: детали протирают со всех сторон ватным
тампоном, смоченным спиртом или спирто-эфирной смесью (соотноше-
ние 3 : I ), а затем высушивают обезжиренной салфеткой. Эту one-
рацию повторяют, протерев только поверхности, предназначенные для
нанесения слоя.
3.3.1. Детали сушат салфеткой, не касаясь полированных по-
OCT 3-/7Л/'$? С. IO
верхностей детали руками и.’ той стороной салфетки, с которой со-
прикасались руки. ;
3.3.2. Детали окончательно чистят тампонами из обезжиренной
ваты, смоченными обезвоженным спиртом. Чистку производят от цент-
ра к краю. Количество использованных тампонов - 7-10 штук.
Примечание. При неудовлетворительной чистке произ-
водят дополнительную чистку деталей полиритом, взяв на ватный там-
пон небольшое количество полирита и; почистив поверхность детали,
смоченную спиртом. Затем производят окончательную чистку согласно
п.3.3.2. Вычищенные детали сразу же помещают в рабочую камеру ва-
куумной установки или в закрытую технологическую тару для предох-
ранения от попадания пыли.
3.4. Вакуумную установку перед операцией нанесения покрытий
подготавливают согласно инструкции по эксплуатации. Испарители
загружают испаряемыми веществами. С поверхностей деталей удаляют
пыль и размещают их на предметном столе вакуумной установки. При
этом детали следует брать только за боковые поверхности, пользу-
ясь резиновыми перчатками или напальчниками.
/
Примечание. При обработке крупногабаритных деталей
ионным разрядом’допускается вращение предметного стола. Ток ион-
ного разряда составляет 80-100 мА.
3.5. Коэффициент пропускания при нанесении прозрачных слоев
хрома, титана и алюминия контролируют с помощью фотометрического
устройства.
3.6. Выполнение переходов по операциям типового технологи-
ческого процесса нанесения покрытий толщиной до 0,08 мкм из алю-
миния, хрома и титана приведен в картах типового технологического
процесса (ТТН) на примере нанесения покрытия из алюминия (см. С.12
настоящего стандарта).
В картах ТТЛ при указании режимов использованы следующие
буквенные обозначения:
£ - время;
Гани
. ОСТ с.II
Ц - толщина слоя; (
- частота вращения предметного стола. [
3.6.1. Рекомендации по нанесению светоделительных покрытий |
I
приведены в приложении 7. }
3.7. Нанесение слоев алюминия толщиной до 3 хмкм резистивным |
способом с подслоем из хрома или титана производят при давлении i
не выше 6,65*10-2 Па (5*10“^ мм рт.ст.). |
3.7.1. Для слоев алюминия толщиной от ОД до 0,8 мкм подслой [
хрома наносят в два приема с промежуточной чисткой и обработкой [
ионным разрядом. Толщина каждого слоя хрома 0,01-0,02 мкм. Для
слоев алюминия толщиной от 0,8 до 3 мкм, нанесенных резистивным |
способом, и толщиной от 0,8 до 10 мкм, нанесенных электронно-луче- I
вым способом, подслой хрома или титана наносят в один прием толщи- *
ной 0,02-0,04 мкм. I
3.7.2. Испарители, прокаливают путем нагрева их электричес- j
ким током до белого свечения в рабочей камере при давлении не вы- j
ше I.33-ICT2 Па (1-Ю“4 мм рт.ст.). '
3.7.3. Алюминий испаряют на детали посекционно с каждой
спирали. Длительность каждого испарения составляет (20-30) с, в
i
течении которых вся масса навески алюминия на одном испарителе |
должна быть испарена без остатка. Промежутки между испарениями 1
должны возрастать и при достижении толщины покрытия 3 мкм состав- |
ляют 10-15 мин. I
I
3.8. Контроль толщины покрытия во время испарения произво- |
дится с помощью кварцевого резонатора или методом фотометрирования !
для прозрачных слоев.
3.9. Выполнение переходов по операциям типового технологи-
ческого процесса нанесения слоев алюминия' толщиной до 3 мкм резис-
тивным способом с подслоем хрома или титана приведено в картах
ТТЛ (см. С. 16 .настоящего стандарта).
*
По ГОСТ з.поз
По гост з.поз
По ГОСТ 3.11.03
По гост з.поз
По ГОСТ З.ПОЗ По гост з.поз
А Цех| Уч.{ РМ Рпер. | Код, наименование операции Обозначение документа
Б Код,наименование оборудования СМТПроф. | Р | УТ |КР КОЦЦ ПН он Кшт. ТГз ~ТН—
к/м Наименование детали,со.единицы или материал? ибозначение,код ОПП ЕВ' ГН ""КП' ’ Н.оас
—К, Давление i I Л
А 01 । । । 005 Подготовка поверхности деталт к нанесению покрытия
0 02 । । । । — г I. Обезжирить детали в хромовой смеси или Г "Г-"" 1" -"Г" 1 Г '1 Т" “ спиртно-эфирной'смесью по п. 3.3
Т „о 03 j । । ) г Кювета г у— | -J- . - t
04 '1 г | | 1 Часы сигнальные 1 1 1 1 1 1 1 I I 1 ГОСТ 3145 -
М 05 Illi 1 Хромовая смесь по приложению 4 । it ti । । i i ।
06 I » । । । Вода дистиллированная i ч । ii । । । । । ГОСТ 6709
07 iiii । Спирт этиловый ректификованный i i । । । • । । i । ГОСТ 18300
08 i • । । * г Эфир этиловый I ii । । . • i । । । ГОСТ 6265
09 Illi 1 Салфетки из батиста i i> ii । । । । । ГОСТ 8474
II iiii । Вата х/б для оптической промышленности i ii i । । । । । i ГОСТ 10477
° 12 । । । । г 2. Сушить детали обезжиренной салфеткой iii ii • • i ii
° 13 । । । । л । 3. Чистить детали тампонами из обезжиреннс 1 I I I i i i i i i й ваты по п. 3.3.2
М 14 । । । । । Полирит оптический 1 । । । । । । । । । ТУ 48-4-244
0 15 । । । । । 4. Провести контроль поверхности детали ! , , , 1 । । । । ।
Т 16 I 1 • • ~ —Г“ Тара технологическая । । । । । । । । j —j
‘ По ГОСТ З.ПОЗ С. 12 0
г i
р По-ГОСТ 3.II03 - А ’ ' По ГОСТ 3.II03 По ГОСТ 3.II03
По ГОСТ 3.II03
По ГОСТ 3.II03 . По ГОСТ 3.II03
А Б _к2м_ цех| Уч.| гм fOnepl. Код,наименование операции Код,наименование оборудования— - - Наименование- детали,об.единишг-и.ли- материала Обозначение док СМ |Проф. Р | УТ |КР |<ОИД Обозначение,код умента ЁН I СП Кшт | Тпз • Тшт ОПП ЕВ ЁН КП Н.рас.
р 27 'Давление ~ . i ~ 1 Ъ * -Г"1
А 01 —। « —। » ... ... - ——— —- — 010 Нанесение покрытия
Б 02 « 1 Г Г~ —~~ ' | 1 I | Г~ 1———1 j 1— 1 1 Вакуумная установка ТУ 3-3.5S9
М 03 1 i t । - „ 1 । iii • । • “Г 1 1 Алюминий, проволока ГОСТ II069
04 ~ 1 j j— j • —— : 1 | - | | 1 1 Г- | ’ 1 ~1 1 Алюминий, слитки ТУ 48-5-288
° 05 Т 06 07 - 1 । 1 । — it । । । > । i । I. Удалить пыль с поверхностей деталей и свидетелей "1 1’• । 1 1 11 — 1 1 । г I— 1 -1 | | • । Кисть беличья ОСТ 17-830 1 1 1 Ь- ’ 1 1 Iiii । < II । Спринцовка резиновая ТУ 38.I06.I4I
08 । । । । । । ii * । । । । • . Перчатки резиновые хирургические ГОСТ 3
09 ° 10 ° II 1" 1 1 1 - . 1 1 i i 1 1 1 -к 1 1 Напальчники ТУ38./06,567 — ~т ---| । — — 1 т - т --i 1 " г "1 • • । । « 2. Закрепить детали и свидетели на предметном столе вакуумной установки 1" '."1 Г f К - —1 1 1 1 1 1 1 Т~ Т Г 1 3. Удалить пыль с поверхностей деталей и свидетелей
° 12 1 i | i - - | 1 li ii 1 । । 1 V 4. Откачать воздух из рабочей камеры
Р 13 -J- | — J ( - - —- J—~> 1 1— г~ 1 1 1 г 1 1 г 13,3 - 1,33 Па (1*10 1 - 1-10 мм рт.ст.)
0 14 1 к’ 'лх А 1 - 1 ' i 1 1 1 1 | ’ Г 1 5. Обработать детали и свидетели ионным разрядом
р 15 г। j— । _ । । । 1 1 1 1 1 1 1 —। ‘— • 15 мин •'
‘13 Секундомер ГОСТ 3.1103; .° По ГОСТ 3.поз а
f
)
По ГОСТ З.ПОЗ | По гост зЛ10з По ГОСТ З.ПОЗ
” По ГОСТ 3.поз
По ГОСТ .3.’ПОЗ I По ГОСТ 3.поз
-л дех |j4. |Mvi рперф- код,наименование операции Обозначение документа
-Б- Код-, наименование оборудования i СМ |Проф. 1 Р] УТ |КР |КОИД | ЕН | оп Кшт |Тпз Тшт
. Наименование 1 :етали, сб. единицы или материала Обозначение,код | ОПП 1 ЕВ ЕН КП Н-ПАП_
Г - — Давление ' 1 ' — £ 1 ft
0 01 ...... • • I 1 "— — — 1 о. Откачать воздух из рабочей камеры ’ >
р 02 1 1 - । ' 3 — -4 • к* J6 1 ' 1 ’• 1 1 1 ч "1 6,65*10 - 1,33*10 Па (5’10 - 1'10 мм рт.ст.) 60 мин
0 03 I । । 1 II к । I > । * й к 7. Включить вращение предметного стола
Р п 04 • —4 1 1 Ji till । i i । » . - 20-60 об/мин
0 05 1 , j 1 1 j , j 1 । । । । j j - 8. Установить заслонку над испарителем
0 06 1 1 1 1 i к I 1 1 1 1 1 i 1 • . 9. Включить испаритель и расплавить алюминий
0 07 til 10. Открыть заслонку II '1 |1 | 1 4 • 1
0 08 1 । । • * । । it • । « > » • • II. Нанести прозрачный слой алюминия,контролируя коэффициент пропускания фотометрическим устройством
0 09 1 • 1 - i II | t 1 | 1 | I | 12. Закрыть заслонку
0 10 • ‘ * 1 1 Г 1” 1 • II I । > 13. Выключить испаритель
° II ' ' 1 II । । 1 1 Г » 1 1 | • 14. Выключить вращение предметного стола
°12 । .» * 1 । 1 * । । । । » । । । 15. Выдержать детали и свидетели в рабочей; камере
Р 13 | 1 —• 1 - “ - •- -г i , , 1 | | 1 1 I 30 мин
0 14 16. Заполнить рабочую камеру воздухом ’ ’ '
0 15 1 • -1 1 —- 1 1 Г" '| | I 1 1 * г 17. Снять детали и свидетели с предметного^ стола и поместить в технологическую тару
По ГОСТ 1 1 о З.ПОЗ L -
| . OCT 3-Ж^ С. 15
j 3.10. Нанесение слоев алюминия толщиной до 10 мкм- электрон-
i • ’У
} но-лучевым способом производят из медного тигля, охлаждаемого
j проточной холодной водой.
3.II. Тигель загружают кусками алюминия массой 25-40 г и
| расплавляют их под заслонкой при давлении в рабочей камере 1,33»
•10~3 Па (1*10”5 мм рт.ст.). Расплавленный алюминий должен покры-
вать все дно тигля. Электронный пучок должен быть сконцентрирован
в центре расплавленного алюминия. Фокусировку электронного пучка
осуществляют изменением размеров отверстия анода и подвижкой ка-
тода. Ток накала увеличивают постепенно во избежание разбрызгива-
ния. Толщина последнего слоя алюминия не менее 0,2 мкм.
3.12. Выполнение переходов по операциям ТТЛ нанесения покры-
тия толщиной до 10 мкм приведен в картах ТТН (см. С. 18 настояще-
го стандарта).
4. МЕТОД! КОНТРОЛЯ
4.1. Контроль подготовки поверхно-
сти детали
4.I.I. Качество подготовки поверхности детали контролируют
визуально в отраженном свете на фоне черного экрана. Деталь, на
поверхности которой обнаружены разводы от загрязнений, подлежит
повторной чистке; деталь, на поверхности которой обнаружены беле-
сые или серые пятна, подлежит повторному полированию.
4.2. Контроль покрытий
4.2.1. Контроль адгезии покрытий проводят с помощью склеи-
вающей ленты, наносимой на поверхность контрольных образцов, из-
готовленных одновременно с деталями,
к
4.2.I.I. На участок покрытия контрольного образца наложить
и крепко прижать липкую ленту, затем ее оторвать, после чего по-
. i крытие должно остаться неповрежденным.
’По ГОСТ З.ПОЗ — По гост з.поз По ГОСТ з.поз
По ГОСТ З.ПОЗ
По гост з.поз По ГОСТ з.поз
А цох|Уч. 1 РМ|Оггёд. код, наименование-операции Обозначение документа
-- Б ; Код, наименование оборудования СМ |Проф. | Г | УТ | КР КОИД ЕН ОП Кшт Тпз Тшт
’Наименование де тали,со.единицы или материала Обозначение,код ОПП ЕВ ЕН К11 Н.рас.
j ' ’Давление 1 1 £
А 01 | ; 1 । — 1 ~ _ — — 1 1 - 1 --т - ОТО Нанесение слоев алюминия резистивным способом с подслоем хрома
Б 02 1 t- • • 1 • 1 1 II 1 » 1 I "Т- Вакуумная установка ТУ 3-3.569
М 03 |— । ।— 1 "ii >i ii ii । । 1 " Алюминий, проволока ГОСТ II069
04 J । 1 !— 1 1 | 1 I [- I | I | I Хром ТУ 14-5-76
и 05 , , ! ! 1 1 । ] । । [ । । । । I. Выполнить переходы 1-7 операции ОТО по карте ТТП п.3.6
U 03 ( 1 j , 1 , ( । ! । । । । । । 2. Включить испаритель и нанести слой хрома
р 07 b 1 • 1 II <11111.1* | 0,01-0,02 мкм
0 08 п 1 1 1 r~i 1 ’ 1 ’ । । । 1 1 ~1 \ 3. Выполнить переходы 13-17 операции ОТО по карте ТТП п.3.6
0 09 । । । । । । । । । । । । < i 4. Выполнить переход 3 операции 005 по карте',ТТЛ п. 3.6
0 10 । * • • । । । t । । । । » । । 5. Выполнить периоды 1-7 операции ОТО по карте ТТП п. 3.6
° II 1 1 1 1 — 1 г 1 1 1 1 1 1 1 1 1 6. Включить испаритель и нанести слой хрома
г к 1 '1-1 - 1 " —| Г 1 'III | 1 0,01-0,02 мкм 1 1
0 13 =1= । । । 1 1 1 1 г । » • । । • 7. Выключить испаритель хрома
0 14 1 | ! 1 -*'? 1 | || || | | 1 1 1 8. Включить испаритель алюминия
0 ТЕ 9. Испарить’алюминий по п п. 3.7.3, 3.8 ’ ' 1 ’ 1 1 ’ ’
0 к ТО. . Выключить, испаритель алюминия .° По ГОСТ З.ПОЗ- £ |
\ По ГОСТ з.поз По ГОСТ з.поз По гост з.поз
По гост з.поз
1 . ——— 4 -
По ГОСТ 3.1103 По ГОСТ з.поз
А ' Цех | .Уч. |РМ Опер4 Код, наименование операции ^Обозначение документа
"Код,наименование оборудования ~ СМ }Проф. | Р | УТ |КР |КОИД ЁН | 0П Кшт | Тпз | Тшт
к/м Наименование детали,со.единицы или материала иоозначение,код 01111 ЁВ ЁН-'" " КП " Н.рас.
Р — давление ~ I i ч *
0 01 II. Выполнить переходы 14-17 операции 010 по карте ТТЛ п. 3.6
। । । । • ill । i..(1 1 1 1 1 1
। । । - — ... . . . । । । । । । * 1 1 1 "
। I •— । _ ।— ) । । , । ' 1 1 I1' ""1
। । । । — । । । i । । 1 1 1 1
। । 1 । i i • • । । III 1
1-1 । । ii i,i i.i.i ч 1 1 1 1
I 1 1 ь Il Illi I II 1
1 " 1 11 i — I l II 1 1 1 1 1 1
’".“'I -1 1 1 II II II 1 ' 11 - 1 1 1 -
III 1 - ~ " т г 1 г । г п I 1 I I
i i 1 а • 1 1 I 1 । । ' 1 1 1 1
• -ь- ь- . i 1 |ii> ' I 1 I 1
• 1 1 1 ... , — । | | • “" । 1 1 1 1 1
—J_. 1 1 к — . • i । । ' . । । T "I” 1 '
> • —. .*x
. _ 1 1 1 1 . - . . - -- — 1.——— " -
r о
По ГОСТ з.поз
По ГОСТ З.ПОЗ
По ГОСТ З.ПОЗ но 1VUT ц.ии-а
По ГОСТ З.ПОЗ
По ГОСТ З.ПОЗ По ГОСТ З.ПОЗ
А Цех|Уч. | НМ {Опер.| Код, наименование операции Обозначение документа
в "II .г ,1» » нод,наименование ооорудования Тм [Пр'оф. j Г" |' УТ ' |КР"' |КВД' | ЕН СИ Кшт Тпз Тшт
к/м наименование де тали,со .единицы или материала иоозначение,код инн ЕВ ЕЙ КП Н.рас.
р давление t 1 я,
А 01 | |.| | — ——_ * ' J ' . 010 Нанесение слоев алюминид толщиной до 10 мкм электронно-лучевым способом с
02 1 । । подслоем хрома г 1 1 1 I I 1 1 т
Ь 03 1 Г ' • Вакуумная установка 1 1 «' 1 1 ТУ 3-3.5S9 1 1 1
lV1 04 j 1 j 1 Алюминий, слитки । ' । । it ТУ 48-5-288 1 1 1
05 1 1 1 - • Хром । " । I I । ТУ 14-5-76 Ч 1 1
и OS , —f — г I. Выполнить переходы 1-7 операции ОТО по 'карте ТТЛ п. 3.S 1 1 1
0 07 । । । । । । । । । 2. Включить испаритель и нанести слой хрома 1 1 1
Г 08 1 । , । 1 1 1 Г 1 | I 0,02-0,04 мкм •
U 09 III 1 3. Включить электронно-лучевой испаритель 1 «1 1 ! » \ • • 1
° ТО 1 1 1 1 4. Испарить слой алюминия ' 1 » 1 1 1 1
Р II III 1 1 । 1 1 1 1 1 3-5 мин. 0,40-0,80 мкм ...
0 12 I'll Ill'll 5. Выключить электронно-лучевой испаритель и сделать перерыв 1 1 1
' 13 —"1 । • । 1 1 1 1 1 5-10 мин 1 1
0 14 tilt 6. Повторить переходы 3-5 до получения е II Illi II >аданной толщины покрытия алюминия
U 15 1 1 1 7. Выполнить певехопы Т4-Т7 операции ОТО > ' । । по карте ТТЛ п. 3.S -| г —1 —
! По ГОСТ З.ПОЗ •У А С. 18
ОСТ З-.ЖМ’ с. 19
Примечание. Допускается контролировать адгезию
алюминиевых покрытий без хромового подслоя с помощью анодного
оксидирования в 0,5 $ растворе двузвмещенного фосфорнокислого
аммония при напряжении до 90-140 В, выводимом плавно в течение
40-50 с.
4.2.2. Коэффициент отражения или пропускания покрытия опре-
. деляют с помощью спектрофотометра СФ-46 с приставкой ПЗО-2 или
другими приборами, обеспечивающими погрешность измерения ± I %.
4.2.3. Равномерность покрытий контролируют на интерферомет-
рах ИМ-I, ИКП-2 или других приборах, обеспечивающих необходимую
точность измерения.
4.2.4. Толщину слоя покрытия измеряют с помощью микроинтер-
• ферометра МИИ-4, МИИ-11, МИС-П или других приборов, обеспечива-
ющих необходимую точность измерения.
4.2.5. Чистоту поверхности контролируют визуально по
ГОСТ III4I.
4.2.6. Механическую прочность, влагопрочность, химическую
прочность контролируют контрольными^образцами по OCT 3-I90I.
4.2.7. Микротвердость алюминиевых покрытий, используемых
для нарезания дифракционных решеток, оценивают методом вдавливания
на приборе ПМТ-З или аналогичном с бицилиндрическим индентором
Егорова, подвергая исследуемое покрытие воздействию вертикальной
нагрузки в- течение I с, затем отпечаток измеряют на микроскопе,
входящим в комплект прибора. Микротвердость определяют по формуле:
где г,- длина отпечатка;
Р- нагрузка на цилиндр, г;
радиус кривизны поверхности бицилиндра;
•si - угол между гранями бицилиндра.
• *
Примечание. Определение микротвердости допускается
проводить по методу царапания или обратного интегрального свето-
. ОСТ 3-Ж'^ С. 20
рассеяния согласно приложению 9.
ОСТ 3-Ж'//7 с. 21
ПРИЛОЖЕНИЕ I
Рекомендуемое
ОСНОВНЫЕ И ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
I. Основные и вспомогательные материалы, применяемые при о
проведении технологического процесса нанесения покрытий из алю-
миния, хрома и титана методами электронно-лучевого и резистивного
испарения в вакууме, указаны в табл. 3.
Таблица 3
Наименование материала Обозначение НТД Назначение
Алюминий, проволока марки V ГОСТ II069 Для нанесения покры-
'не хуже А-995 тий
Алюминий, слитки марки А5 ТУ 48-5-288 То же
Аммоний фосфорнокислый ГОСТ 3772 Для контроля покрытий
двузамещенный
Батист от бе ленный, арт. 140- Г ГОСТ 8474 Для чистки оптических
деталей и арматуры
вакуумной установки
' Вата х/б для оптической ГОСТ 10477 Для чистки оптических
промышленности деталей
Вода дистиллированная ГОСТ 6709 То же1
Калий двухромовокислый ГОСТ 2652 11 11
Калий железосинеродистый ГОСТ 4206 и_н
Кислота азотная / ГОСТ 4461 Для чистки арматуры
• вакуумной установки
Кислота серная ГОСТ 4204 Для чистки оптических
деталей
Кислота соляная ГОСТ 3118 Для чистки оптических
а деталей и арматуры
1 - вакуумной установки
ОСТ 3-^7/Л^ С. 22
Продолжение табл. 3
I '
___________________I____
Наименование материала Обозначение НТД Назначение
Натр едкий ГОСТ 4328 Для чистки оптичес- ких деталей и армату- ры вакуумной ус танов-
* ки
Натрий фосфорнокислый трехзамещенный ГОСТ 9337 Для чистки испарите- лей
Поверхностно-активное вещество типа "Лотос” OCT 6-I5-I0I2 То же
Полирит оптический ТУ 48-4-244 Для чистки оптичес- ких деталей
Порошок титановый ТУ I4-I-3086 Для нанесения покры- тий
Порошок цинковый ГОСТ I260I Для чистки оптичес-
1 • « ких деталей
Проволока вольфрамовая, диаметр 0,3-1,2 мм ТУ 48-19-39 - Для изготовления испарителей
Спирт этиловый ректифи- ГОСТ 18300 Для чистки оптичес-
кованный ких деталей и арма- туры вакуумной ус- тановки
Сталь нержавеющая ГОСТ 5632 Для изготовления аа-
марки I2XI8HI0T щитных экранов
Ткани хлопчатобумажные - бязе/вой группы ГОСТ II680 Для чистки арматуры вакуумной установки
Фольга алюминиевая для ГОСТ 618 Для изготовления за-
1 технических целей марок щитных экранов
OCT 3-^ДГ^ С. 23
Продолжение табл. 3
Наименование материала Обозначение НТД Назначение
АДП, АДО, А95, А97 Фольга вольфрамовая толщи- ТУ 48-19-188 Для изготовления
ной 0,05 мм Фольга молибденовая толщи- ТУ 48-19-245 испарителей То же
ной 0,1 мм Фольга титановая толщиной ГОСТ 22178 Для нанесения по-
0,5-1,0 мм крытий
Хром электролитический ЭРХ ТУ 14-5-76 То же
Эфир петролейный ТУ 6-02-1244 Для чистки арма- .
Эфир этиловый ГОСТ 6265 туры вакуумной установки Для чистки опти-
ческих деталей
ОСТ 3-Ж#7 С. 24
ПРИЛОЖЕНИЕ 2 .
Рекомендуемое
ОБОРУДОВАНИЕ, ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ОСНАСТКА,
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ И ИНСТРУМЕНТ
I. Оборудование, технологическая оснастка, измерительные
приборы и инструмент, применяемые при проведении технологических
процессов нанесения покрытий,указаны в табл. 4.
Таблица 4
Наименование, тип Обозначение НТД Назначение
(модель, марка)
Вакуумная установка типа ТУ 3-3.569 Для нанесения по-
ВУ-1 крытий электронно-
лучевым способом и
резистивным спосо-
бом в вакууме
Ванна ультразвуковая ТУ 26-01-352 Для чистки испари-
УЗВ-15М телей
Весы аналитические ТУ 25-06-383 Для взвешивания хи-
ВЛА-200 • мических препаратов
Генератор ультразвуковой Для чистки’испарите-
лей
Интерферометр ИКН-2 По нормативно- для контроля покры-
технической тий
документации,
утвержденной в.
установленном
> порядке
Интерферометр ИМ-1 То же То же
Кисть беличья ОСТ 17-830 Для чистки* оптичес-
ОСТ С. 25
Продолжение табл. 4
Наименование, тип (модель, марка) Обозначение НТД Назначение
ких деталей
Кружка фарфоровая ГОСТ 9147 Для приготовления
растворов
Кюветы По нормативно- Для чистки оптичес-
технической ких деталей и арма-
* документации, туры вакуумной ус-
утвержденной в установленном тановки
♦ порядке
Лента склеивающая ТУ 6-I7-I0II Для контроля покры- тий
Мельница шаровая По нормативно- Для подготовки ис-
технической до- паряемых веществ
кументации, ут- вержденной в установленном
' порядке «
Микровесы электронные То же Для контроля пок-
кварцевые МЭК-1-У рытий
Микроинтерферометр МИИ-11 tv и «в То же
Микроинтерферометр МИС-11 >1 л
Напальчники ТУ 38.106. Я7 Для чистки оптичес-
ких деталей
Перчатки резиновые хирурги- ГОСТ 20010 Для чистки арматуры
ческие вакуумной установки
OCT 3-W^ C. 26
Продолжение табл. 4
Наименование, тип (модель, ^арка) Обозначение НТД Назначение
Пинцет медицинский пластин- чатый Плитка электрическая Пылесос бытовой Приставка зеркального отра- жения ПЗО-2 Секундомер Спектрофотометр СФ-46 Спринцовка резиновая Тара технологическая ТУ 64-1-37 ГОСТ 306 ГОСТ 10280 По нормативно- технической документации, утвержденной в установленном порядке ГОСТ 5072 ТУЗ-3.1М1 ТУ 38.I06.I4I По нормативно- технической Для оптических де- талей и испаряемых веществ Для нагрева раст- воров Для чистки арматуры вакуумной установ- ки Для контроля пок- рытий Для измерения вре- мени Для контроля покры- тий Для чистки оптичес- ких деталей Для хранения и тран- спортировки оптичес- /
ОСТ 3-,Ж^ С., 27
Продолжение табл. 4
!
Наименование, тип (модель, марка) Обозначение НТД Назначение
Термометр лабораторный документации, ут- вержденной в ус- тановленном поря- дке ГОСТ 215 • ких деталей Для контроля
Цилиндр мерный ГОСТ 1770 температуры Для приготовле-
Часы сигнальные ГОСТ 3145 ния растворов Для измерения
Шкаф вытяжной ТУ 95.7088 времени Для чистки оп-
Шкаф сушильный ШС-40м МРТУ 64-I-I559 тических дета- лей и арматуры вакуумной уста- новки Для сушки арма-
Шкурка шлифовальная ГОСТ 6456 туры вакуумной установки Для чистки ар-
бумажная матуры вакуум- ной установки
Примечание. Допускается использование оборудова-
ния, технологической оснастки, измерительных приборов и инстру-
ментов, не предусмотренных настоящим стандартом, но обеспечиваю-
щих выполнение технологического процесса.
I
OCT 3-57/2JW с. 28
ПРИЛОЖЕНИЕ 3
Рекомендуете
I
ИЗГОТОВЛЕНИЕ РЕЗИСТИВНЫХ ИСПАРИТЕЛЕЙ ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ
ПОКРЫТИЙ ИЗ АЛЮМИНИЯ, ХРОМА И ТИТАНА И
ПРИГОТОВЛЕНИЕ ПЛЕНК00БРАЗУЩИХ МАТЕРИАЛОВ
I. Резистивные испарители для покрытий из алюминия изго-
тавливают в виде жгутов из 3-8 вольфрамовых проволок диаметром
0,3-0,7. мм, для чего вольфрамовую проволоку наматывают на оправу
' 7-8 мм.
2. Полученные вольфрамовые спирали очищают от масла и гря-
зи в ультразвуковой ванне типа УЗВ-15М, используя ультразвуковой
генератор типа УЗГ-2-10.
3. Раствор в ванне готовят следующего состава:
натрий фосфорнокислый трехзамещенный - 30-40 г/л,
поверхностно-активное вещество типа "Лотос" - 10-15 г/л.
Температура раствора от 50, до 70 °C.
4. Спирали обрабатывают в ванне ультразвуком в течении
15-20 мин., вынимают и промывают проточной водой, затем дистил-
лированной водой и высушивают в сушильном шкафу при температуре
80-160 °C.
t
Примечание. Допускается чистка спиралей в кипящем
20 % растворе щелочи не менее I часа, с последующей промывкой
проточной водой, нейтрализацией 5-10 % раствором азотной кислоты,
промывкой проточной и дистиллированной водой и сушкой в сушиль-
ном шкафу при температуре 80-160 °C.
5. Спирали растягивают для получения шага между витками
6-12 мм, скручивают в жгут и разрезают на куски необходимой дли-
ны.
6. Полученные испарители закрепляют в держателях вакуумной
установки, -загружают каждый испаритель гусариками алюминия в ко-
. .OCT 3-Ж?^ C.29
личестве 1-4 штуки и прокаливают испарители до расплавления алю-
iwxsisi при давлении не выше 1,33*10 (1*10 мм рт.ст.). /
7. Гусарики для нанесения алюминиевых слоев изготавливают
из алюминиевой проволоки диаметром 1,1-2 мм или алюминиевой лен-
ты толщиной 0,4-0,5 мм марки не хуже А-995 на специальном штампе
или вручную. Алюминиевую ленту режут на полоски I мм дайной 10
мм и сгибают посередине под углом 45°.
8. Полученные гусарики протравливают в 5-10 % растворе ще-
лочи в течении 5-10 минут, промывают проточной водой, нейтрали-
зуют 3-5 % раствором азотной кислоты, промывают дистиллированной
водой и высушивают при температуре 80-160 °C. Масса одного гуса-
рика составляет 0,05-0,14 г.
9. Для испарения алюминия электронно-лучевым способом не-
обходимо использовать медные тигли электронно-лучевого испарите-
ля, охлаждаемые холодной проточной водой.
10. Тигель загружают кусками алюминия марки не хуже А-995.
Масса куска алюминия 25-40 г. Такая'масса алюминия достаточна.
для получения Покрытий толщиной до 10 мкм.
II. Куски алюминия нарезают из слитка и протравливают их
в 5-10 % растворе щелочи в течении 5-10 минут, промывают проточ-
ной водой, нейтрализуют 3-5 % раствором азотной кислоты, промы-
вают дистиллированной водой и сушат при температуре 80-160 °C.
12. Для нанесения слоев хрома и титана используют резис-
тивные ленточные испарители, которые изготавливают в виде лодо-
чек из вольфрамовой фольги толщиной 0,05 мм или молибденовой
фольги толщиной 0,1 мм. Лодочки протирают хлопчатобумажной сал-
феткой, эченной в спирте, закрепляют в держателях вакуумной
../'И'
установки и обезгаживают прокаливанием до белого свечения.
Примечание. Допускается применение лодочек, изго-
товленных из вольфрамовой проволоки диаметром 0,6-1,2 мм, соб-
.ОСТ 3-Ж^ с. 30
ранной в пакет шириной 6-10 мм.
13. Для получения хромовых покрытий применяют хромовый
порошок. При применении электролитического хрома в гранулах
марки ЭРХ его размалывают в шаровой мельнице, затем протравлива-
ют в соляной кислоте в течении 5-10 минут, промывают проточной
и дистиллированной водой и высушивают при температуре 80-160 °C.
14. Для получения титановых покрытий используют титановый
порошок или кусочки, изготовленные из титановой фольги толщиной
О,5-1,0 мм. Кусочки титана протравливают в концентрированной со-
ляной кислоте в течении 5-10 минут, затем промывают проточной
водой, тщательно промывают дистиллированной водой и высушивают
при температуре 80-160 °C.
15. Подготовленные для испарения материалы хранят в стек-
лянной посуде с притертыми крышками.
OCT 3-W^A C. 31
ПРИЛОЖЕНИЕ 4
Рекомендуемое
i
ПРИГОТОВЛЕНИЕ ХРОМОВОЙ СМЕСИ
I. На аналитических весах взвешивают навеску двухромово-
кислого калия согласно табл. 5.
Таблица 5 . .
Количество серной кислоты, Навеска двухромовокислого калия,
мм г
100 9,2
500 46,0
1000 92,0
1500 138,0
. 2. Навеску двухромовокислого калия высыпают в.форфоровую
кружку.
3. В кружку осторожно наливают по стенке или стеклянной
палочке порциями отмеренное количество серной кислоты, переме-..
шивая смесь стеклянной палочкой после каждой влитой порции.
4. Кружку со смесью ставят на электрическую плитку в водя-
ную баню и варят в течении 4-6 часов при температуре 60-100 °C,
периодически перемешивая стеклянной палочкой.
5. Электроплитку отключают и хромовую смесь охлаждают. За-
тем переливают в толстостенную стеклянную посуду и наклеивают
этикетку.
Примечание. Срок службы хромовой смеси устанавли-
вается до изменения ее окраски, т.е. когда цвет из темнооранже-
• вого переходит в темнозеленый.
i
. ОСТ Ъ-Ш с. 32
ПРИЛОЖЕНИЕ 5.
Рекомендуемое
/
СНЯТИЕ ПОКРЫТИЙ С БРАКОВАННЫХ ДЕТАЛЕЙ
I. Удаление алюминия с бракованных деталей производят в
20 % растворе щелочи в течении 20-60 минут, затем детали промы-
вают водой, нейтрализуют 3 % раствором азотной кислоты, промы-
вают водопроводной и дистиллированной водой. Детали протирают
салфеткой и передают для окончательной чистки и алюминирования.
2. Для удаления слоя хрома с бракованных деталей их укла-
дывают в кювету, посыпают цинковой пылью толщиной до I мм и по-
ливают тонкой струей концентрированной соляной кислоты до раст-
ворения слоя хрома. Затем детали промывают водопроводной и дис-
тиллированной водой, протирают салфеткой и передают для повтор-
ной чистки и хромирования.
Примечание . Допускается удалять слой алюминия
вместе с хромом раствором следующего состава:
калий железосинеродистый (красная кровяная соль) - 20 г,
едкий натр - 5 г,
вода дистиллированная - 75 г.
После чего детали промывают водопроводной и дистиллированной во
дой и передают на чистку по .:.п. 3.3.2. . "J-.
3. Удаление бракованных слоев титана производят нагретым
до 90 °C 30 $ раствором едкого натра с добавлением 30-35 % рас-
твора перекиси водорода в соотношении 9:1 или переполировкой
деталей.
4. Травление бракованных покрытий ухудшает качество по-
верхности деталей, поэтому после 2-х кратного травления детали
переполировывают.
Г . ' . 1
ОСТ 3-лЖМ^ С. 33
ПРИЛОЖЕНИЕ 6
Рекомендуемое
I
ПЕРИОДИЧЕСКАЯ ЧИСТКА ПОДКОЛПАЧНОЙ АРМАТУРЫ ......
I. Чистка деталей подколпачной арматуры и колпаков заклю-
чается в химическом травлении остатков покрытия.Детали подкол-
пачной арматуры, подлежащие травлению, укладывают в кюветы из
химически стойкого материала. Кюветы помещают в вытяжной шкаф и
заливают соответствующим раствором в зависимости от стравливае-
мых веществ.
2. Удаление алюминия с деталей производят 15-20 % раство-
ром щелочи и тщательно промывают водой. Если имеются участки с
остатками покрытия их необходимо очистить механически шлифоваль-
ной шкуркой, затем вновь промыть водой. После снятия остатков
покрытия, детали подколпачной арматуры нейтрализуют 10-15 %
раствором азотной кислоты, промывают проточной водой и сушат в
сушильном шкафу при температуре 80-Д60 °C.
3. Окончательную чистку деталей арматуры проводят при
сборке салфеткой, смоченной петролейным эфиром или спиртом.
4. Внутренняя поверхность колпака вакуумной установки
должна быть экранирована алюминиевой фольгой, которую периоди-
чески заменяют чистой, или экраном из листовой нержавеющей стали,
сплавов алюминия или титана. Экраны периодически очищают по
п. п. 2,3..
5. Перед испарением хрома или титана предварительно покры-
вают колпак и арматуру слоем алюминия. Слой хрома или титана,
осевший на слой алюминия, удаляют по п. п. 2, 3.
. 6. Детали подколпачной арматуры чистят не реже I раза в
месяц или через 40-50 напылений.
1
OCT 3-M/^ с. 34
ПРИЛОЖЕНИЕ 7
Рекомендуемое
/
РЕКОМНДАЦИИ ПО НАНЕСЕНИЮ СВЕТОДЕЛИТЕЛЬНЫХ ПОКРЫТИИ
I. Нанесение светоделительных слоев алюминия и титана про
изводят со скоростью не менее 50 §/с с целью снижения потерь
на поглощение и светорассеяние.
2. При увеличении толщины покрытий происходит увеличение
потерь на поглощение и светорассеяние.
3. При контакте с воздухом нанесенных алюминиевых и тита-
новых покрытий происходит увеличение пропускания и снижение от-
ражения покрытия, что требует внесения поправки при фотометри-
ческом контроле. Поправка определяется экспериментальным путем
для различных длин волн и толщин покрытий.
4. При заклеивании светоделительного покрытия из алюми-
ния, хрома и титана происходит снижение отражения и повышение
I
пропускания. Поправка в каждом конкретном случае определяется -
экспериментально.
.OCT с. 35
.ПРИЛОЖЕНИЕ 8
Справочное
/
КРИВЫЕ ЗАВИСИМОСТИ МИКРОТВЕРДОСТИ АЛЮМИНИЕВЫХ
ПОКРЫТИЙ ОТ УСЛОВИИ НАНЕСЕНИЯ
Рис. I Зависимость микротвердости hl покрытий от толщины
при различных скоростях конденсации (вдавливание)
I) 6-10 й/о; 2) 30-37 Я/с; 3) 60-68 й/с
Рис. 2. Зависимость микротвердости At покрытий от толщины •
при различных скоростях конденсации (царапание)
I - 6-10 й/с; 2 -30-37 Й/с; 3 - 60-68 Я/с
OCT З-MJW C. 37
ПРИЛОЖЕНИЕ 9
Рекомендуемое
ОПРЕДЕЛЕНИЕ МИКРОТВЕРДОСТИ МЕТОДОМ ЦАРАПАНИЯ И
МЕТОДОМ ОБРАТНОГО ИНТЕГРАЛЬНОГО СВЕТОРАССЕЯНИЯ
I. Для определения микро твердости исследуемого вакуумного
покрытия алюминия на него наносят 10 царапин-штрихов при посто-
янной нагрузке на индентор. Горизонтальное перемещение индентора
производят с постоянной скоростью - 0,2 мм/с. Ширину нанесенной
царапины cL измеряют на интерферометре МИИ-4 по изгибу полос.
Микротвердость определяют по формуле:
ц ’ "V Кал А/& №
где а(, - общий угол бицилиндра,
- радиус бицилиндра,
- ширина царапины.
2. Микротвердость по методу обратного интегрального све-
торассеяния определяют, измерив на фотометре ИРС-1 или любом
другом аналогичном приборе, зеркально-отраженное ( R ) и диф-
фузно-рассеянное ( в ) излучения от исследуемой поверхности,
рассчитав величину шероховатости по формуле:
где 4/^ - длина волны зондирующего излучения.
Микротвердость покрытия определяют по формуле:
Не = Н<
где и й - постоянные величины и для алюминиевого покрытия
равны соответственно Ьй = 15*5 кг/мм2, В = 5 кг/мм2-мкм1/2.
Примечание. Постоянные величины и В были
определены с помощью сопоставительных (калибровочных) измерений
ОСТ С. 38
микротвердости известными способами и величины шероховатости с
последующим построением графика функции
ОСТ 3-J7^A&? С. 39
ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ
. I. УТВЕРЖДЕН МУР И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Министерством
( ПРИКАЗ ЦГОС от № )
3. СОГЛАСОВАН ГОС 3/Х//Ж ЦК профсоюза////^ .24 ГУ/М^
3. ЗАРЕГИСТРИРОВАН
за № от 19 г.
4. Срок первой проверки 1995 г.
периодичность проверки один раз в "5 лет
5. ВЗАМЕН ОСТ 3-5103-51,
6. ПЕРЕИЗДАНИЕ
7. Срок действия, продлен
8. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ
ДОКУМЕНТЫ '°
Обозначение НТД, на который дана ссылка Номер пункта, подпункта, перечисления, приложения
ГОСТ 3-88; 3.6, приложение 2
ГОСТ 12.0.003-74 2.5
ГОСТ 12.1.003-83 2Л4
ГОСТ 12.1.005-88 2.II, 2.12
ГОСТ 12.1.007-76' 2.10
ГОСТ 12.I.010-76 2.9
ГОСТ 12.L 016-79 2.12
ГОСТ 12.I.019-79 2.6.1
ГОСТ 12.I.030-81 2.6.1
ГОСТ 12.1.004-85 3.6.4
ГОСТ З.ПОЗ -82 3.6,3.9,3-12
OCT 3-/7^-^ С. 40
^•зни
Обозначение НТД, Номер пункта, подпункта,
•на который дана ссылка перечисления, приложения
ГОСТ 12.1.050-86 2.14
ГОСТ 12.2.003-74 2.6
ГОСТ 12.2.032-78 2.4
ГОСТ 12.2.033-78 2.4
ГОСТ 12.2.061-81 2,4
ГОСТ 12.3.002-75 .2.1,2.3
ГОСТ 12.4.026-76 2.19
ГОСТ 12.4.124-83 2.7
. ГОСТ12.3..008’75 2,13
ГОСТ 215-73 Приложение 2
ГОСТ 306-76 Приложение 2
ГОСТ 618-73 Приложение I
ГОСТ 1770-74 Приложение 2
ГОСТ 2652-78 .. ГОСТ 3145-84 2.12, приложение I 3.6, приложение 2
ГОСТ 3514-76 Вводная часть
ГОСТ 3772-74 Приложение I
ГОСТ 4204-77 2.12, приложение I
ГОСТ 4206-75 Приложение I
ГОСТ 4328-77 2.12, приложение I
ГОСТ 4461-77 2.12, приложение I
ГОСТ 5072-79 Приложение 2
ГОСТ 5632-72 Приложение I
ГОСТ 6265-74 2.12, 3.6, приложение I
. ГОСТ 6456-82 Приложение 2
ГОСТ 6709-72 3.6, приложение I
ГОСТ 8474-80 ГОСТ 3118-77 3.6, приложение I 2.12> приложение 1
ОСТ 3-^^ с. 41
Обозначение НТД, ' на который дана ссылка Номер пункта, подпункта, перечисления, приложения
ГОСТ 9147-80 Приложение 2
ПЮТ 9337-79 Приложение I
ГОСТ 10280-83 ' . Приложение"' 2
ГОСТ 10477-75 3.6, Приложение I
ГОСТ 11069-80 3.6,3.9, приложение I.
ГОСТ П14Т-84 4.2.5
ГОСТ 11680-76 Приложение I
ГОСТ 12601-76 2.12, приложение I "
ГОСТ 18300-87 2.12, 3.6, приложение I
ГОСТ 20010-74 Приложение 2
ГОСТ 22178-76 Приложение I
OCT 3-I90I-85 I.I.4, I.I.5, 4.2.6
ОСТ 3-5714-84 I.2.4.1
ОСТ 3-5757-84 2.2
ОСТ 3-6247-87 2.20
ГОСТ 25644-83 Приложение I
ОСТ 17-830-80 3.6, приложение 2
ТУ 38.106.141-80 3.6, приложение 2
ТУ 95.7088-73 Приложение 2
ТУ 3-3.569-84 3.6, 3.9, 3.12, приложение 2
ТУ 6-02-1244-83 2.12, приложение I
ТУ 6-I7-I0II-80 Приложение 2
ТУ I4-I-3086-80 Приложение I
ТУ 14-5-76-76 3.9, 3.12, приложение I
ТУ 25-06-383-63 Приложение 2
ТУ 26-01-352-75 Приложение 2
ТУЗЯ. 3.6z npy/iemexyeZ
ОСТ с. 42
Обозначение НТД, Номер пункта, подпункта, /
на который дана ссылка перечисления, приложения
. ТУ 48-4-244-87 2.12, 3.6, приложение I
ТУ 48-5-288-88 3.6, 3.12, приложение I
. ТУ 48-19-39-85 Приложение I
ТУ 48-19-188-75 Приложение I
ТУ 48-19-245-84 '?У 3 -3.1841-84 Приложение I Приложение 2
ТУ 64-1-37-78 Приложение 2
МРТУ 64-I-I559-67 спзиз-м СП Приложение 2 2. В 2. В
ОСТ 3-Ж/:> С. 43
СОДЕРЖАНИЕ
I. Технические требования ........................................1
2. Требования безопасности ..................................... 4
3. ’ Типовой технологический процесс .,......................... 9
4. Методы контроля ..............................................Х5
5. Приложение I. Основные и вспомогательные, материалы ..........21
6. Приложение 2. Оборудование, технологическая оснастка, измеритель-
ные приборы и инструмент .........................................24
7. Приложение 3. Изготовление резистивных испарителей для напыления
покрытий из алюминия, хрома и титана и приготовление пленко-обра-
зующих материалов .............................................. 28
8. Приложение 4. Приготовление хромовой смеси....................31
9. Приложение 5. Снятие покрытий с бракованных деталей...........32
10. Приложение 6. Периодическая чистка подколпачной арматуры......33
II. Приложение 7. Рекомендации по нанесению светоделительных покры-
тий .................................................34
12. Приложение 8. Кривые зависимости микротвердости алюминиевых по-
крытий от условий нанесения.................................... 35
13. Приложение 9. Определение микротвердости методом царапания и ме-
тодом обратного интегрального светорассеяния .................37
14. Информационные данные ........................................39
I